一种掩膜板盒的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种掩膜板盒，包括：用于容置掩膜板的盒体结构；及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上。本发明所提供的掩膜板盒上设置有清洁机构，可以不必开启掩膜板盒的盒盖，直接利用其清洁机构进行掩膜板的清洁工作，具有操作简便、清除污染颗粒效率高等优点，同时，可节省大量的人力成本。
【专利说明】一种掩膜板盒
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示面板制造【技术领域】，尤其涉及一种掩膜板盒。
【背景技术】
[0002]在薄膜晶体管液晶显不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)及有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode,简称0LED)的制造过程中，使用掩膜板(Mask)进行掩膜曝光工艺是非常重要的核心工艺，它既是决定产品品质的重要环节，也是影响产品良率的关键部分。由于掩膜曝光工艺对污染很敏感，需要严格控制工艺环节的洁净度，对掩膜板的表面存在污染颗粒(Particle)需要严格管控，通常掩膜板需要存放于掩膜盒中，掩膜板盒为全封闭式盒体结构，可以减少外界环境的污染颗粒对掩膜板污染。但是随着掩膜板使用次数增加，掩膜板在掩膜曝光工艺中还是不可避免的会被污染。
[0003]目前，TFT-1XD生产过程中所使用的掩膜板盒没有清洁掩膜板的功能，当发生掩膜板颗粒污染(Mask Particle)时，往往需要至少两个操作人员到生产现场进行掩膜板清洁(Mask Cleaning)。清洁时,需要将掩膜板盒的盒盖(Case Cover)开启，在将盒盖开启、闭合的过程中，很容易造成污染颗粒(Particle)的二次掉落，大大的延长了设备停运时间(Down Time),且浪费人力。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种掩膜板盒，结构简单，可以方便地对掩膜板进行清洁，操作简单，清洁效率高，节约人力。
[0005]本发明所提供的技术方案如下:
[0006]一种掩膜板盒,包括:
[0007]用于容置掩膜板的盒体结构；
[0008]及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上。
[0009]进一步的,所述清洁机构包括:
[0010]能够在盒体结构上移动，以移动至所述盒体结构内的掩膜板的表面上预定位置处的吸附部件，所述吸附部件的吸附面朝向所述盒体结构内的掩膜板的表面设置；
[0011]设置于所述盒体结构上的导轨，所述吸附部件设置于所述导轨上，并能够沿所述导轨移动；
[0012]及，用于驱动所述吸附部件沿所述导轨移动的驱动单元。
[0013]进一步的，所述驱动单元位于所述盒体结构外，所述吸附部件伸出所述盒体结构夕卜，与所述驱动单元连接；
[0014]所述掩膜板盒还包括:用于封闭所述吸附部件与所述盒体结构之间形成的空隙，以与所述盒体结构配合阻止外界污染进入所述盒体结构内的封闭结构。[0015]进一步的，所述导轨包括:沿盒体结构内的掩膜板的长度方向延伸，以使所述吸附部件沿所述掩膜板的长度方向移动的移动通槽，所述移动通槽设置于所述盒体结构的至少一侧面上；
[0016]所述吸附部件自所述移动通槽伸出所述盒体结构外；所述封闭结构设置于所述移动通槽上，能够在所述吸附部件移动过程中，封闭所述移动通槽的所述吸附部件之外的槽体部分，以与所述盒体结构配合阻止外界污染进入所述盒体结构内。
[0017]进一步的，所述吸附部件包括:
[0018]能够在所述盒体结构内的掩膜板的宽度方向上从掩膜板的一侧延伸至掩膜板的另一侧的真空吸附管，所述真空吸附管可移动地设置于所述移动通槽内；
[0019]及，用于为所述真空吸附管提供真空吸附动力的真空气体供应单元；
[0020]其中，所述真空吸附管的内部中空，所述真空吸附管的面向掩膜板的吸附面上分布有多个吸盘；所述真空吸附管的至少一端端部自所述移动通槽伸出所述盒体结构外，且在所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部设置有用于与所述真空气体供应单元连通的真空接口。
[0021 ] 进一步的，所述真空接口上可拆卸地安装有用于堵塞所述真空接口的塞子。
[0022]进一步的，所述移动通槽至少有两个，至少两个所述移动通槽分别设置于所述盒体结构的位于掩膜板的宽度方向上的相对两侧面上，所述真空吸附管的两端端部分别可移动地设置于至少两个移动通槽上，并分别自对应的所述移动通槽伸出所述盒体结构外。
[0023]进一步的,所述驱动单元包括:
[0024]用于驱动所述真空吸附管沿所述移动通槽移动的移动杆，所述移动杆与所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部连接。
[0025]进一步的，所述移动通槽在所述盒体结构内的掩膜板的长度方向上的延伸长度大于所述盒体结构内的掩膜板的长度，且所述移动杆与所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部活动连接，并能够绕所述真空吸附管的轴心旋转。
[0026]进一步的，所述封闭结构包括:
[0027]沿所述盒体结构内的掩膜板的长度方向布置在所述移动通槽的开口相对边缘上的拉锁；
[0028]设置在所述真空吸附管的一侧，能够在所述真空吸附管移动时，打开位于所述真空吸附管移动前方的拉锁，并使得所述拉锁的打开距离大于所述真空吸附管的外径的开锁
装置；
[0029]及，设置在所述真空吸附管的另一侧，能够在所述真空吸附管移动时，锁闭位于所述真空吸附管移动后方的拉锁的闭锁装置。
[0030]进一步的，所述掩膜板盒还包括设置于所述盒体结构上，用于防止产生静电的静电除尘装置。
[0031]本发明的有益效果如下:
[0032]本发明所提供的掩膜板盒上设置有清洁机构，可以不必开启掩膜板盒的盒盖，直接利用其清洁机构进行掩膜板的清洁工作，具有操作简便、清除污染颗粒效率高等优点，同时，可节省大量的人力成本。【专利附图】
【附图说明】
[0033]图1为本发明所提供的掩膜板盒的主视图；
[0034]图2为图1的左视图；
[0035]图3为本发明所提供的掩膜板盒的盒盖的立体结构示意图；
[0036]图4为本发明所提供的掩膜板盒的真空吸附管的结构示意图；
[0037]图5为真空吸附管的吸盘的结构示意图。
【具体实施方式】
[0038]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0039]针对现有技术中掩膜板盒内的掩膜板清洁时需开启、关闭盒盖对掩膜板进行清洁，导致生产效率低、浪费人力的问题，本发明提供了一种掩膜板盒，其结构简单，可以方便地清洁掩膜板，操作简单，清洁效率高，节约人力。
[0040]本发明所提供的掩膜板盒包括:
[0041]用于容置掩膜板的盒体结构；
[0042]及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上。
[0043]本发明所提供的掩膜板盒上设置有清洁机构，可以不必开启掩膜板盒的盒盖，直接利用清洁机构来吸附掩膜板表面的污染颗粒，对掩膜板进行清洁，具有操作简便、清除污染颗粒效率高等优点，同时，可节省大量的人力成本。
[0044]以下说明本发明所提供的掩膜板盒的优选实施例。
[0045]本实施例中，优选的，如图1至图3所示,所述清洁机构包括:
[0046]能够在盒体结构100上移动，以移动至所述盒体结构100内的掩膜板10的表面上预定位置处的吸附部件200，所述吸附部件200的吸附面朝向所述盒体结构100内的掩膜板10的表面设置；
[0047]设置于所述盒体结构100上的导轨，所述吸附部件200设置于所述导轨上，并能够沿所述导轨移动；
[0048]及，用于驱动所述吸附部件200沿所述导轨移动的驱动单元。
[0049]采用上述方案，当检测到掩膜板10表面上存在污染颗粒时，由于吸附部件200可移动，通过驱动单元驱动吸附部件200沿导轨移动，以使得吸附部件200移动至掩膜板10表面上有污染颗粒的位置处吸附污染颗粒，实现对掩膜板10的清洁；同时，由于吸附部件200可移动，可以使得清洁无死角。
[0050]需要说明的是，上述方案中是将吸附部件200可移动地设置于盒体结构100上，在实际应用中，所述吸附部件200也可以是采用其他方式设置于盒体结构100上，例如:可以是在盒体结构100的盒盖上固定设置多个吸附部件200，且多个吸附部件200的分布区域对应整个掩膜板10表面区域，在此不再一一列举。
[0051]此外，本实施例中，优选的，如图1至图3所示，所述驱动单元位于所述盒体结构100外，所述吸附部件200伸出所述盒体结构100外，以与所述驱动单元连接；所述掩膜板盒还包括:用于封闭所述吸附部件200与所述盒体结构100之间形成的空隙，以与所述盒体结构100配合阻止外界污染进入所述盒体结构100内的封闭结构301。
[0052]采用上述方案，为了保证盒体结构100内的洁净环境且便于操作，本实施例中，驱动单元设置在盒体结构100外，吸附部件200伸出盒体结构100外与驱动单元连接，从而，吸附部件200与盒体结构100之间会形成空隙，本实施例中所提供的掩膜板盒通过设置封闭结构301，与盒体结构100及吸附部件200配合，以阻止外界污染通过该空隙进入盒体结构100内O
[0053]需要说明的是，本实施例中，所述吸附部件200伸出盒体结构100外与驱动单元连接，在实际应用中，所述吸附部件200也可以与驱动单元通过其他方式连接，吸附部件200直接封闭于盒体结构100内，从而盒体结构100可以全封闭，例如:驱动单元通过磁铁磁性吸引吸附部件200，以驱动吸附部件200沿导轨移动，等等，在此不再一一列举。
[0054]此外，本实施例中，优选的，如图1至图3所示，所述导轨包括:沿盒体结构100内的掩膜板10的长度方向延伸，以使所述吸附部件200沿所述掩膜板10的长度方向移动的移动通槽300，所述移动通槽300设置于所述盒体结构100的至少一侧面上；
[0055]所述吸附部件200自所述移动通槽300伸出所述盒体结构100外；
[0056]所述封闭结构301设置于所述移动通槽300上，能够在所述吸附部件200移动过程中，封闭所述移动通槽300的所述吸附部件200之外的槽体部分，以与所述盒体结构100配合阻止外界污染进入所述盒体结构100内。
[0057]上述方案中，吸附部件200可以沿掩膜板10的长度方向移动，以移动至掩膜板10的表面预定位置处；且导轨设计为移动通槽300的结构，吸附部件200是通过移动通槽300伸出盒体结构100外，与驱动单元连接，通过在移动通槽300上设置封闭结构301，可以在移动过程中，将移动通槽300封闭，以阻止外界污染物进入盒体结构100内。需要说明的是，在实际应用中，导轨的结构也可以是其他结构，在此不再一一列举。
[0058]本实施例中，如图1至图5所示，进一步优选的，所述吸附部件200包括:
[0059]能够在所述盒体结构100内的掩膜板10的宽度方向上从掩膜板10的一侧延伸至掩膜板10的另一侧的真空吸附管201，所述真空吸附管201可移动地设置于所述移动通槽300 内；
[0060]及，用于为所述真空吸附管201提供真空吸附动力的真空气体供应单元(图中未示出)；
[0061]其中，所述真空吸附管201的内部中空，所述真空吸附管201的面向掩膜板10的吸附面上分布有多个吸盘202 ；
[0062]所述真空吸附管201的至少一端端部自所述移动通槽300伸出所述盒体结构100夕卜，且在所述真空吸附管的伸出所述盒体结构100外的端部设置有用于与所述真空气体供应单元连通的真空接口 203。
[0063]上述方案中，吸附部件200采用真空吸附管201，真空吸附管201沿掩膜板10的长度方向移动，且真空吸附管201可以在掩膜板10的宽度方向上从掩膜板10的一侧延伸至掩膜板10的另一侧，从而，真空吸附管201沿移动通槽300移动过程中，即可以从掩膜板10的整个表面经过，从而，可以对掩膜板10的整个表面进行吸附清洁；此外，真空吸附管201的端部伸出移动通槽300外，在其端部设置真空接口 203，可以通过该真空接口 203与真空气体供应单元连通，由真空气体供应单元为其提供真空吸附动力。[0064]需要说明的是，本实施例中，所述吸附部件200采用真空吸附方式，在实际应用中，吸附部件200也可以采用其他方式，例如:吸附部件200采用化学吸附方式等。
[0065]还需说明的是，在本实施例中，所述吸附部件200采用一延伸长度大于等于掩膜板10的宽度的中空管结构，在实际应用中，并不对吸附部件200的具体结构进行限定，还可采用其他结构，在此不再列举。
[0066]本实施例中，优选的，如图1所示,所述移动通槽300至少有两个，至少两个所述移动通槽300分别设置于所述盒体结构100的位于掩膜板10的宽度方向上的相对两侧面上，所述真空吸附管201的两端端部分别可移动地设置于至少两个移动通槽300上，并分别自对应的所述移动通槽300伸出所述盒体结构100外。
[0067]采用上述方案，通过设置相对的两个移动通槽300，真空吸附管201的两端可以分别设置在相对的两个移动通槽300内，进而保证真空吸附管201的两端同步移动。当然可以理解的是，在实际应用中，移动通槽300的设置方式及真空吸附管201的设置方式并不仅局限于此。
[0068]此外，本实施例中，优选的，如图1至图4所示，在所述真空接口 203上可拆卸地安装有用于堵塞所述真空接口 203的塞子204。采用上述方案，当需要清洁掩膜板10时，可以将塞子204从真空接口 203拆卸下来，使真空接口 203与真空气体供应单元连通；当不需清洁掩膜板10时，可以利用塞子204堵塞住真空接口 203。并且，当真空吸附管201中仅一端的真空接口 203连通真空气体供应单元时，可以利用塞子204将真空吸附管201另一端的真空接口 203堵塞住，以保证真空吸附管201内的真空吸附环境及避免外界污染物进入真空吸附管201内。
[0069]此外,本实施例中，优选的,如图1至图3所示,所述驱动单元包括:用于驱动所述真空吸附管201沿所述移动通槽300移动的移动杆400，所述移动杆400与所述真空吸附管201的伸出所述盒体结构100外的端部连接。
[0070]上述方案中，移动杆400的两端可以与真空吸附管201的两端端部连接，操作人员可以手动移动所述移动杆400，带动所述真空吸附管201沿移动通槽300移动。需要说明的是，所述驱动单元也可以是采用其他结构，例如:所述驱动单元可以是采用电动驱动的方式，或者，所述驱动单元可以是利用旋转手柄与传动结构的配合方式来驱动真空吸附管201移动等等。
[0071]此外，本实施例中，优选的，所述移动通槽300在所述盒体结构100内的掩膜板10的长度方向上的延伸长度大于所述盒体结构100内的掩膜板10的长度，且所述移动杆400与所述真空吸附管201的伸出所述盒体结构100外的端部活动连接，并能够绕所述真空吸附管201的轴心旋转。
[0072]采用上述方案，移动通槽300的延伸长度大于掩膜板10的长度，可以进一步保证真空吸附管201能够经过整个掩膜板10的表面而进行吸附清洁，并且，当吸附清洁操作结束后，将真空吸附管201的真空接口 203用塞子204封住，可以将移动杆400移动至移动通槽300的端部位置后，绕真空吸附管201旋转所述移动杆400，使得真空吸附管201的吸盘202由朝向掩膜板10表面的方向改变为与掩膜板10平行放置，从而，可以防止真空吸附管201上还残存的污染颗粒掉落，从而不会影响掩膜板10的正常使用。
[0073]此外，本实施例中，优选的，所述封闭结构301包括:[0074]沿所述盒体结构100内的掩膜板10的长度方向布置在所述移动通槽300的开口相对边缘上的拉锁；
[0075]设置在所述真空吸附管201的一侧，能够在所述真空吸附管201移动时，打开位于所述真空吸附管201移动前方的拉锁，并使得所述拉锁的打开距离大于所述真空吸附管201的外径的开锁装置；
[0076]及，设置在所述真空吸附管201的另一侧，能够在所述真空吸附管201移动时，锁闭位于所述真空吸附管201移动后方的拉锁的闭锁装置。
[0077]上述方案中，所述封闭结构301采用相对式双拉链结构，当真空吸附管201沿移动通槽300向第一方向运动时，处于真空吸附管201前方的开锁装置会打开真空吸附管201移动前面的封闭的拉锁，且使得所述拉锁打开距离大于真空吸附管201的外径，从而使真空吸附管201不会与移动通槽300的开口相对两侧的两个拉链产生摩擦；处于真空吸附管201移动后方的闭锁装置，能够以该真空吸附管201的外径为起始将拉锁锁闭，从而阻止外界污染物进入盒体结构100内。
[0078]需要说明的是，在实际应用中，所述封闭结构301也可以采用其他方式实现，例如:所述封闭结构301可以采用沿所述盒体结构100内的掩膜板10的长度方向布置在所述移动通槽300的开口相对边缘上的能够发生弹性形变的弹性封闭件，该弹性封闭件的中间开设一缝隙，所述真空吸附管201设置在所述缝隙内，真空吸附管201在所述缝隙内移动时，位于真空吸附管201的移动前方及移动后方的弹性封闭件可以封闭所述缝隙；在此不再 列举所述封闭结构301的其他实施方式。
[0079]此外，本实施例中，优选的，所述掩膜板盒还包括设置于所述盒体结构100上，用于防止产生静电的静电除尘装置(图中未示出)。
[0080]此外，还需说明的是，本实施例中，如图1至图3所示，所述盒体结构100可以包括盒本体101及与所述盒本体配合的盒盖102，优选的，所述清洁机构设置于所述盒盖102上。具体地，所述移动通槽300分别设置在所述盒盖的相对两侧面上，并且，优选的，所述真空吸附管201的吸附面至盒体结构100内的掩膜板10的上表面之间的距离为10?20mm。
[0081]此外，本实施例中，优选的，如图5所示，所述真空吸附管201的吸盘202设计为楔形结构，该吸盘202的靠近掩膜板10的一端的口径大于该吸盘202的远离掩膜板10的一端的口径。上述方案中，所述真空吸附管201的吸盘202设计为上小下大的结构，有利于进行大面积的吸附。
[0082]此外还需说明的是，为了保证掩膜板10的洁净环境，本发明中，所述清洁机构中的真空吸附管201、移动杆400等均采用洁净材料制成。
[0083]以下说明本发明所提供的优选实施例中的掩膜板盒对掩膜板10进行清洁的工作过程:
[0084]当检测到掩膜板10的表面存在污染颗粒时，将掩膜板盒上的真空吸附管201端部的真空接口 203与真空气体供应单元连通，打开静电除尘装置及所述真空气体供应单元的开关，操作人员手动往复移动所述移动杆400，使得真空吸附管201在移动通槽300内同步往复运动，真空吸附管201上的吸盘202即吸取掩膜板10表面上的污染颗粒；
[0085]当清洁完成后，将真空吸附管201端部的真空接口 203与真空气体供应单元断开，并利用塞子204封住该真空接口 203，将移动杆400移动至盒体结构100的后部，并绕真空吸附管201旋转移动杆400，使真空吸附管201的吸盘202由正对掩膜板10旋转至与掩膜板10平行放置，以防止清洁管内部还残存的污染颗粒掉落，在盒体结构100上可以设置一固定支架103，用于将移动杆400固定在盒体结构100上，从而不会影响掩膜板10的正常使用。
[0086]其中，上述过程中，当检测到掩膜板10表面的污染颗粒存在于掩膜板10的第一侧时，可以将真空吸附管201第一端的塞子204拔掉，第二端的塞子204不动，将真空吸附管201的第一端的真空接口 203与真空气体供应单元的接口接通即可；
[0087]当检测到掩膜板10表面的污染颗粒存在于掩膜板10的第二侧时，可以将真空吸附管201第二端的塞子204拔掉，第一端的塞子204不动，将真空吸附管201的第二端的真空接口 203与真空气体供应单元的接口接通即可；
[0088]当检测到掩膜板10表面的污染颗粒存在于掩膜板10的中间位置时，可以将真空吸附管201两端的塞子204均拔掉，将真空吸附管201的两端的真空接口 203均与真空气体供应单元的接口接通即可。
[0089]以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种掩膜板盒，其特征在于，包括: 用于容置掩膜板的盒体结构； 及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上。
2.根据权利要求1所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述清洁机构包括: 能够在盒体结构上移动，以移动至所述盒体结构内的掩膜板的表面上预定位置处的吸附部件，所述吸附部件的吸附面朝向所述盒体结构内的掩膜板的表面设置； 设置于所述盒体结构上的导轨，所述吸附部件设置于所述导轨上，并能够沿所述导轨移动； 及，用于驱动所述吸附部件沿所述导轨移动的驱动单元。
3.根据权利要求2所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述驱动单元位于所述盒体结构外，所述吸附部件伸出所述盒体结构外，与所述驱动单元连接； 所述掩膜板盒还包括:用于封闭所述吸附部件与所述盒体结构之间形成的空隙，以与所述盒体结构配合阻止外界 污染进入所述盒体结构内的封闭结构。
4.根据权利要求3所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述导轨包括:沿盒体结构内的掩膜板的长度方向延伸，以使所述吸附部件沿所述掩膜板的长度方向移动的移动通槽，所述移动通槽设置于所述盒体结构的至少一侧面上； 所述吸附部件自所述移动通槽伸出所述盒体结构外；所述封闭结构设置于所述移动通槽上，能够在所述吸附部件移动过程中，封闭所述移动通槽的所述吸附部件之外的槽体部分，以与所述盒体结构配合阻止外界污染进入所述盒体结构内。
5.根据权利要求4所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述吸附部件包括: 能够在所述盒体结构内的掩膜板的宽度方向上从掩膜板的一侧延伸至掩膜板的另一侧的真空吸附管，所述真空吸附管可移动地设置于所述移动通槽内； 及，用于为所述真空吸附管提供真空吸附动力的真空气体供应单元； 其中，所述真空吸附管的内部中空，所述真空吸附管的面向掩膜板的吸附面上分布有多个吸盘；所述真空吸附管的至少一端端部自所述移动通槽伸出所述盒体结构外，且在所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部设置有用于与所述真空气体供应单元连通的真空接口。
6.根据权利要求5所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述真空接口上可拆卸地安装有用于堵塞所述真空接口的塞子。
7.根据权利要求5所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述移动通槽至少有两个，至少两个所述移动通槽分别设置于所述盒体结构的位于掩膜板的宽度方向上的相对两侧面上，所述真空吸附管的两端端部分别可移动地设置于至少两个移动通槽上，并分别自对应的所述移动通槽伸出所述盒体结构外。
8.根据权利要求5所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述驱动单元包括:用于驱动所述真空吸附管沿所述移动通槽移动的移动杆，所述移动杆与所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部连接。
9.根据权利要求8所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述移动通槽在所述盒体结构内的掩膜板的长度方向上的延伸长度大于所述盒体结构内的掩膜板的长度，且所述移动杆与所述真空吸附管的伸出所述盒体结构外的端部活动连接，并能够绕所述真空吸附管的轴心旋转。
10.根据权利要求5所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述封闭结 构包括: 沿所述盒体结构内的掩膜板的长度方向布置在所述移动通槽的开口相对边缘上的拉锁； 设置在所述真空吸附管的一侧，能够在所述真空吸附管移动时，打开位于所述真空吸附管移动前方的拉锁，并使得所述拉锁的打开距离大于所述真空吸附管的外径的开锁装置； 及，设置在所述真空吸附管的另一侧，能够在所述真空吸附管移动时，锁闭位于所述真空吸附管移动后方的拉锁的闭锁装置。
11.根据权利要求1所述的掩膜板盒，其特征在于， 所述掩膜板盒还包括设置于所述盒体结构上，用于防止产生静电的静电除尘装置。
【文档编号】G03F1/66GK104007609SQ201410206149
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年5月15日 优先权日:2014年5月15日
【发明者】钱宏伟, 金基用, 许朝钦, 李向峰, 孙增标, 蔡春月 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司