专利名称：一种氧化锌薄膜的制备方法
技术领域：
本发明属于材料技术领域，涉及一种氧化锌薄膜的制备方法，具体是一种溶胶凝
胶法合成氧化锌薄膜的方法。
背景技术：
氧化锌作为一种过度金属元素氧化物在光电探测器、气敏传感器和压敏传感器等 领域具有广泛的用途。目前氧化锌薄膜的制备方法所用设备和工艺复杂，且所制备的薄膜 面积尺寸小。本专利通过新的方法即可获得大尺寸氧化锌薄膜，而且所用原料、设备和合成 工艺简单，成本低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种简单的制备氧化锌薄膜的方法。
本发明方法包括以下步骤 步骤(1)将氯化锌晶体溶于乙二醇溶剂配成氯化锌溶液，氯化锌溶液的浓度为 0. 05 0. 5mol/L ; 步骤(2)将乙二胺液体溶于乙醇配成乙二胺溶液，乙二胺溶液中含乙二胺1 5% ; 步骤(3)将乙二胺溶液加入到氯化锌溶液中至ra值为5. 5 6. 5，形成混合溶液；
步骤(4)将混合溶液在20 6(TC条件下保温10 20小时形成溶胶；
步骤(5)将溶胶采用提拉法涂覆到玻璃上，在30 6(TC干燥0. 5 5小时，形成 凝胶膜； 步骤(6)将玻璃上的凝胶膜加热，在400 50(TC条件下热处理30 60分钟，形
成氧化锌薄膜。 本发明中涂覆在玻璃上面的溶胶膜在溶剂挥发后形成成份为锌的氢氧化物的凝 胶，凝胶经热处理热分解即可获得氧化锌薄膜。本发明方法与已有技术相比，突出优点是可 以大面积镀膜，所用原料、设备和合成工艺简单，成本低。
具体实施方式
实施例1 : 步骤(1)称取34. 08g的氯化锌晶体放入500ml的烧杯，量取500ml乙二醇溶剂，
将氯化锌晶体溶于乙二醇溶剂，配制成氯化锌浓度为0. 5mol/L的氯化锌溶液； 步骤(2)将5ml乙二胺液体溶于95ml的乙醇配成乙二胺溶液，乙二胺溶液中含乙
二胺5% ; 步骤(3)将乙二胺溶液加入到氯化锌溶液中至ra值为6. 5，形成混合溶液； 步骤(4)将混合溶液在6(TC条件下保温10小时形成溶胶； 步骤(5)将溶胶采用提拉法涂覆到玻璃上，在6(TC干燥0.5小时，形成凝胶膜；
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步骤(6)将玻璃上的凝胶膜加热，在50(TC条件下热处理30分钟，形成氧化锌薄膜。 实施例2: 步骤(1)称取3. 408g的氯化锌晶体放入500ml的烧杯，量取500ml乙二醇溶剂， 将氯化锌晶体溶于乙二醇溶剂，配制成氯化锌浓度为0. 05mol/L的氯化锌溶液；
步骤(2)将lml乙二胺液体溶于99ml的乙醇配成乙二胺溶液，乙二胺溶液中含乙 二胺1% ; 步骤(3)将乙二胺溶液加入到氯化锌溶液中至HI值为5. 5，形成混合溶液；
步骤(4)将混合溶液在2(TC条件下保温20小时形成溶胶；
步骤(5)将溶胶采用提拉法涂覆到玻璃上，在3(TC干燥5小时，形成凝胶膜；
步骤(6)将玻璃上的凝胶膜加热，在40(TC条件下热处理60分钟，形成氧化锌薄膜。
实施例3 : 步骤(1)称取17. 04g的氯化锌晶体放入500ml的烧杯，量取500ml乙二醇溶剂， 将氯化锌晶体溶于乙二醇溶剂，配制成氯化锌浓度为0. 25mol/L的氯化锌溶液；
步骤(2)将3ml乙二胺液体溶于97ml的乙醇配成乙二胺溶液，乙二胺溶液中含乙 二胺3% ; 步骤(3)将乙二胺溶液加入到氯化锌溶液中至ra值为6，形成混合溶液；
步骤(4)将混合溶液在3(TC条件下保温15小时形成溶胶；
步骤(5)将溶胶采用提拉法涂覆到玻璃上，在5(TC干燥1小时，形成凝胶膜；
步骤(6)将玻璃上的凝胶膜加热，在45(TC条件下热处理45分钟，形成氧化锌薄膜。
权利要求
一种氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤步骤(1)将氯化锌晶体溶于乙二醇溶剂配成氯化锌溶液，氯化锌溶液的浓度为0.05～0.5mol/L；步骤(2)将乙二胺液体溶于乙醇配成乙二胺溶液，乙二胺溶液中含乙二胺1～5％；步骤(3)将乙二胺溶液加入到氯化钴溶液中至PH值为5.5～6.5，形成混合溶液；步骤(4)将混合溶液在20～60℃条件下保温10～20小时形成溶胶；步骤(5)将溶胶采用提拉法涂覆到玻璃上，在30～60℃干燥0.5～5小时，形成凝胶膜；步骤(6)将玻璃上的凝胶膜加热，在400～500℃条件下热处理30～60分钟，形成氧化锌薄膜。
全文摘要
本发明涉及一种氧化锌薄膜的制备方法。目前方法所用设备和工艺复杂，制备的薄膜面积尺寸小。本发明方法首先将氯化锌晶体溶于乙二醇溶剂配成氯化锌溶液，将乙二胺液体溶于乙醇配成乙二胺溶液，然后将乙二胺溶液加入到氯化锌溶液中至pH值为5.5～6.5，形成混合溶液；将混合溶液在20～60℃条件下保温10～20小时形成溶胶；将溶胶采用提拉法涂覆到玻璃上，在30～60℃干燥0.5～5小时，形成凝胶膜；将玻璃上的凝胶膜加热，在400～500℃条件下热处理30～60分钟，形成氧化锌薄膜。本发明方法可以大面积镀膜，所用原料、设备和合成工艺简单，成本低。
文档编号C03C17/27GK101693602SQ200910152890
公开日2010年4月14日 申请日期2009年9月18日 优先权日2009年9月18日
发明者吕燕飞, 季振国, 赵士超 申请人:杭州电子科技大学;