专利名称：锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法
技术领域：
本发明涉及一种锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法，属特种材料的表面处理工艺领域。
本发明表面背铟方法分为2个步骤1)在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面烧结一层银具体的做法在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面均匀的喷涂一层锌铝氧化物陶瓷靶材专用银浆，所说的银浆由氧化银70～80％wt、二氧化硅10～15％wt、松节油10～20％wt组成。干燥后放到加热炉加热到550～580℃，保持15分钟，自然冷却后便可在锌铝氧化物靶材的表层形成均匀的一层银。
2)在已烧结银层的锌铝氧化物陶瓷靶材表面融一层铟具体作法是把带有烧结有银层的锌铝氧化物陶瓷靶材加热到180～200℃，加铟在银层的表面均匀的融化，5～8分钟后铟和银互融，完成在银的表面融铟的过程。
本方法工艺简单，操作方便，产品成本低。
具体实施例方式1、取200mm*400mm的锌铝氧化物陶瓷靶材一块，将靶材的表面用有机溶剂清洗干净备用；取氧化银7克，二氧化硅1.5克，松节油2克完全混合后，用刷子刷到清洗干净的锌铝氧化物陶瓷靶材的背面，等10-15分钟后，放到加热炉中进行加热，加热速率每分钟1度，加热到560℃时，保温15分钟后停止加热，然后自然冷却到室温。在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面就会生成一层均匀的银。把已烧结银的靶材放到平板加热器上加热到180℃，放铟到银层上，铟全部融化后，用钢丝刷把铟刷均匀，自然冷却到室温便完成锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟。
2、取200mm*400mm的锌铝氧化物陶瓷靶材一块，将靶材的表面用有机溶剂清洗干净备用，取氧化银6克，二氧化硅1.5克，松节油3克完全混合后，用喷枪喷到清洗干净的锌铝氧化物陶瓷靶材的背面，等10-15分钟后，放到加热炉中进行加热，加热速率每分钟1度，加热到570℃时保温，15分钟后停止加热，然后自然冷却到室温。在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面就会生成一层均匀的银。把已烧结银的靶材放到平板加热器上加热到180℃，放铟到银层上，铟全部融化后，用钢丝刷把铟刷均匀，自然冷却到室温便完成锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟。
权利要求
1.一种锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法，其特征是由下列二个步骤组成①在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面烧结一层银具体的做法是在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面均匀的喷涂一层锌铝氧化物陶瓷靶材专用银浆，所说的银浆由氧化银70～80％wt、二氧化硅10～15％wt、松节油10～20％wt组成，干燥后放到加热炉加热到550～580℃，保持15分钟，自然冷却后便可在锌铝氧化物靶材的表层形成均匀的一层银；②在已烧结的银层锌铝氧化物陶瓷靶材表面融一层铟具体作法是把带有烧结有银层的锌铝氧化物陶瓷靶材加热到180～200℃，加铟在银层的表面均匀的融化，5～8分钟后铟和银互融，完成在银的表面焊接铟的过程。
全文摘要
一种锌铝氧化物陶瓷靶材表面背铟方法，属特种材料的表面处理工艺领域。本发明表面背铟方法分为2个步骤1、在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面烧结一层银具体的做法是在锌铝氧化物陶瓷靶材的表面均匀的喷涂一层锌铝氧化物陶瓷靶材专用银浆，该银浆由氧化银70～80％wt、二氧化硅10－15％wt、松节油10～20％wt组成。干燥后放到加热炉加热到550～580℃，保持15分钟，自然冷却后便可在锌铝氧化物靶材的表层形成均匀的一层银。2、在已烧结银层的锌铝氧化物陶瓷靶材表面焊接一层铟具体作法是把带有烧结有银层的锌铝氧化物陶瓷靶材加热到180～200℃，加铟在银层的表面均匀的融化，5～8分钟后铟和银互融，完成在银的表面焊接铟的过程。本方法工艺简单，操作方便，产品成本低。
文档编号C04B41/89GK1475465SQ0314817
公开日2004年2月18日 申请日期2003年7月4日 优先权日2003年7月4日
发明者赵大庆, 董民超 申请人:清华大学