液体喷射头及液体喷射装置的制造方法_2

文档序号:8404794阅读:来源:国知局
4从压电体基板2的上表面US贯通到与上表面US相反侧的下表面LS。这样,将个别布线15y分开设置在非吐出槽4的一端侧和另一端侧,因此个别布线15y的基准方向K的排列间距变粗,与第一贯通电极20 (图2中记载)之间的电连接变得容易。此外,在图1中为了方便理解而对共同布线15x和个别布线15y实施了点画。
[0025]作为压电体基板2能够使用PZT陶瓷基板。压电体基板2同样沿基板面的垂直方向实施极化处理。在本实施方式中将共同驱动电极13a及个别驱动电极13b设置在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠上表面US侧。代替该情况,在作为压电体基板2使用层叠了沿基板表面的垂直方向的上方实施极化处理的压电体和沿垂直方向的下方实施极化处理的压电体的人字纹型的层叠压电体基板的情况下,能够将共同驱动电极13a及个别驱动电极13b从槽的上端比极化边界更深地设置。
[0026]压电体基板2在上表面US还具备与吐出槽3的共同驱动电极13a电连接的共同布线15x。共同布线15x在吐出槽3在上表面US开口的开口部的端部附近,以包围槽列5的方式设置,与设置在多个吐出槽3的侧面的多个共同驱动电极13a电连接。S卩,设置在一个吐出槽3的共同驱动电极13a与设置在其他一个吐出槽3的其他共同驱动电极13a经由共同布线15x电连接。
[0027]此外,在本实施方式中,也可以使吐出槽3不在上表面US开口,而在下表面LS开口,使共同布线15x不设置在上表面US,而设置在下表面LS。S卩,不仅吐出槽3和非吐出槽4在上表面US开口,或者,吐出槽3和非吐出槽4在下表面LS开口的情况,而且吐出槽3或非吐出槽4在上表面US开口,非吐出槽4或吐出槽3在下表面LS开口的情况也包括在本发明的范围内。
[0028](第二实施方式)
图2是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头I的示意性分解立体图。图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头I的截面示意图。图3 (a)是沿着液体喷射头I的吐出槽3的截面示意图,图3 (b)沿着液体喷射头I的非吐出槽4的截面示意图,图3(c)是表示个别驱动电极13b与第一贯通电极20之间的连接构造的变形例的截面示意图。此外,本第二实施方式所涉及的液体喷射头I使用第一实施方式中说明的压电体基板2,因此省略对压电体基板2的详细说明。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
[0029]如图2所不,液体喷射头I具备:压电体基板2 ;设置在压电体基板2的上表面US的盖板8 ;以及设置在压电体基板2的下表面LS的喷嘴板10。喷嘴板10具有与吐出槽3连通的喷嘴11。
[0030]盖板8具有:与吐出槽3连通的液室9 ;与个别布线15y电连接的第一贯通电极20 ;及设置在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面并且与第一贯通电极20电连接的个别端子17。个别端子17呈L字形,在L字形的底部,与在夹着吐出槽3而邻接的非吐出槽4的吐出槽3 —侧的侧面设置的两个个别驱动电极13b电连接。因此,个别端子17的L字形的底部,在从压电体基板2的上表面US的法线方向观看的俯视图中,跨吐出槽3地设置在盖板8。
[0031]个别端子17设置在非吐出槽4的两端侧,非吐出槽4的一端侧的个别端子17和另一端侧的个别端子17使L字形的底部朝向外侧、上部朝向内侧地沿基准方向K排列。L字形的上部作为与外部电路电连接的电极端子起作用。例如,沿基准方向K连接柔性电路基板,将柔性电路基板的布线和个别端子17电连接而能够将由外部电路生成的驱动信号供给个别端子17。另外,取代柔性电路基板,而能够通过引线接合法来与外部电路连接。由此,与个别布线15y同样地,形成在盖板8的表面的个别端子17的排列间距也变粗,与未图示的柔性电路基板等的其他布线之间的连接也变得容易。
[0032]用图3 (a)及(b)来具体说明。吐出槽3从压电体基板2的上表面US朝着下表面LS具有凸形状,从上表面US贯通到下表面LS。非吐出槽4从下表面LS朝着上表面US具有凸形状,从下表面LS贯通到上表面US0因此,吐出槽3在上表面US开口的开口部14a的槽方向的长度长于在非吐出槽4的上表面US开口的开口部14b的槽方向的长度。吐出槽3在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠上表面US侧的两侧面具备共同驱动电极13a,非吐出槽4在比压电体基板2的厚度的大致1/2靠上表面US侧的两侧面具备个别驱动电极 13b。
[0033]盖板8具备两个液室9、第一贯通电极20、和与第一贯通电极20电连接的个别端子17。盖板8还具备未图示的第二贯通电极和与第二贯通电极电连接的未图示的共同端子。一个液室9与多个吐出槽3的一侧的端部连通,另一个液室9与多个吐出槽3的另一侧的端部连通。非吐出槽4不在设置有液室9的区域的上表面US开口,因此,不与液室9连通。第二贯通电极沿盖板8的板厚方向贯通,与共同布线15x电连接。第二贯通电极设置在盖板8的基准方向K的端部,与设置在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面的未图示的共同端子电连接。第一及第二贯通电极、个别端子及共同端子,能够通过镀敷法等而形成为低电阻。另外,作为盖板8能够使用具有与压电体基板2相同程度的热膨胀系数的材料。例如,能够使用PZT陶瓷或可加工陶瓷。
[0034]此外,本发明中个别端子17为L字形并不是必要条件,可为T字形,也可为其他形状。另外,本第二实施方式中,在夹住吐出槽3的两个非吐出槽4的吐出槽3侧的侧面设置的两个个别驱动电极13b经由个别端子17电连接,但是代替该情况,两个个别驱动电极13b不在个别端子17中电连接,而经由其他布线或外部电路而电连接也可。另外,若吐出槽3的基准方向K的排列间距变得细微,则个别端子17的基准方向K的排列间距也变得细微。在该情况下,削除个别端子17的L字形的上部,使一侧的个别端子17与另一侧的个别端子17分开即可。
[0035]液体喷射头I如下驱动。首先,向一个液室9供给液体。液体流入各吐出槽3,进而,流出到另一个液室9并排出。而且,向未图示的共同端子供给GND电位,向个别端子17供给驱动信号。GND电位从共同端子经由未图示的第二贯通电极传递到共同布线15x,并供给到各吐出槽3的共同驱动电极13a。驱动信号从个别端子17经由第一贯通电极20和个别布线15y而供给到非吐出槽4的个别驱动电极13b。这样,吐出槽3与非吐出槽4之间的侧壁18进行厚度滑移变形,吐出槽3的容积扩大,接着缩小而使吐出槽3感应到压力波。该压力波传递到喷嘴11而从喷嘴11吐出液滴。向各个别端子17独立供给驱动信号,能够独立驱动各吐出槽3。液体填充到吐出槽3但不填充非吐出槽4。液体不与个别布线15y、第一贯通电极20及个别端子17接触。因此,即便使用导电性的液体也不会出现经由液体而驱动信号泄漏的情况。另外,由于在盖板8设置输入驱动信号的个别端子17、共同端子,能够使压电体基板2的槽方向的宽度为与盖板8相同的宽度,能够较小地构成液体喷射头I?此外,液体也可以从一个液室9和另一个液室9两者供给到吐出槽3。
[0036]此外,上述的实施方式中,记载了对共同端子施加GND电位,对个别端子17施加驱动信号的技术,但是本申请发明并不限于该方式。例如,也可以对吐出槽3的驱动电极13施加驱动信号而不是GND电位,向非吐出槽4施加GND电位。
[0037]图3 (c)表示第二实施方式的变形例。盖板8在压电体基板2的一侧的背面具备第一中间电极22。第一中间电极22与第一贯通电极20电连接,并且与个别布线15y电连接。即,个别布线15y经由第一中间电极22和第一贯通电极20而与个别端子17电连接。同样如此,盖板8具备:未图示的第二贯通电极;在与压电体基板2的一侧相反的侧的表面设置,并且与第二贯通电极电连接的未图示的共同端子;以及在压电体基板2的一侧的背面设置,并且与第二贯通电极电连接的未图示的第二中间电极。第二中间电极与共同布线15x电连接。即,共同布线15x经由第二中间电极和第二贯通电极而与共同端子电连接。个别布线15y与第一中间电极22之间,或者,在共同布线15x与第二中间电极之间既可以直接接触而电连接,也可以经由各向异性导电片电连接。通过设置第一中间电极22、第二中间电极,能够降低压电体基板2侧与盖板8侧之间的电接触电阻。另外,无需将第一贯通电极20设置在个别布线15y的上部,或者无需将第二贯通电极设置在共同布线15x的上部,扩大了设计自由度。
[0038]此外,本第二实施方式中,为用向圆盘状刀的外周埋入切削材料的切割刀形成吐出槽3及非吐出槽4,槽端部成为向上切或向下切的倾斜面。然而,将槽端部做成倾斜面并不是本发明的必要条件,也可为从上表面US笔直贯通到下表面LS的槽。在该情况下,以使非吐出槽4不与接合到上表面US的盖板8的液室9连通的方式,将非吐出槽4的槽方向的长度形成得比吐出槽3的槽方向的长度短。
[0039]另外,本第二实施方式中,设置在压电体基板2的上表面US的共同布线15x和个别布线15y经由贯通电极引出到盖板8的外表面,但是本发明并不限定于该结构。例如,将压
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