专利名称：一种防滑装置及机器人叉子和机器人的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶面板制造领域，尤其涉及一种用于基板搬运的机器人叉子 (Robot Fork)的防滑装置，带防滑装置的机器人叉子，以及使用该机器人叉子的机器人。
背景技术：
在目前的液晶面板制造领域，尤其是薄膜晶体管液晶显示器(TFT-IXD)生产中的彩色滤光片(CF)工艺中，大体分为镀金属膜(ITO)、曝光(Exposure)等工序。在CF工艺中有一道工序的过程是在玻璃上涂上光阻(PR)胶，在涂布或称为涂层(Coating)完成后， 将玻璃基板搬送到真空干燥室内进行干燥，干燥后再搬送到烘烤炉进行加热。在这个过程中，搬运玻璃等基板一般采用带有真空吸盘的Robot R)rk进行搬送，该Robot R)rk的结构如图1所示，Robot Forkl上带有真空吸盘11，真空吸盘11如图1中的圆形区域所示，采用图1所示的该Robot R)rk搬送玻璃基板时，首先，玻璃基板被真空吸盘支撑，其次，在Robot Fork运动时为了防止玻璃基板滑动，可以采用真空发生器或辅助真空吸盘吸附玻璃基板。 该Robot Fork带有真空吸盘的设计，由于真空吸盘的吸附力不均勻，即只有在真空吸盘所在的位置吸附力最强，而其他没有真空吸附的位置吸附力弱，且无法避免玻璃基板被Robot i^ork搬送过程中X方向和Y方向的滑动，因此，容易产生工艺上吸附的水纹(Mura)缺陷，且 Mura缺陷的面积较大，分布较广，不能满足生产工艺的要求。鉴于上述Robot Fork带有真空吸盘的设计不能满足生产工艺的要求，对该Robot Fork改良后的设计如图2所示，主要设计是将Robot Forkl原有真空吸盘处的真空吸盘11 改为阻力较大、非真空的结构，且采用真空吸附装置12和对位防滑的挡板13作为辅助设计，如图2中对应的局部放大所示的部分。采用图2所示的该Robot R)rk搬送玻璃基板时，首先玻璃基板被真空吸附装置和Robot Fork中央的该非真空的结构所支撑；其次，在 Robot运动时为了防止玻璃基板滑动，可以采用真空发生器或辅助真空吸盘吸附玻璃基板； 再次，利用挡板修正搬送中的倾斜。该Robot R)rk带有非真空结构的设计，虽然用该非真空的结构代替原有的真空吸盘，受力会相对均勻，且挡板仅能避免玻璃基板被Robot Fork搬送过程中X方向的滑动，但是无法避免玻璃基板被Robot R)rk搬送过程中Y方向的滑动， 还是会产生工艺上吸附的Mura缺陷，只是相对的减少了 Mura缺陷的面积和分布的区域，仍然不能满足生产工艺的要求。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种搬送防滑装置及带防滑装置的 Robot Fork和机器人，避免玻璃基板被Robot Fork搬送过程中X方向和Y方向的滑动，使玻璃基板受力均勻，从而能满足生产工艺的要求。为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的本实用新型实施例提供一种防滑装置，其特征在于，所述防滑装置安装于机器人叉子上，所述防滑装置为使基板被机器人叉子搬送过程中不产生X方向和Y方向位移的防滑装置。进一步地，所述防滑装置包括有两个台阶；其中，基板边缘放置处的台阶为支撑基板和保持基板边缘的间隙的台阶；固定所述防滑装置自身的台阶为将所述防滑装置自身与所述机器人叉子通过所述孔进行固定的有孔台阶。进一步地，所述防滑装置，位于所述基板边缘放置处的台阶的上端为直角结构或斜坡结构。 进一步地，所述防滑装置在X、Y方向区域范围内设置。进一步地，所述防滑装置数量由要搬送的基板的数量和/或大小来决定。本实用新型实施例还提供一种机器人叉子，包括上述的防滑装置。进一步地，所述的机器人叉子还包括Pin结构，其中，所述Pin结构为非真空的针脚结构。本实用新型实施例还提供一种机器人，包括上述的机器人叉子。采用本实用新型的一组防滑装置，该防滑装置能避免玻璃基板被机器人叉子 (Robot Fork)搬送过程中X方向和Y方向的滑动。带防滑装置的Robot R)rk通过安装这样一组防滑装置，并结合非真空的Pin结构，达到玻璃基板在Robot Fork上不会在X方向和Y方向移动，Pin结构代替原有的真空吸盘使玻璃基板受力均勻，从而解决了搬送过程中产生的工艺缺陷，满足了生产工艺的要求。相应地，使用上述机器人叉子的机器人，解决了搬送过程中产生的工艺缺陷，满足了生产工艺的要求。
图1为现有技术中带有真空吸盘的Robot Fork的结构图；图2为现有技术中改良后的Robot Fork的结构图；图3为本实用新型搬送防滑装置一个实施例的左视图；图4为本实用新型搬送防滑装置另一实施例的左视图；图5为图4的立体图；图6为本实用新型带防滑装置的Robot Fork的示意图；图7为本实用新型带防滑装置的Robot Fork将原有真空吸盘改为Pin结构的示意图。图中标号说明11 真空吸盘；1 机器人叉子(Robot Fork) ；12 真空吸附装置；13 挡板；2 搬送防滑装置；21 台阶；22 台阶；23 孔；3 =Pin结构；4 玻璃基板。
具体实施方式
本实用新型的基本思想是安装于Robot Fork上的该防滑装置为使玻璃基板被 Robot Fork搬送过程中不产生X方向和Y方向位移的防滑装置。
以下结合附图对技术方案的实施作进一步的详细描述。实施例一搬送防滑装置2，如图3所示，区别于现有技术如图2中所示的挡板13，Y方向增加了两个台阶，从而，除了能像挡板13—样在X方向起固定作用，避免X方向的位移，还能在Y方向起固定作用，避免Y方向的位移。图3中包括台阶21和台阶22，台阶21是玻璃基板边缘的放置处，用于支撑玻璃基板、以及保持玻璃基板边缘的间隙；台阶22为有孔台阶， 以便将搬送防滑装置2自身与Robot R)rk通过该有孔的台阶进行固定。实施例二 搬送防滑装置2，如图4所示，区别于现有技术如图2中所示的挡板13，Y方向增加了两个台阶，从而，除了能像挡板13 —样在X方向起固定作用，避免X方向的位移，还能在Y方向起固定作用，避免Y方向的位移。图3中包括台阶21和台阶22，台阶21是玻璃基板边缘的放置处，用于支撑玻璃基板、以及保持玻璃基板边缘的间隙；台阶22为有孔台阶， 以便将搬送防滑装置2自身与Robot R)rk通过该有孔的台阶进行固定。这里，区别于实施例一，进一步将搬送防滑装置2的上端，由直角设计改为斜坡设计，用于上游玻璃基板在搬送过程中倾斜的补正，以便修正精度。采用斜坡设计的好处斜坡设计的好处由于在液晶面板制造领域，随着玻璃基板的尺寸变大，与之相对应的堆起 (Tact)缩短，这就要求玻璃基板被搬送的速度越来越高，从而在速度变高的同时，需要提高搬运所需的精度。采用本实用新型的斜坡设计，由于能修正上游玻璃基板在搬送过程中的倾斜，因此，能有效的提高搬送精度，精度提高了，也就是说减少了搬送过程中X方向和Y方向的位移，能使工艺上的Mura缺陷最小化，达到涂布区Robot Fork的搬送需求。图5为图4的立体图，搬送防滑装置2，如图5所示，在台阶22上还设置有孔23。这里需要指出的是上述实施例一和实施例二的搬送防滑装置可以采用聚醚醚酮树脂(PEEK)材质。并且，防滑装置可以保证在基板被Robot R)rk搬送过程中不产生X方向和Y方向的位移即可，并不限于上述的具体结构。本实用新型的搬送防滑装置适用于IXD Coating制造工程中使用到的所有Robot Fork设备。实施例三本实施例提供一种机器人叉子，使用了上述的防滑装置。进一步地，本实施例的带防滑装置的Robot Fork，如图6所示，在Robot R)rk中央位置处还设置有Pin结构3，Pin结构3为非真空且阻力较大的针脚结构；Robot 四周位置处安装有多组搬送防滑装置2，如图6中有一组搬送防滑装置，一组搬送防滑装置用于固定一块玻璃基板4。这里，将原有的真空吸盘改为Pin结构的示意图如图7所示。本实用新型采用Pin 结构3的好处是将原有的真空吸盘11改为Pin结构3，由于Pin结构3的接触面为点，区别于真空吸盘11的接触面为线或者圆形区域，可减少因为真空吸附受力不均勻所产生的 Mura缺陷。这里需要指出的是搬送防滑装置的位置在X和Y方向位置可以任意设置，并非绝对固定，只要在X、Y方向区域范围内设置即可；搬送防滑装置的组数/数量也可以任意设置，取决于要搬送的玻璃基板数量和/或大小，因为需要搬送基板的大小的原因，决定了 Robot R)rk的大小，也就决定了 Robot R)rk上搬送防滑装置的数量是不固定的；搬送防滑装置台阶的长度也是不固定的，只要在玻璃基板的图形O^ttern)区域外即可。实施例四 本实施例提供一种机器人，使用了上述的机器人叉子。由于上述机器人叉子中的防滑装置，防止了搬送过程中X方向和Y方向的滑动，因此，所述机器人解决了搬送过程中产生的工艺缺陷，满足了生产工艺的要求。 以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种防滑装置，其特征在于，所述防滑装置安装于机器人叉子上，所述防滑装置为 使基板被机器人叉子搬送过程中不产生X方向和Y方向位移的防滑装置。
2.根据权利要求1所述的防滑装置，其特征在于，所述防滑装置包括有两个台阶；其中，基板边缘放置处的台阶为支撑基板和保持基板边缘的间隙的台阶； 固定所述防滑装置自身的台阶为将所述防滑装置自身与所述机器人叉子通过所述孔进行固定的有孔台阶。
3.根据权利要求2所述的防滑装置，其特征在于，所述防滑装置，位于所述基板边缘放置处的台阶的上端为直角结构或斜坡结构。
4.根据权利要求1至3任一项所述的防滑装置，其特征在于，所述防滑装置在X、Y方向区域范围内设置。
5.根据权利要求1至3任一项所述的防滑装置，其特征在于，所述防滑装置数量由要搬送的基板的数量和/或大小来决定。
6.一种机器人叉子，其特征在于，包括权利要求1至5任一项所述的防滑装置。
7.根据权利要求6所述的机器人叉子，其特征在于，还包括Pin结构，其中，所述Pin结构为非真空的针脚结构。
8.一种机器人，其特征在于，包括权利要求6或7所述的机器人叉子。
专利摘要本实用新型公开了一种防滑装置、机器人叉子(Robot Fork)及机器人，主要用于液晶显示领域。所述防滑装置安装于机器人叉子上，所述防滑装置为使玻璃基板被机器人叉子搬送过程中不产生X方向和Y方向位移的防滑装置。本实用新型还公开了一种带防滑装置的机器人叉子，包括防滑装置和Pin结构。采用本实用新型，避免基板被Robot Fork搬送过程中X方向和Y方向的滑动，使玻璃基板受力均匀，从而能满足生产工艺的要求。
文档编号B25J15/00GK202292780SQ20112041236
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月26日 优先权日2011年10月26日
发明者李中强 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥鑫晟光电科技有限公司