液体喷射头及液体喷射装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对被记录介质喷射液滴而记录的液体喷射头及液体喷射装置。
【背景技术】
[0002]近年来，使用对记录纸等吐出墨滴而记录字符、图形的，或者对元件基板的表面吐出液体材料而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式中，经由供给管将墨、液体材料等的液体从液体罐引导至通道，对填充在通道中的液体施加压力而作为液滴从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出液滴时，移动液体喷射头或被记录介质而形成记录字符、图形的，或者既定形状的功能性薄膜。
[0003]专利文献I中，记载了在压电体基板形成多个槽作为液体吐出用的通道，从槽的端部吐出液滴的边缘喷射型的液体喷射头100。图9是专利文献I中记载的液体喷射头的截面示意图。图9 Ca)是与槽的长度方向正交的方向的液体喷射头100的截面示意图，图9 (b)是墨腔103的槽方向的截面示意图。液体喷射头100具备压电陶瓷板102、接合到压电陶瓷板102的上表面的盖板110、和接合到压电陶瓷板102的侧面的喷嘴板114。在压电陶瓷板102夹着隔壁106交替排列有构成墨腔103的槽119和未填充液体的槽104。盖板110经由环氧类树脂120粘接到压电陶瓷板102的上表面。在盖板110形成有集流腔121，集流腔121构成为与槽119的端部连通而能够供给液体(墨)。压电陶瓷板102使用PZT陶瓷板，并且沿极化方向105极化。
[0004]槽104贯通盖板110并切削到压电陶瓷板102而形成。隔开槽119与槽104的隔壁106的、墨腔103侧的侧面形成有金属电极108，在槽104的侧面形成有电极117。金属电极108形成在比槽119的深度的一半还上方的位置，作为金属电极109引出至压电陶瓷板102的与喷嘴板114相反侧的一端的面115侧的浅槽107。电极117形成在槽104的内侧面、底面及盖板110的平坦部116。将该电极117设定为共同电位，向金属电极109供给驱动信号而对填充在墨腔103中的液体产生压力波，从而从喷嘴112吐出液滴。
[0005]专利文献1:日本特开平7 - 178903号公报。
【发明内容】
[0006]在专利文献I记载的液体喷射头100中，在压电陶瓷板102的与喷嘴板114相反侧的一端的面115侧的上表面设置有金属电极109。各金属电极109与形成在墨腔103的侦_的各金属电极108分别电连接。S卩，金属电极109以与墨腔103相同数量形成。因此，若墨腔103的排列间距变窄，则金属电极109的排列间距也变窄，使得金属电极109的构图细微化。因此，该细微化的金属电极109与用于从外部供给驱动信号的布线(例如柔性电路基板的布线)之间的电连接也变得困难。另外，槽104是利用金刚石刀从盖板110侧切削而形成。在形成该槽104时使槽104的槽方向的长度短于槽119的槽方向的长度，以使金刚石刀不会达到集流腔121。因此，为了确保驱动壁的有效长度，压电陶瓷板102的槽方向的长度变长。
[0007]本发明的液体喷射头，具备压电体基板，所述压电体基板具有沿基准方向交替排列在表面开口的吐出槽和在所述表面开口的非吐出槽的槽列，并具备设置在所述吐出槽的两侧面的共同驱动电极和设置在所述非吐出槽的两侧面的个别驱动电极，所述压电体基板在所述非吐出槽的长度方向上的两端侧的所述表面具备互相电隔离的个别布线，一端侧的所述个别布线与设置在所述非吐出槽的一个侧面的所述个别驱动电极电连接，另一端侧的所述个别布线与设置在所述非吐出槽的另一个侧面的所述个别驱动电极电连接。
[0008]另外，所述吐出槽在所述压电体基板的上表面开口，还具备:具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的所述上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并设置在所述压电体基板的侧面的喷嘴板。
[0009]另外，所述吐出槽从所述压电体基板的上表面贯通到与所述上表面相反侧的下表面，所述非吐出槽在所述压电体基板的所述上表面开口，所述个别布线设置在所述压电体基板的所述上表面，还具备:具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的所述上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并且设置在所述压电体基板的所述下表面的喷嘴板。
[0010]另外，所述盖板具备与所述个别布线电连接的第一贯通电极、和设置在与所述压电体基板的一侧相反的侧的表面并与所述第一贯通电极电连接的个别端子。
[0011]另外，在从所述压电体基板的所述上表面的法线方向观看的俯视图中，所述个别端子跨所述吐出槽地设置在所述盖板。
[0012]另外，在所述压电体基板的所述上表面具备与所述共同驱动电极电连接的共同布线。
[0013]另外，所述盖板具备与所述共同布线电连接的第二贯通电极、和设置在与所述压电体基板的一侧相反的侧的表面并与所述第二贯通电极电连接的共同端子。
[0014]另外，在一个所述吐出槽的两侧面设置的所述共同驱动电极和在其他一个所述吐出槽的两侧面设置的其他所述共同驱动电极经由所述共同布线电连接。
[0015]另外，在夹着所述吐出槽而邻接的所述非吐出槽的所述吐出槽一侧的侧面设置的两个所述个别驱动电极，经由所述个别端子电连接。
[0016]另外，还包括具备布线的柔性电路基板，所述布线与所述个别端子电连接而将所述柔性电路基板连接到所述盖板的表面。
[0017]另外，所述吐出槽从所述压电体基板的上表面贯通到与所述上表面相反侧的下表面，所述非吐出槽在所述压电体基板的所述下表面开口，所述个别布线设置在所述压电体基板的所述下表面，还具备:具有与所述吐出槽连通的液室并且设置在所述压电体基板的上表面的盖板；以及具有与所述吐出槽连通的喷嘴并且设置在所述压电体基板的下表面的喷嘴板。
[0018]另外，沿着所述基准方向并列有多个所述槽列。
[0019]本发明的液体喷射装置，具备:上述液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
[0020]依据本发明的液体喷射头，具备压电体基板，该压电体基板具有沿基准方向交替排列在表面开口的吐出槽和在表面开口的非吐出槽的槽列，并且具备设置在吐出槽的两侧面的共同驱动电极和设置在非吐出槽的两侧面的个别驱动电极，压电体基板在非吐出槽的长度方向上的两端侧的表面具备互相电隔离的个别布线，一端侧的个别布线与设置在非吐出槽的一个侧面的个别驱动电极电连接，另一端侧的个别布线与设置在非吐出槽的另一个侦_的个别驱动电极电连接。由此，个别布线的基准方向的排列间距变粗，其他电极之间的电连接变得容易。
【附图说明】
[0021]图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头中使用的压电体基板的示意性立体图；
图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的示意性分解立体图；
图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的截面示意图；
图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；
图5是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；
图6是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的示意性分解立体图；
图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的截面示意图；
图8是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性立体图；
图9是现有公知的液体喷射头的截面示意图。
[0022][标号说明]
I液体喷射头；2压电体基板；3吐出槽；4非吐出槽；5槽列；8盖板；9液室；10喷嘴板；11喷嘴；13a共同驱动电极；13b个别驱动电极；14、14a、14b开口部；15x共同布线；15y个别布线；16共同端子；17个别端子；18侧壁；20第一贯通电极；21第二贯通电极；22第一中间电极；US上表面；LS下表面；K基准方向。
【具体实施方式】
[0023](第一实施方式)
图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头I中使用的压电体基板2的示意性立体图。此外，压电体基板2的表面包含压电体基板2的上表面US和下表面LS。
[0024]压电体基板2具有沿基准方向K交替排列在上表面US开口的吐出槽3和在上表面US开口的非吐出槽4的槽列5，并且具备设置在吐出槽3的两侧面的共同驱动电极13a和设置在非吐出槽4的两侧面的个别驱动电极13b。压电体基板2在非吐出槽4的长度方向(在本实施方式中非吐出槽4开口的开口部14b的长度方向)上的两端侧的上表面US具备互相电隔离的个别布线15y，一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4 一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接，另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。压电体基板2还在其上表面US具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。在此，吐出槽3及非吐出槽