专利名称：一种掩模板及其检测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及掩模板技术领域，尤其涉及一种掩模板及其检测系统。
背景技术：
在薄膜晶体管液晶显不器件(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,TFT IXD)和有机电致发光器件(Organic Light Emitting Device, 0LED)阵列エ艺生产过程中，光刻技术扮演了重要的角色。光刻技木，是将设置好的图案制作成具有特定形状可透光的掩模，利用曝光原理，使光源通过掩模投影至显示器件上，可曝光 显示特定的图案。在阵列エ艺过程中，通常一种型号的产品(显示器)需要至少4次以上的成膜、光亥IJ、刻蚀、剥离的循环过程。对单个型号产品而言，毎次光刻エ艺都需要ー个唯一的掩模板存放在曝光设备上。当生产ー种型号产品时，曝光设备上一般需储存不止ー个掩模板的位置信息；当同时生产多个型号的产品时，曝光设备需储存较多的掩模板的位置信息。在一次阵列エ艺过程中存在不同掩模板之间的切換，如果在某一次光刻エ艺过程中放错了掩模板，后续受损的产品将是批量性的，造成的损失巨大且无法挽回。现有的掩模板的光刻エ艺的曝光过程如下人工确认曝光设备设定位置处存放的掩模板是否正确；搬送装置将掩模板搬送到用于承载掩模板的设备基台上；主设备对掩模板实施对位补正；主设备对掩模板实施曝光作业。在人工确认掩模板是否正确时，存在主观判断因素，差错不可避免，一旦造成差错，后续エ艺受损的产品将是批量性的，将造成巨大损失。
实用新型内容本实用新型实施例提供了一种掩模板及其检测系统，用以有效避免掩模板切换过程中出现的切换错误的掩模板的问题。本实用新型实施例提供的一种掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。本实用新型实施例提供的一种掩模板的检测系统，用于检测权利要求I至3任一权项所述的掩模板，包括用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件、卡件带动装置、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及第一报警单元；所述卡件带动装置，用于根据所述控制単元的控制，带动所述卡件从卡件初始纵向位置移动到所述控制単元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置；所述卡头部驱动装置，用于根据所述控制単元的控制，带动所述卡头部从卡头部初始横向位置移动到所述控制単元中预设的掩模板的横向位置；所述第一报警单元，用于当卡头部的抵顶到掩模板边缘时，发出调整掩模板提示信息。[0016]本实用新型实施例提供的一种掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。本实用新型还提供了与该掩模板相对应的检测系统，当掩模板放置于支撑该掩模板的设备基台上时，所述掩模板检测系统检测所述设备基台上放置的掩模板是否正确，如果放置错误则发出请求调整掩模板的报警，避免人工检测存在的误检，提高检测效率及准确率。
图I为本实用新型实施例提供的一种掩模板结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的一种掩模板结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图；图5为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图；图6为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例提供了一种掩模板及其检测系统，用以有效避免掩模板切换过程中出现的切換了错误的掩模板的问题。本实用新型实施例提供的掩模板及其检测系统可以适用于TFT IXD或0LED。本实用新型实施例提供的掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。较佳地，所述掩模板相対的两个边上的卡扣槽镜像对称。參见图1，为在两个长边分别设置有ー个卡扣槽11的掩模板I。较佳地，两个卡扣槽11镜像对称。较佳地，參见图2，卡扣槽11位于掩模板I的外围非像素区域13，图2中阴影部分为掩模板的像素区域。相应地，本实用新型实施例提供的ー种上述掩模板的检测系统，包括用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件带动装置、卡件、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及报警单元，该报警单元为第一报警单元；所述卡件带动装置，用于根据所述控制単元的控制，带动所述卡件移动到所述控制単元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置；所述卡头部驱动装置，用于根据所述控制単元的控制，带动所述卡头部移动到所述控制単元中预设的掩模板的横向位置；所述第一报警单元，用于当卡头部的抵顶到掩模板边缘时，发出调整掩模板提示信息。如图3所示，位于掩模板I长边两侧的卡件2为L形空心管，L形卡件2的长边和掩模板I的长边平行，图3中卡件2所处的位置为卡件2相对于设备基台上的掩模板I的初始位置，所示初始位置如图3中所示的a和b处。该卡件2由卡件带动装置(图3中未示出)带动并沿掩模板I的长边方向移动。卡头部3活动装设于卡件2上，卡头部3的一端伸入到L形卡件2的短边，另一端和掩模板I的侧边接触，当卡件2从初始位置沿着掩模板I的侧边移动时，带动卡头部3 —起移动。当卡件2按照控制単元中预设參数到达掩模板I侧边某一位置时停止移动，控制单元控制卡头部驱动装置(图3中未示出)驱动卡头部3，按照控制单元中预设的掩模板卡扣槽11所在的位置沿着与卡件2移动方向垂直的方向移动，当控制单元在At时间内检测到卡头部3有一定的位移值时，可以确定卡头部3正确伸入掩模板I的卡扣槽11中。当控制单元在At时间内检测到卡头部3位移值没有任何变化时，确定设备基台上放置了错误的掩模板，并实施报警，发出调整掩模板I的提示信息。较佳地，如图4所示，所述掩模板检测系统还包括装设于掩模板I卡扣槽11中的传感器12，该传感器12为第一传感器，用于感受卡头部3的抵压，并将该感受到的压カ信号反馈给控制単元。该传感器12可以为压カ传感器，并且该传感器12属 于控制単元。较佳地，所述掩模板检测系统还包括第二报警单元，当控制单元接收到传感器12反馈的压力信号时，发出无需调整掩模板的提示信息。需要说明的是，所述第一报警单元和第二报警单元可以为同一报警单元。较佳地，卡头部驱动装置通过气压或液压的方式，带动卡头部移动。较佳地，如图5所示，卡头部3上装设有与控制单元(图5中未示出)相连并可抵顶到掩模板边缘的第二压カ传感器14。较佳地，如图6所示，卡头部3与卡件2之间设有与第一报警单元(图6中未示出)电连接以控制第一报警单元发出调整掩模板的行程开关15。下面通过具体的实施例来说明上述掩模板检测系统是如何检测掩模板是否放置正确的。实施例一本实用新型实施例提供的一种掩模板，如图I所示，在掩模板的两个长边分别设置有ー个卡扣槽11。首先，人工确认本次曝光过程中将要使用的掩模板1，然后，控制单元控制掩模板搬送装置搬送掩模板1，将掩模板I搬送到用于实施曝光的设备基台上，接着，掩模板检测系统开始对掩模板I进行检測。如图3所示，掩模板检测系统在启动之前，卡件2位于设备基台的初始位置，该初始位置预先设置在控制单元中，所述初始位置位于掩模板I的两长边的最底端或者最顶端，如图3所示的a、b处，初始位置位于掩模板I的两长边的最底端。在掩模板I所处的平面内建立直角坐标系，设卡件2所处的a点为坐标原点，即(0,0)点,则b点为(d,0)点,其中d为掩模板短边的长度。在放置掩模板时，也会按照该初始位置将掩模板放置在设备基台上。掩模板检测系统启动之后，控制单元先后控制卡件带动装置和卡头部驱动装置，最終将卡头部3移动到控制単元中预设的掩模板卡扣槽所在的位置，具体在坐标系中为(X。，Y0)(掩模板I左侧卡扣槽)和(X1, Y1)(掩模板I右侧卡扣槽)。如果掩模板相对的两个边上的卡扣槽镜像对称，则(Xo，Ytl)与(X1, Y1)的坐标关系为=X1=XJb, Ytl=Yp具体地，如图3所示，掩模板检测系统启动之后，首先，控制单元控制设备基台上的卡件带动装置带动卡件2移动，所述卡件带动装置带动卡件2沿掩模板两个长边方向移动，即沿坐标系的纵向移动，将卡件2由初始位置(0，O)和(b，O)移动到(0，Ytl)和(b，Y1)点。然后，控制单元控制设备基台上的卡头部驱动装置驱动卡头部3按照控制単元中预设的卡扣槽的位置(Xo，Y0)和(X1, Y1)移动。若掩模板I为放置正确的掩模板时，则卡头部3可以伸入到各自对应的卡扣槽11内，即可以移动到预设的掩模板所在的位置(Xtl, Ytl)和(XpY1X如果控制単元在At时间内检测到卡头部的位移值发生了 Xtl的变化量吋，确定掩模板I为放置正确的掩模板，然后进行后续作业。若掩模板I为放置错误的掩模板时，则卡头部3无法伸入到各自对应的卡扣槽11内，卡头部在(0，Ytl)和(b，Y1)点不动。控制单元在At时间内检测到卡头部3的位移值未发生变化，确定掩模板I为放置错误的掩模板，控制第一报警单元实施报警，发出需要调整掩模板的提示信息。实施例ニ 与实施例一中掩模板检测系统结构相同，并且该掩模板检测系统进一步还包括第ニ报警单元和装设于掩模板卡扣槽中的第一传感器。如图4所不，掩模板I的卡扣槽11中各装设有ー传感器12,该传感器为第一传感器，当卡头部3伸入到各自对应的卡扣槽11内时，第一传感器12感受到卡头部3的压カ信号，并将该压カ信号发送给控制单元，控制单元控制第二报警单元发出掩模板放置正确的提示信息。控制单元在At时间内未接收到传感器12的反馈信号时，第二报警单元实施报警，发出需要调整掩模板的提示信息。实施例三与实施例一掩模板检测系统结构相同，并且该掩模板检测系统进ー步还包括装设于卡头部与控制单元相连并可抵顶到掩模板边缘的第二压カ传感器。当卡头部在卡头部驱动装置的驱动下向控制单元中预设的掩模板卡扣槽中移动时，如果放置了错误的掩模板，则第二压カ传感器感受到掩模板边缘的抵压时，向控制单元反馈感受到的压カ信号，控制単元根据所述压カ信号控制第一报警单元发出无需调整掩模板的提示信息。实施例四与实施例一掩模板检测系统结构相同，并且该掩模板检测系统进ー步还包括卡头部与卡件之间设置的与第一报警单元电连接以控制报警单元发出调整掩模板的行程开关。当卡头部在卡头部驱动装置的驱动下向控制单元中预设的掩模板卡扣槽中移动时，如果放置了错误的掩模板，则第二压カ传感器感受到掩模板边缘的抵压时，向控制单元反馈感受到的压カ信号，控制单元根据所述压カ信号控制卡头部驱动装置驱动卡头部向X轴的负方向移动，与设置于卡头部与卡件之间的行程开关接触，行程开关将结束整个掩模板检测系统。实施例ニ中，当掩模板放置正确或放置错误时，控制単元同时根据卡头部位移值的变化量和传感器的反馈信号确定掩模板是否放置正确，减小了掩模板切换过程中出现的切換了错误的掩模板的可能。需要说明的是，上述实施例一和实施例ニ中，掩模板的卡扣槽也可以设置在掩模板的短边，或者同时设置在掩模板的长边和短边。本实用新型实施例提供的一种掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。本实用新型还提供了与该掩模板相对应的检测系统，包括用于支撑该掩模板的设备基台，该检测系统还包括用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件带动装置、卡件、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及第一报警单元；其中，卡件带动装置通过控制単元的控制，带动卡件移动到控制単元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置；卡头部驱动装置根据控制単元的控制驱动卡头部，使卡头部移动到控制単元中预设的掩模板的卡扣槽的横向位置，确定掩模板放置正确，或者移动到控制単元中的开关单元的位置，实施请求调整掩模板报警。从而实现检测掩模板切换过程中是否切換了错误的掩模板，避免人工检测存在的误检，提高检测效率及准确率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些 改动和变型在内。
权利要求1.一种掩模板,其特征在于 在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。
2.根据权利要求I所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板上的相对的两个边上的卡扣槽镜像对称。
3.根据权利要求I所述的掩模板，其特征在于，所述卡扣槽位于所述掩模板的外围非像素区域。
4.一种掩模板的检测系统,其特征在于，用于检测权利要求I至3任一权项所述的掩模板，所述检测系统包括用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件、卡件带动装置、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及第一报警单元； 所述卡件带动装置，用于根据所述控制单元的控制，带动所述卡件从卡件初始纵向位置移动到所述控制单元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置； 所述卡头部驱动装置，用于根据所述控制单元的控制，带动所述卡头部从卡头部初始横向位置移动到所述控制单元中预设的掩模板的横向位置； 所述第一报警单元，用于当卡头部的抵顶到掩模板边缘时，发出调整掩模板提示信息。
5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述控制单元还包括装设于掩模板卡扣槽中的第一传感器，该第一传感器感受到所述卡头部的抵压时，向控制单元反馈压力信号，控制单元根据所述压力信号控制第一报警单元发出无需调整掩模板的提示信息。
6.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，所述传感器为压力传感器。
7.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述卡头部驱动装置通过气压或液压的方式带动卡头部移动。
8.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述卡头部上装设有与控制单元相连并可抵顶到掩模板边缘的第二压力传感器。
9.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述卡头部与卡件之间设有与第一报警单元电连接以控制第一报警单元发出调整掩模板的行程开关。
专利摘要本实用新型公开了一种掩模板及其检测系统，用以有效避免掩模板切换过程中出现的切换了错误的掩模板的问题。本实用新型公开的掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。本实用新型还提供了与该掩模板相对应的检测系统，用以检测掩模板切换过程中是否切换了错误的掩模板。
文档编号G03F1/44GK202443245SQ20112056471
公开日2012年9月19日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年12月29日
发明者彭志龙, 董云 申请人:北京京东方光电科技有限公司