液体喷射头及液体喷射装置制造方法
【专利摘要】本发明针对的课题是：在喷嘴列为2列的液体喷射头中，在一个喷出通道具有2个喷嘴的情况下，当从一个喷嘴喷出墨时会从另一个喷嘴喷出，或不能从另一个喷嘴稳定地喷出。为了解决上述课题，本发明提供一种液体喷射头，其具有喷嘴板，该喷嘴板具有由多个喷嘴构成的第一喷嘴列和第二喷嘴列，其特征在于，该液体喷射头具备压电板，该压电板具有与所述第一喷嘴列的所述多个喷嘴连通的多个第一喷出槽、以及与所述第二喷嘴列的所述多个喷嘴连通的多个第二喷出槽，所述第一喷出槽和第二喷出槽由位于所述第一喷出槽和第二喷出槽之间的分隔壁分离。
【专利说明】液体喷射头及液体喷射装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及从喷嘴喷出液体而在被记录介质记录图像、字符或者形成功能性薄膜的液体喷射头、以及使用该液体喷射头的液体喷射装置。
【背景技术】
[0002]近年来，将墨滴喷出至记录纸等而记录字符、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头得到利用。该方式将墨、液体材料从液体罐经由供给管供给至液体喷射头，并使填充于通道的墨、液体材料从与通道连通的喷嘴喷出。在喷出墨时，使液体喷射头、记录喷射的液体的被记录介质移动，记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。
[0003]图9、10是专利文献I所记载的这种喷墨头100的示意性的截面图。喷墨头100具备:具有喷出孔103a、103b的盖102、由压电体构成的PZT板104、盖板108、流道部件111的层叠结构。PZT板104在其一个面具备细长的深槽105a和与此邻接并与细长的方向正交地排列的浅槽105b。深槽105a的长度方向及深度方向的截面在深度方向上具有凸形状。在各槽105的上部侧壁形成有电极116。盖板108具备:与深槽105a的长度方向的中央开口部对应的液体供给导管109、以及与深槽105a的长度方向的两端的开口部对应的2个液体排出导管IlOaUlOb0
[0004]该喷墨头100如下地动作。从液体供给导管109供给的液体流动至深槽105a、105c。进一步从深槽105a、105c流过的液体从液体排出导管110a、IIOb排出，液体不停地循环着。形成于划分深槽105c及浅槽105b的侧壁的壁面的驱动电极116在深槽105c及浅槽105b的长度方向的中央部处电分离。在使液体从喷出孔103a喷射的情况下，对喷出孔103a侧的驱动电极施加驱动电压，使喷出孔103a侧的侧壁变形；在使液体从喷出孔103b喷射的情况下，对喷出孔103b侧的驱动电极施加驱动电压，使喷出孔103b侧的侧壁变形。另外，由于夹着深槽105a形成浅槽105b,并且由盖板8闭塞浅槽105b以使液体不侵入其中，所以能够使用导电性液体，并且能够将各深槽105a的侧壁与邻接的深槽的驱动独立地进行控制。即，能够从2个喷嘴独立地喷射液体，并且不受驱动邻接的深槽的驱动电压的影响，因此能够提高记录密度、记录速度。
[0005]专利文献1:日本特开2011-104791号公报。
【发明内容】
[0006]然而，在上述图9、10的现有例中，为了实现高分辨率，深槽105a中具备2个喷出孔103，因此当从一个喷出孔103a喷出时，存在着也从另一个喷出孔103b喷出的可能性。
[0007]另外，由于为了一个喷出孔的喷出而对侧壁施加电压使其驱动时产生的压力波，会导致从另一个喷出孔喷出，或对想要从另一个喷出孔喷出而使其驱动时引起的压力波产生影响并进行波重叠，从而不能稳定地喷出，因此需要高度的驱动电压控制。
[0008]本发明是鉴于上述情况而做出的，提供能够减少液体的停滞、滞留，并且即使实现高分辨率也不需要高度的驱动电压控制就能够稳定地喷出的结构的液体喷射头、以及使用该液体喷射头的液体喷射记录装置。
[0009]本发明中的液体喷射头具备，具有由多个喷嘴构成的第一喷嘴列和第二喷嘴列的喷嘴板，其特征在于，该液体喷射头具备:压电板，该压电板具有与所述第一喷嘴列的所述多个喷嘴连通的多个第一喷出槽、以及与所述第二喷嘴列的所述多个喷嘴连通的多个第二喷出槽，所述第一喷出槽和所述第二喷出槽由位于所述第一喷出槽和所述第二喷出槽之间的分隔壁分尚。
[0010]另外，所述液体喷射头的特征在于，所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列的排列方向、与所述第一喷出槽和所述第二喷出槽的长度方向正交。
[0011]另外，所述液体喷射头的特征在于，相对于所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列的排列方向，所述第一喷出槽和所述第二喷出槽的长度方向倾斜既定角度。
[0012]另外，所述液体喷射头的特征在于，具有在所述第一喷嘴列的排列方向与所述第一喷出槽交替地形成的多个第一非喷出槽、以及在所述第二喷嘴列的排列方向与所述第二喷出槽交替地形成的多个第二非喷出槽。
[0013]另外，所述液体喷射头的特征在于，所述第一喷出槽和所述第二非喷出槽、以及所述第二喷出槽和所述第一非喷出槽隔着所述分隔壁相邻。
[0014]另外，所述液体喷射头的特征在于，所述第一喷出槽和所述第二喷出槽、以及所述第一非喷出槽和所述第二非喷出槽隔着所述分隔壁相邻。
[0015]另外，所述液体喷射头的特征在于，所述多个喷嘴是在喷嘴的列方向上所述第一喷嘴列的喷嘴位于所述第二喷嘴列的喷嘴间的交错排列(千鳥配列)。
[0016]另外，所述液体喷射头的特征在于，具备盖板，该盖板具有与所述第一喷出槽连通并将液体供给至所述第一喷出槽的第一供给墨室、将液体从所述第一喷出槽排出的第一排出墨室、与所述第二喷出槽连通并将液体供给至所述第二喷出槽的第二供给墨室、以及将液体从所述第二喷出槽排出的第二排出墨室。
[0017]另外，所述液体喷射头的特征在于，具备流道部件，该流道部件具有向所述第一供给墨室和所述第二供给墨室供给液体的供给端口、以及从所述第一排出墨室和所述第二排出墨室排出液体的排出端口。
[0018]另外，所述液体喷射头的特征在于，具有接合至所述喷嘴板和所述压电板之间的补强板，所述补强板具有分别与所述多个喷嘴和所述第一喷出槽及所述第二喷出槽连通的多个贯通孔。
[0019]另外，液体喷射装置具有上述任一个液体喷射头。
[0020]依据本发明，喷出槽中液体从一侧流入并从同一侧流出，而不向与该喷出槽邻接的非喷出槽供给液体。因此，在喷出槽内部区域中液体难以滞留，从而能够从槽内部区域迅速地除去由气泡、尘埃构成的液体内的异物。另外，不向非喷出槽内部区域供给液体，从而能够将形成的电极的高电压侧和低电压侧电分离，因此能使用导电性液体，并且喷嘴的堵塞减少。
[0021]而且，由于将非喷出槽和喷出槽沿长度方向交替邻接地排列，并错开半间距地沿长度方向的垂直方向排列成2列，所以提供高分辨率、并且能够在不从其他喷出喷嘴喷出的情况下进行喷出、不需要高度的驱动电压控制就能够稳定地喷出的液体喷射头。【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的示意性的纵截面图。
[0023]图2是本发明的第一实施方式所涉及的压电板的俯视图。
[0024]图3是本发明的第二实施方式所涉及的压电板的俯视图。
[0025]图4是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的示意性的纵截面图。
[0026]图5是本发明的第三实施方式所涉及的压电板的俯视图。
[0027]图6是本发明的第四实施方式所涉及的压电板的俯视图。
[0028]图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的示意性的纵截面图。
[0029]图8是本发明的第六实施方式所涉及的流道部件的正视图及截面图。
[0030]图9是现有公知的喷墨头的截面示意图。
[0031]图10是现有公知的喷墨头的截面示意图。
[0032]附图标记说明
I液体喷射头；2喷嘴板；3喷嘴；4补强板；5贯通孔；6压电板；9盖板；11流道部件；13柔性基板；14表面电极；15驱动电极。
【具体实施方式】
[0033](第一实施方式)
图1是作为本发明的第一实施方式的液体喷射头I的示意性的纵截面图，图2是在压电板形成槽之后的俯视图。图2的记载省略了附图右侧。此外，图1 (a)是图2的AA截面中的液体喷射头I的示意性的纵截面图，图1 (b)是图2的BB截面中的液体喷射头I的示意性的纵截面图。
[0034]参照图1和图2，对液体喷射头I进行说明。液体喷射头I具备:从图1的附图下侧开始层叠喷嘴板2、压电板6、盖板9及流道部件11 (IlaUlb及lie)的构造。作为压电板6，能够使用例如由PZT (钛锆酸铅)等构成的压电陶瓷。压电板6在一个面具有多个喷出槽7 (7a、7b)和非喷出槽8 (8a、8b)。各喷出槽7和非喷出槽8以长度方向为X方向，以槽的深度方向为Z方向，并沿作为与该X方向及Z方向正交的方向的Y方向交替地排列。
[0035]喷出槽7在X方向的两端具有从盖板9与压电板6接合的表面向着Z方向缓缓变深的倾斜部。喷出槽7在Z方向的深度最深的位置与之后说明的喷嘴3连通。在用例如圆形划片机(dicing saw)等形成喷出槽7的情况下，在此说明的倾斜部的倾斜形状形成为划片机的刀刃的痕迹。
[0036]非喷出槽8具有从盖板9与压电板6接合的表面向着Z方向缓缓变深的倾斜部，但与喷出槽7不同，其仅在一端具有倾斜部。此外，如图1所示，另一端以保持在Z方向最深的深度直至压电板6的X方向端部的方式形成有槽。
[0037]另外，压电板6具有图2中的附图上侧和附图下侧的2列槽的排列，在附图上侧和附图下侧的各排列中，喷出槽7和非喷出槽8都沿Y方向交替地排列。而且，附图上侧的喷出槽7和附图下侧的非喷出槽8在X方向上对置，附图上侧的非喷出槽8和附图下侧的喷出槽7在X方向上对置。S卩，如图2所示，附图上侧和附图下侧的喷出槽7和非喷出槽8沿Y方向以同样的方式错开半间距地排列。换言之，喷出槽7a连通的喷嘴3a和喷出槽7b连通的喷嘴3b在XY平面中配置为交错排列。各槽的Y方向的宽度是例如50 u nTlOO u m,隔开各槽7、8的侧壁的宽度也能够是50 u nTlOO u m。此外，喷出槽7a和喷出槽7b的X方向的通道长是相同的长度。
[0038]在压电板6的一个面接合有盖板9。盖板9以闭塞非喷出槽的方式构成,防止液体浸入。此外，盖板9以在X方向的两端、压电板6的表面(接合有盖板9的表面)仅露出既定的面积的方式与压电板6接合。在该压电板6露出的表面，以覆盖表面的方式压接有柔性基板13。
[0039]在柔性基板13，构图有未图示的布线电极。该布线电极与图2所示的压电板6露出的表面所具备的表面电极14接合。表面电极14与各喷出槽7和非喷出槽8对应地形成。此外，关于非喷出槽8的表面电极14，与喷出槽7对应的左右邻的非喷出槽8的表面电极14彼此在压电板6的端面共通化。这些表面电极14与压电板6所具备的在喷出槽7和非喷出槽8的各自的侧壁形成的驱动电极15电连接。驱动电极15从侧壁的+Z方向(接合柔性基板13的压电板6的表面侧)开始在Z方向上形成至喷出槽7的上侧的大致一半。驱动电极15可通过公知的倾斜蒸镀法形成。
[0040]此外，本发明中的实施方式能够采用被称为人字纹(chevron)方式的驱动方式。在人字纹方式中，由2层的压电基板形成压电板，并且驱动电极15从+Z方向至-Z方向形成于侧壁的整个面。在该情况下，通过公知的镀敷法等在侧壁的整个面形成驱动电极15即可。
[0041]在这样的液体喷射头I中，参照图1 (a)及图1 (b)，对用于将液体供给至喷嘴3(3a、3b)的顺路和用于液体通过喷嘴3附近并排出的顺路进行说明。
[0042]首先，液体(墨)从流道部件Ila及流道部件Ilc的附图Z侧输送至第一液室12a及第三液室12c。为了将液体从未图示的液体罐输送至第一液室12a及第三液室12c，使用具有既定的口径的管和具备既定的输送力的泵装置即可。然后，通过第一液室12a及第三液室12c的液体经由供给侧的第一共通(共通)墨室IOa及第三共通墨室IOc到达喷出槽7，通过第二共通墨室10b，被输送至第二液室12b并从流道部件Ilb排出。S卩，配置于上列和下列的喷出槽7的排出路径在流道部件Ilb的内部共通化。由此，能够将连通的喷嘴列的不同的多个喷出槽的排出路径共通化，并使头片(head chip)更小型。但是，虽然将流道部件IIa及流道部件Ilc作为供给口，将流道部件IIb作为排出口，但将流道部件IIb作为供给口，将流道部件Ila及流道部件Ilc作为排出口也无妨。
[0043]此外，上述的液体喷射头I配置于液体喷射装置中。
[0044](第二实施方式)
图3是在作为本发明的第二实施方式的液体喷射头I的压电板形成槽之后的俯视图，图4是作为本发明的第二实施方式的液体喷射头I的示意性的纵截面图。图3的记载省略了附图右侧。此外，图4 Ca)是图3的AA截面中的液体喷射头I的示意性的纵截面图，图4 (b)是图3的BB截面中的液体喷射头I的示意性的纵截面图。
[0045]第二实施方式与第一实施方式不同的部分是喷出槽7和非喷出槽8的形状，其他结构与第一实施方式相同。因此，以下主要对与第一实施方式不同的结构进行说明。对相同的部分或具有相同功能的部分给予相同的标号。
[0046]首先，使用图3对液体喷射头I的压电板6进行说明。
[0047]具有附图上侧和附图下侧的2列槽的排列，在附图上侧和附图下侧的各排列中，喷出槽7和非喷出槽8沿Y方向交替地排列。第二实施方式与第一实施方式不同的部分是:喷出槽7和非喷出槽8相对于X轴具有既定角度倾斜。该既定角度在本实施方式中例如为15度，但多少度都无妨。而且，在AA截面中，附图上侧和附图下侧的喷出槽7彼此对置，在BB截面中，附图上侧和附图下侧的非喷出槽8彼此对置。即，如图3所示，附图上侧和附图下侧的喷出槽7和非喷出槽8沿Y方向以同样的方式错开半间距地排列。换言之，喷出槽7a连通的喷嘴3a和喷出槽7b连通的喷嘴3b在XY平面中配置为交错排列。各槽的宽度例如是50 μ π-?ΟΟ μ m,隔开各槽7、8的侧壁的宽度也能够是50 μ π-?ΟΟ μ m。
[0048]接着，使用图4对液体喷射头I进行说明。
[0049]依据图4，液体喷射头I具备从附图下侧开始层叠喷嘴板2、压电板6、盖板9及流道部件11 (IlaUlb及lie)的构造。压电板6在一个面具有多个喷出槽7 (7a、7b)和非喷出槽8(8a、8b)。各喷出槽7和非喷出槽8以长度方向为X方向，以槽的深度方向为Z方向，并沿作为与该X方向及Z方向正交的方向的Y方向交替地排列。依据图4a，喷嘴3在AA截面中形成于喷嘴板2，与喷嘴3连通的喷出槽7在AA截面中彼此对置，为了应对此情况，流道在第二液室12b共通化。依据图4b，非喷出槽8在BB截面中彼此对置。非喷出槽8与第一~第三液室12a~12c不连通。
[0050]在这样的液体喷射头I中，参照图4 (a)，对用于将液体供给至喷嘴3 (3a,3b)的顺路和用于液体通过喷嘴3附近并排出的顺路进行说明。
[0051]首先，液体(墨)从流道部件Ila及流道部件Ilc的附图Z侧输送至第一液室12a及第三液室12c。为了将液体从未图示的液体罐输送至第一液室12a及第三液室12c，使用具有既定口径的管和具备既定的输送力的泵装置即可。然后通过第一液室12a及第三液室12c的液体经由供给侧的第一共通墨室IOa及第三共通墨室IOc到达喷出槽7，通过第二共通墨室10b，输送至第二液室12b并从流道部件Ilb排出。即，配置于上列和下列的喷出槽7的排出路径在流道部件Ilb的内部共通化。由此，能够将连通的喷嘴列的不同的多个喷出槽的排出路径共通化，并使头片更小型。但是，虽然将流道部件Ila及流道部件Ilc作为供给口，将流道部件IIb作为排出口，但将流道部件IIb作为供给口，将流道部件IIa及流道部件Ilc作为排出口也无妨。
[0052]与第一实施方式相比，通过这样的结构能够缩短喷嘴间距。第一实施方式的液体喷射头I的喷嘴间距由侧壁的厚度和槽宽支配。然而，关于该第二实施方式的液体喷射头I的喷嘴间距，通过调整通道的角度、喷出槽7在XY平面的长度方向的长度，能缩短交错排列的喷嘴间距。
[0053](第三实施方式)
图5是在作为本发明的第三实施方式的液体喷射头I的压电板形成槽之后的俯视图。图5的记载省略了附图右侧。
[0054]第三实施方式与第一实施方式或第二实施方式不同的部分是喷出槽7和非喷出槽8的形状，其他结构与第一实施方式或第二实施方式相同。因此，以下主要对与第一实施方式或第二实施方式不同的结构进行说明。对相同的部分或具有相同功能的部分给予相同的标号。
[0055]使用图5对液体喷射头I的压电板6进行说明。
[0056]压电板6具有图5中的附图上侧和附图下侧的2列槽的排列，在附图上侧和附图下侧的各排列中，喷出槽7和非喷出槽8都沿Y方向交替地排列。而且，附图上侧和附图下侧的喷出槽7、非喷出槽8在X方向上彼此对置。即，如图5所示，与第一、二实施方式不同，附图上侧和附图下侧的喷出槽7和非喷出槽8沿Y方向以同样的方式排列。换言之，喷出槽7a连通的喷嘴3a和喷出槽7b连通的喷嘴3b在XY平面中未形成交错排列，而是以沿X方向上列和下列的喷嘴的位置重复，沿Y方向上列彼此及下列彼此的喷嘴的位置重复的方式配置。
[0057]液体喷射头I的AA截面和BB截面是正交截面，但由于与第2实施方式的斜截面图、图4 (a) (b)相同，所以省略。 [0058]依据图4a，喷嘴3在AA截面中形成于喷嘴板2，与喷嘴3连通的喷出槽7在AA截面中彼此对置，流道在第二液室12b共通化以便应对此情况。依据图4b，非喷出槽8在BB截面中彼此对置。非喷出槽8与第一~第三液室12a~12c不连通。
[0059]在这样的液体喷射头I中，对用于将液体供给至喷嘴3 (3a,3b)的顺路和用于液体通过喷嘴3附近并排出的顺路进行说明。
[0060]首先，液体(墨)从流道部件Ila及流道部件Ilc的附图Z侧输送至第一液室12a及第三液室12c。为了将液体从未图示的液体罐输送至第一液室12a及第三液室12c，使用具有既定的口径的管和具备既定的输送力的泵装置即可。然后，通过第一液室12a及第三液室12c的液体经由供给侧的第一共通墨室IOa及第三共通墨室IOc到达喷出槽7，通过第二共通墨室IOb输送至第二液室12b并从流道部件Ilb排出。但是，虽然将流道部件Ila及流道部件Ilc作为供给口，将流道部件Ilb作为排出口，但将流道部件Ilb作为供给口，将流道部件Ila及流道部件Ilc作为排出口也无妨。
[0061]通过这样的结构，配置于上列和下列的喷出槽7的排出路径在流道部件Ilb的内部共通化。由此，能够将连通的喷嘴列的不同的多个喷出槽的排出路径共通化，并使头片更小型。
[0062](第四实施方式)
图6是在作为本发明的第四实施方式的液体喷射头I的压电板形成槽之后的俯视图。图6的记载省略了附图右侧。
[0063]第四实施方式与第一实施方式或第二实施方式不同的部分是喷出槽7和非喷出槽8的形状，其他结构与第一实施方式或第二实施方式相同。因此，以下主要对与第一实施方式或第二实施方式不同的结构进行说明。对相同的部分或具有相同功能的部分给予相同的标号。
[0064]使用图6对液体喷射头I的压电板6进行说明。
[0065]压电板6具有图6中的附图上侧和附图下侧的2列排列，在附图上侧和附图下侧的各排列中，喷出槽7和非喷出槽8沿Y方向交替地排列。而且，附图上侧和附图下侧的喷出槽7、非喷出槽8在X方向的既定角度彼此对置。即，如图6所示，附图上侧和附图下侧的喷出槽7和非喷出槽8沿Y方向错开半间距地排列着。然而，与第一、二实施方式不同，喷出槽7和非喷出槽8相对于X方向倾斜既定角度，因此喷出槽7a连通的喷嘴3a和喷出槽7b连通的喷嘴3b在XY平面中未配置为交错排列。各槽的宽度例如是50 μ m100 μ m,隔开各槽7、8的侧壁的宽度也能够是50 μm100 μ m。
[0066]液体喷射头I的AA截面和BB截面是斜截面，但由于与第I实施方式的正交截面图、图1 (a) (b)相同,所以省略。
[0067]在这样的液体喷射头I中，对用于将液体供给至喷嘴3 (3a、3b)的顺路和用于液体通过喷嘴3附近并排出的顺路进行说明。
[0068]首先，液体(墨)从流道部件Ila及流道部件Ilc的附图Z侧输送至第一液室12a及第三液室12c。为了将液体从未图示的液体罐输送至第一液室12a及第三液室12c，使用具有既定口径的管和具备既定的输送力的泵装置即可。然后通过第一液室12a及第三液室12c的液体经由供给侧的第一共通墨室IOa及第三共通墨室IOc到达喷出槽7，通过第二共通墨室IOb输送至第二液室12b并从流道部件Ilb排出。但是，虽然将流道部件Ila及流道部件Ilc作为供给口，将流道部件Ilb作为排出口，但将流道部件Ilb作为供给口，将流道部件Ila及流道部件Ilc作为排出口也无妨。
[0069]通过这样的结构，配置于上列和下列的喷出槽7的排出路径在流道部件Ilb的内部共通化。由此，能够将连通的喷嘴列的不同的多个喷出槽的排出路径共通化，并使头片更小型。
[0070](第五实施方式)
图7是作为本发明的第五实施方式的液体喷射头I的示意性的纵截面图。此外，图7
(a)是与图4 (a)对应的AA截面中的液体喷射头I的示意性的纵截面图，图7 (b)是与图4 (b)对应的BB截面中的液体喷射头I的示意性的纵截面图。
[0071]第五实施方式与第二实施方式不同的部分在于,在压电板6和喷嘴板2之间形成了补强板4这方面，将流道部件11作为整体形成这方面，以及将第二共通墨室IOb在盖板9的内部共通化这方面，其他结构与第二实施方式相同。因此，以下主要对与第二实施方式不同的结构进行说明。对相同的部分或具有相同功能的部分给予相同的标号。
[0072]接着，使用图7对液体喷射头I进行说明。
[0073]依据图7，液体喷射头I具备:从附图下侧开始层叠喷嘴板2、补强板4、压电板6、盖板9及流道部件ll(lla、llb及lie)的构造。压电板6在一个面具有多个喷出槽7(7a、7b)和非喷出槽8 (8a、8b)。各喷出槽7和非喷出槽8以长度方向为X方向，以槽的深度方向为Z方向，并沿作为与该X方向及Z方向正交的方向的Y方向交替地排列。
[0074]如图7所示，补强板4具备与喷出槽7和各喷嘴3连通的贯通孔5。
[0075]在这样的液体喷射头I中，参照图7 Ca)及图7 (b)，对用于将液体供给至喷嘴3(3a、3b)的顺路和用于液体通过喷嘴3附近并排出的顺路进行说明。
[0076]首先，液体(墨)从一体化的流道部件11中的流道部件Ila及流道部件Ilc的附图Z侧输送至第一液室12a及第三液室12c。为了将液体从未图示的液体罐输送至第一液室12a及第三液室12c，使用具有既定的口径的管和具备既定的输送力的泵装置即可。然后通过第一液室12a及第三液室12c的液体经由供给侧的第一共通墨室IOa及第三共通墨室IOc到达喷出槽7，通过在盖板9的内部共通化的第二共通墨室10b，输送至第二液室12b并从流道部件Ilb排出。由此，能够将连通的喷嘴列的不同的多个喷出槽的排出路径共通化，并使头片更小型。但是，虽然将流道部件Ila及流道部件Ilc作为供给口，将流道部件Ilb作为排出口，但将流道部件I Ib作为供给口，将流道部件I Ia及流道部件I Ic作为排出口也无妨。
[0077]与第二实施方式相比，本实施方式在作为PZT基板的压电板6的附图Z方向下侧配置有作为陶瓷的补强板4，而并非作为聚酰亚胺的喷嘴板2。通过这样的结构，压电元件容易发生翘曲变形。由此，当对侧壁施加电压时，侧壁能够以Z方向的大致中心为顶点较大地弯曲成“ < 字”。由此，喷出槽7的体积变化率变大，因此能够提高墨滴的速度，并能够应对高频的驱动速度。
[0078](第六实施方式)
图8是作为本发明的第六实施方式的流道部件11的正视图及截面图。此外，图8 (a)是流道部件11的正视图，图8 (b)是图8 Ca)的DD截面中的流道部件11的截面图。
[0079]第六实施方式的流道部件11与第五实施方式不同的部分在于，具有与流道部件11的第一液室12a及第三液室12c连通的流出口端口 15a、以及与第二液室12b连通的流入口端口 15b，其他结构与第五实施方式相同。因此，以下主要对与第五实施方式不同的结构进行说明。对相同的部分或具有相同功能的部分给予相同的标号。
[0080]图8所示的流道部件11在Y方向(流道部件11的长度方向)的一端侧(附图右侧)具有与第二液室12b连通的流入口端口 15b。流入口端口 15b是沿Z方向开口的圆形的开口，能够使液体(墨)流入至第二液室12b的内部。第二液室12b是从Y方向的一端侧至另一端侧以具有长度方向的方式形成的液室，其与未图示的盖板9的2个、或者被共通化为I个(参照第五实施方式)的第二共通墨室IOb连通，并且以覆盖第二共通墨室IOb的方式形成。由此，流入至第二液室12b的液体(墨)向第二共通墨室IOb流入。
[0081]另外，流道部件11在Y方向的另一端侧(附图左侧)具有与第一液室12a及第三液室12c连通的流出口端口 15a。流出口端口 15a是沿Z方向开口的圆形的开口，能够使液体(墨)从第一液室12a及第三液室12c向流道部件11的外部流出。第一液室12a及第三液室12c是分别从Y方向的另一端侧至一端侧以具有长度方向的方式形成的单独的液室，大致形成为字型。另外，第一液室12a及第三液室12c分别与未图示的盖板9的第一共通墨室IOa及第三共通墨室IOc连通，并且以覆盖第一共通墨室IOa及第三共通墨室IOc的方式形成。由此，第一液室12a及第三液室12c能够接收流出至第一共通墨室IOa及第三共通墨室IOc的液体(墨)。
[0082]此外，压电板6的多个喷出槽7(7a、7b)以容纳在图8所示的宽度W的范围内的方式配置。换言之，流出口端口 15a及流入口端口 15b以位于宽度W的外侧的方式形成。这是为了防止来自各端口 15的液体(墨)的流动直接流入喷出槽7 (7a、7b)。由此，防止直接的流动对喷出槽7 (7a、7b)的液体(墨)喷出产生不良影响。此外，宽度W的外侧由盖板9的上表面密封。
[0083](制造工序)
以下，对本发明中的液体喷射头I的制造工序进行说明。
[0084]首先，准备成为压电板6的压电陶瓷基板。该压电陶瓷基板可以是关于XY平面，与单一的压电板6相同大小的基板，为了能够取得多个压电板6，该压电陶瓷基板也可以是能够形成多个压电板6的程度的大小的基板。
[0085]在该压电陶瓷基板的表面，沿深度方向插入划片机。在成为喷出槽7的区域，以在X方向形成喷出槽7的既定长度的方式插入划片机。在成为非喷出槽8的区域，从既定位置插入划片机，并使划片机移动至成为压电板6的一端的位置，形成非喷出槽8。
[0086]在压电板6的形成有槽的表面粘合接合盖板9。盖板9具备从Z方向的一个面贯通至另一个面的第一共通墨室10a、第二共通墨室10b、第三共通墨室10c。第一、第二共通墨室10与压电板6的喷出槽7a连通，第二、第三共通墨室10与压电板6的喷出槽7b连通。非喷出槽8由沿Y方向并排的共通墨室10的中间区域闭塞，以墨不侵入的方式构成。
[0087]在盖板9的另一个面接合流道部件11。流道部件11分别以液室12与共通墨室10—致的方式构成。另外，通过以共通并覆盖第二共通墨室IOb和第三共通墨室IOc的方式接合第二液室12b，能够有效率地配置流道部件。虽然本次将流道部件分成3个配置，但即使用具备将液室12b和液室12a、12c共通化的液室的流道部件以覆盖盖板9的方式接合也无妨。
[0088]用研磨机对压电板6的另一个面进行表面磨削，使通过切割形成的槽析出，将补强板4接合至析出的表面。补强板4在Z方向上具备贯通孔5。贯通孔5成为与喷出槽7连通的结构。贯通孔5的X方向的长度优选为析出的喷出槽7的长度的程度。通过沿Y方向并排的贯通孔的中间区域闭塞非喷出槽8。
[0089]将喷嘴板2粘合至补强板4的另一个面。以喷嘴3的中心与贯通孔5的X方向的长度的中心一致的方式进行接合。
【权利要求】
1.一种液体喷射头，具备喷嘴板，所述喷嘴板具有由多个喷嘴构成的第一喷嘴列和第二喷嘴列，其特征在于， 所述液体喷射头具备压电板，所述压电板具有与所述第一喷嘴列的所述多个喷嘴连通的多个第一喷出槽、以及与所述第二喷嘴列的所述多个喷嘴连通的多个第二喷出槽， 所述第一喷出槽和所述第二喷出槽由位于所述第一喷出槽和所述第二喷出槽之间的分隔壁分离。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列的排列方向与所述第一喷出槽和所述第二喷出槽的长度方向正交。
3.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，相对于所述第一喷嘴列和所述第二喷嘴列的排列方向，所述第一喷出槽和所述第二喷出槽的长度方向倾斜既定角度。
4.如权利要求1至3的任一项所述的液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具有在所述第一喷嘴列的排列方向上与所述第一喷出槽交替地形成的多个第一非喷出槽、以及在所述第二喷嘴列的排列方向上与所述第二喷出槽交替地形成的多个第二非喷出槽。
5.如权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，所述第一喷出槽和所述第二非喷出槽及所述第二喷出槽和所述第一非喷出槽隔着所述分隔壁相邻。
6.如权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，所述第一喷出槽和所述第二喷出槽及所述第一非喷出槽和所述第二非喷出槽隔着所述分隔壁相邻。
7.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，所述多个喷嘴是在喷嘴的排列方向上所述第一喷嘴列的喷嘴位于所述第二喷嘴列的喷嘴间的交错排列。
8.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具备盖板，所述盖板具有与所述第一喷出槽连通并将液体供给至所述第一喷出槽的第一供给墨室、将液体从所述第一喷出槽排出的第一排出墨室、与所述第二喷出槽连通并将液体供给至所述第二喷出槽的第二供给墨室、以及将液体从所述第二喷出槽排出的第二排出墨室。
9.如权利要求8所述的液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具备流道部件，所述流道部件具有向所述第一供给墨室和所述第二供给墨室供给液体的供给端口、以及从所述第一排出墨室和所述第二排出墨室排出液体的排出端口。
10.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具有接合至所述喷嘴板和所述压电板之间的补强板，所述补强板具有分别与所述多个喷嘴和所述第一喷出槽及所述第二喷出槽连通的多个贯通孔。
11.一种液体喷射装置，具有如权利要求1或2所述的液体喷射头。
【文档编号】B41J2/01GK103660568SQ201310436698
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年9月24日 优先权日:2012年9月24日
【发明者】堀口悟史 申请人:精工电子打印科技有限公司