液体喷射头及液体喷射装置的制造方法_3

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电体基板2的槽方向的宽度形成得比盖板8的槽方向的宽度宽,并且以使共同布线15x和个别布线15y露出的方式将盖板8设置在上表面US。对该露出的共同布线15x和个别布线15y连接柔性电路基板,能够向个别驱动电极13b传递由外部电路生成的驱动信号。在该情况下,个别布线15y也分开在非吐出槽4的一端侧和另一端侧,因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗,与柔性电路基板的布线之间的电连接变得容易。
[0040](第三实施方式)
图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头I的说明图。图4 (a)是压电体基板2的俯视示意图,图4 (b)是盖板8的俯视示意图。在本实施方式中,具体示出共同端子16的形状,第二贯通电极21对应于各吐出槽3而设置多个,个别端子17呈T字形。其他的构成与第二实施方式同样。以下,主要对与第二实施方式不同的结构进行说明,对相同的结构省略说明。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
[0041]如图4 (a)所示,在吐出槽3的两端附近,邻接的吐出槽3之间的压电体基板2的上表面US设置有共同布线15X,共同布线15x与设置在邻接的吐出槽3的侧面的共同驱动电极13a电连接。设置在吐出槽3的两侧面的两个共同驱动电极13a在吐出槽3的两端部的向上切的倾斜面的底部电连接。因此,设置在吐出槽3的共同驱动电极13a经由共同布线15x全部电连接。换句话说,设置在一个吐出槽3的共同驱动电极13a与设置在其他一个吐出槽3的其他共同驱动电极13a经由设置在压电体基板2的上表面US的共同布线15x电连接。进而,与第二实施方式同样地,在非吐出槽4的长度方向上的两端侧的上表面US设置有互相电隔离的个别布线15y,一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接,另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。
[0042]盖板8对应于设置在邻接的吐出槽3之间的共同布线15x而具备第二贯通电极21。在本实施方式中,在吐出槽3的两端附近设置有共同布线15x,对应于各共同布线15x而设置有第二贯通电极21。因此,盖板8具备2倍于吐出槽3的数量的第二贯通电极21。盖板8进而在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面具备与各第二贯通电极21电连接的共同端子16。因此,设置在吐出槽3的两侧面的两个共同驱动电极13a经由两个第二贯通电极21而与共同端子16电连接。换句话说,设置在一个吐出槽3的共同驱动电极13a与设置在其他一个吐出槽3的其他共同驱动电极13a会经由设置在盖板8的表面的共同端子16电连接。进而,与第一实施方式同样地,盖板8具备:与个别布线15y电连接的第一贯通电极20 ;以及设置在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面并且与第一贯通电极20电连接的个别端子17。
[0043]这样,通过在各吐出槽3的两端附近设置第二贯通电极21,共同端子16与共同驱动电极13a之间的电阻下降,基于布线电阻的液滴的吐出异常降低。此外,虽然将第二贯通电极21设置在各吐出槽3的两端附近,但也可以仅在吐出槽3的一侧设置第二贯通电极21,也可以每隔2个吐出槽3设置第二贯通电极21,进而也可以零散地设置第二贯通电极21。总之,以不发生吐出异常的程度的密度设置第二贯通电极21即可。另外,个别端子17呈T字形,T字形的上部与两个第一贯通电极20电连接,T字形的下部覆盖吐出槽3,作为与外部电路电连接的端子起作用。
[0044](第四实施方式)
图5是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头I的说明图。图5 (a)是液体喷射头I的压电体基板2的俯视示意图,图5 (b)是沿着液体喷射头I的吐出槽3的槽方向的截面示意图。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
[0045]液体喷射头I具备:压电体基板2 ;设置在压电体基板2的上表面US的盖板8 ;以及设置在压电体基板2的侧面SS的喷嘴板10。压电体基板2具有沿基准方向K交替排列在上表面US开口的吐出槽3和在上表面US开口的非吐出槽4的槽列5,并且具备设置在吐出槽3的两侧面的共同驱动电极13a和设置在非吐出槽4的两侧面的个别驱动电极13b。压电体基板2在非吐出槽4的长度方向(在本实施方式中非吐出槽4开口的开口部14的长度方向)上的两端侧的上表面具备互相电隔离的个别布线15y,一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的一个侧面的个别驱动电极13b电连接,另一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。压电体基板2进而在其上表面US具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。
[0046]盖板8具备:与吐出槽3连通的液室9 ;与个别布线15y电连接的第一贯通电极20 ;与共同布线15x电连接的第二贯通电极21 ;与第一贯通电极20电连接的个别端子17 ;以及与第二贯通电极21电连接的共同端子16。个别端子17和共同端子16设置在与盖板8的压电体基板2相反的侧的表面。个别端子17设置在非吐出槽4的两端侧,各个别端子17电连接设置在夹着吐出槽3而邻接的非吐出槽4的吐出槽3的一侧的侧面的两个个别驱动电极13b。因此,各个别端子17在从压电体基板2的上表面US的法线方向观看的俯视图中,跨吐出槽3地设置在盖板8。喷嘴板10具有与吐出槽3连通的喷嘴11。
[0047]这样,将个别布线15y分开设置在非吐出槽4的一端侧和另一端侧,因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗,与第一贯通电极20之间的电连接变得容易。同样如此,形成在盖板8的表面的个别端子17的排列间距也变粗,与未图示的柔性电路基板的布线之间的连接也变得容易。
[0048]对压电体基板2进行具体说明。吐出槽3从一个侧面SS形成到另一个侧面SS的跟前,非吐出槽4从一个侧面SS的跟前形成到另一个侧面SS的跟前。吐出槽3在上表面US开口而不在下表面LS开口。非吐出槽4用切割刀从下表面LS的一侧磨削而形成,使之贯通到上表面US。非吐出槽4的两端部被转印有切割刀的外形形状,从下表面LS朝着上表面US呈凸形状。形成在盖板8的液室9在吐出槽3和另一侧的端部中连通。非吐出槽4不在盖板8的液室9开口的压电体基板2的上表面US开口,因此无需在液室9设置用于阻止使液室9与非吐出槽4连通的狭缝。
[0049](第五实施方式)
图6是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头I的示意性分解立体图。图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头I的截面示意图。图7 Ca)是沿着液体喷射头I的吐出槽3的截面示意图,图7 (b)是沿着液体喷射头I的非吐出槽4的截面示意图。此夕卜,在图8及图7中上下颠倒。与第一实施方式的不同点是在设置有压电体基板2的喷嘴板10的下表面LS设置有共同布线15x、个别布线15y这一点。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
[0050]如图6所示,液体喷射头I具备:压电体基板2 ;设置在压电体基板2的上表面US的盖板8 ;以及设置在压电体基板2的下表面LS的喷嘴板10。压电体基板2具有沿基准方向K交替排列在下表面LS开口的吐出槽3和在下表面LS开口的非吐出槽4的槽列5,并且具备设置在吐出槽3的两侧面的共同驱动电极13a和设置在非吐出槽4的两侧面的个别驱动电极13b。压电体基板2在非吐出槽4的长度方向(在本实施方式中非吐出槽4开口的开口部14的长度方向)上的两端侧的下表面LS具备互相电隔离的个别布线15y,一端侧的个别布线15y与设置在非吐出槽4的一侧的侧面的个别驱动电极13b电连接,另一端侧的个另IJ布线15y与设置在非吐出槽4的另一个侧面的个别驱动电极13b电连接。压电体基板2进而在下表面LS具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。在此,吐出槽3及非吐出槽4从压电体基板2的下表面LS贯通到上表面US,但本发明并不限定于此,非吐出槽4也可以不贯通到上表面US侦U。
[0051]喷嘴板10具备与吐出槽3连通的喷嘴11,并且设置在压电体基板2的下表面LS。喷嘴板10在槽方向的宽度比压电体基板2的槽方向的宽度窄,在设置压电体基板2的喷嘴板10时,露出形成在非吐出槽4的两端侧的下表面LS的个别布线15y和形成在一侧的共同布线15x。将该露出的共同布线15x及个别布线15y和未图示的柔性电路基板的布线电连接,从而能够从外部供给驱动信号。在盖板8形成有两个液室9,一个液室9与吐出槽3的一个端部连通,另一个液室9与吐出槽3的另一个端部连通。这样,将个别布线15y分开设置在非吐出槽4的一端侧和另一端侧,因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗,与其他电极的连接变得容易。另外,非吐出槽4不在设置有液室9的区域的上表面US开口,无需在液室9设置用于截断与非吐出槽4的连通的狭缝。
[0052]利用图7 (a)及(b)进行具体说明。吐出槽3从上表面US朝着下表面LS呈凸形状。非吐出槽4从下表面LS朝着上表面US呈凸形状,槽方向的两端侧从下表面LS起具有恒定的深度。该深度比压电体基板2的
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