专利名称：涂布显影装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种涂布装置，尤其涉及一种半导体集成电路制造领域的涂布显影装置。
背景技术：
集成电路制造技术随着摩尔定律快速向前发展，随着关键尺寸的不断缩小，芯片生产的资本投入和技术门槛越来越高。对于芯片制造商而言，尤其是晶圆代工(Foundry)业者来说，如何有效降低单位芯片的制造成本是制胜的法宝。通常，合理利用设备产能分配以实现单位时间的最大出货量是降低成本的有效手段之一，因此每个机台的出货量(WPH)通常是建厂初期设备选型需要考量的核心要素之一。对于涂布显影机(tracker)而言，涂布喷嘴(Nozzle)是核心部件之一。如图1中所示，1为涂布喷嘴，为了有效提高WPH并提高机台的利用率，通常会把各种涂布喷嘴1集中放置在一个机械手臂的悬挂架上。并如图2中所示，将Nozzle成一个直线排列随着机械手臂2移动。而这种Nozzle排列方式在实际运行过程中，Nozzle头之间的相互切换以及将悬挂架上的Nozzle移动到半导体薄片(wafer)中间时，由于Nozzle的移动均为直线移动，因此都需要耗费一定的时间，减少了 WPH ；并且直线移动对软件设计也是一个考验。尤其随着晶圆尺寸增加，Nozzle的结构设计是否合理，成为制约提升WPH的重要因素。因此，本领域的技术人员致力于开发一种减少Nozzle移动时间的涂布显影装置。
发明内容
鉴于上述的现有技术中的问题，本发明所要解决的技术问题是现有的涂布喷嘴移动时间较长。本发明提供的一种涂布显影装置，包括机械手臂、悬挂架和若干涂布喷嘴，所述悬挂架的一端可旋转的设于所述机械手臂上，所述悬挂架的另一端设有圆环形的安装槽，所述若干涂布喷嘴包括嘴头和相对于嘴头的底端，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽连接。在本发明的一个较佳实施方式中，所述悬挂架上可旋转的设于所述机械手臂上的一端的旋转轴通过所述安装槽的圆心。在本发明的另一较佳实施方式中，所述若干涂布喷嘴与所述悬挂架上可旋转的设于所述机械手臂上的一端的旋转轴平行。在本发明的另一较佳实施方式中，还包括驱动装置，所述驱动装置与悬挂架相连， 并驱动所述悬挂架的一端旋转。在本发明的另一较佳实施方式中，还包括涂布显影机，所述涂布显影机与所述若干涂布喷嘴相连。在本发明的另一较佳实施方式中，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽之间固定连接
本发明的涂布显影装置结构简单，制作方便，使用和安装均较为简便。可以减少因涂布喷嘴切换和移动带来的出货量损耗，以降低单位时间的制造成本。
图1是现有技术的结构示意图2是现有技术的机械手臂的结构示意图； 图3是本发明的机械手臂和涂布喷嘴的结构示意图； 图4是本发明的悬挂架及涂布喷嘴的俯视结构示意图。
具体实施例方式以下将结合附图对本发明做具体阐释。如图3和图4中所示的本发明的实施例的一种涂布显影装置，包括机械手臂1、悬挂架3和若干涂布喷嘴2。如图4中所示的悬挂架3，其中一端可旋转的设于机械手臂上；另一端上设有圆环形的安装槽32。若干涂布喷嘴2包括嘴头和相对于嘴头的底端，若干涂布喷嘴2的底端与安装槽32连接。如此，当本发明的悬挂架随着机械手臂或者自身产生移动时，设于安装槽上的涂布喷嘴也可随之移动到合适的位置，以完成喷涂。本发明利用了悬挂架上的圆环形的安装槽以固定涂布喷嘴，如此，只需旋转移动悬挂架，即可移动涂布喷嘴，从而避免了直线移动涂布喷嘴带来的距离和时间的消耗，从而节省了工作时间，提升了出货量。本发明的涂布显影装置结构简单，制作方便，使用和安装均较为简便。可以减少因涂布喷嘴切换和移动带来的出货量损耗，以降低单位时间的制造成本。另如图3中所示，在本发明的实施例中，悬挂架(图中未示出)上可旋转的设于机械手臂1上的一端的旋转轴A-A’通过安装槽的圆心。如此，可以方便的快速的移动悬挂架， 节省时间。此外，如图3中所示，在本发明的实施例中，若干涂布喷嘴1与悬挂架上可旋转的设于机械手臂上的一端的旋转轴A-A’平行。另外，在本发明的实施例中，还可以包括驱动装置，驱动装置与悬挂架相连，并驱动悬挂架的一端旋转。通过驱动悬挂架自身旋转，可以方便的在若干涂布喷嘴之间进行切换。在本发明的实施例的涂布显影装置中，还包括涂布显影机，涂布显影机与若干涂布喷嘴相连，并可控制若干涂布喷嘴完成涂布显影工作。本发明的实施例在实际工作中
1)当本发明的实施例应用于涂布工作时；
如图3中所示，以RRC (Reducing Resist Consumption)方式进行涂布工作时，当需切换涂布喷嘴1时，只需要旋转相应的角度，即可将所需涂布喷嘴快速切换至晶圆的合适位置，切换变得更快。取代原本的直线移动，节省了时间，提高WPH。
2)当本发明的实施例应用于显影工作时；
可以实现喷涂显影液和清洗液(DIW)的不同涂布喷嘴之间的快速切换。当显影结束， 进入到冲洗的过程中，将喷涂DIW的涂布喷嘴快速旋转切换至原先喷涂显影液的涂布喷嘴的位置，实现快速切换。取代了原本的由显影液涂布喷嘴结束工作回到起始位置，DIW涂布喷嘴移动到晶圆中心继续工作的工作流程。大大提高WPH的同时，也降低了设计成本。即原本设计需要2个分开的移动和对准控制系统，且都需要占有一定的空间，而本发明中虽然也需要2个控制系统，但是旋转移动的控制系统几乎不占用空间。以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。
权利要求
1.一种涂布显影装置，其特征在于，包括机械手臂、悬挂架和若干涂布喷嘴，所述悬挂架的一端可旋转的设于所述机械手臂上，所述悬挂架的另一端设有圆环形的安装槽，所述若干涂布喷嘴包括嘴头和相对于嘴头的底端，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽连接。
2.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，所述悬挂架上可旋转的设于所述机械手臂上的一端的旋转轴通过所述安装槽的圆心。
3.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，所述若干涂布喷嘴与所述悬挂架上可旋转的设于所述机械手臂上的一端的旋转轴平行。
4.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置与悬挂架相连，并驱动所述悬挂架的一端旋转。
5.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，还包括涂布显影机，所述涂布显影机与所述若干涂布喷嘴相连。
6.如权利要求1所述的涂布显影装置，其特征在于，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽之间固定连接。
全文摘要
本发明提供的一种涂布显影装置，包括机械手臂、悬挂架和若干涂布喷嘴，所述悬挂架的一端可旋转的设于所述机械手臂上，所述悬挂架的另一端设有圆环形的安装槽，所述若干涂布喷嘴包括嘴头和相对于嘴头的底端，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽连接。本发明的涂布显影装置结构简单，制作方便，使用和安装均较为简便。可以减少因涂布喷嘴切换和移动带来的出货量损耗，以降低单位时间的制造成本。
文档编号G03F7/00GK102445840SQ201110386760
公开日2012年5月9日 申请日期2011年11月29日 优先权日2011年11月29日
发明者何伟明, 邢精成 申请人:上海华力微电子有限公司