光调节装置、光调节装置的基板间距离测定方法与流程

文档序号:11890038阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光调节装置,其特征在于,具备:

第1基板;

第2基板,配设为基板面与所述第1基板的基板面对置;

间隔件,将所述第1基板与所述第2基板隔开,以在对置的所述基板面彼此之间构成空间;

光调节部,以能够移动的方式配置于所述空间,用于调节光;及

被测定部,被设置为,使为了测定所述空间的间隔而从与该基板面垂直的测定方向照射的测定光在该测定方向上通过所述第1基板与所述第2基板中的一方并到达另一方。

2.根据权利要求1所述的光调节装置,其特征在于,

所述被测定部具有:

用于测定从所述第1基板侧到所述间隔件的距离的第1被测定部;及

用于测定从所述第1基板侧到所述第2基板的距离的第2被测定部。

3.根据权利要求2所述的光调节装置,其特征在于,

所述第1被测定部以使测定光在所述测定方向上通过该第1基板并到达所述间隔件的方式设置于所述第1基板,

所述第2被测定部以使测定光在所述测定方向上通过所述第1基板及所述间隔件并到达该第2基板的方式设置于所述第2基板。

4.根据权利要求3所述的光调节装置,其特征在于,

所述第1被测定部是以在从所述测定方向观看时所述间隔件露出的方式设置于所述第1基板的光通过部,

所述第2被测定部是以在从所述测定方向观看时从所述第1基板及所述间隔件突出的方式设置于所述第2基板的光反射部。

5.根据权利要求4所述的光调节装置,其特征在于,

所述光通过部是使所述第1基板的一部分欠缺而形成为孔或切口的欠缺部。

6.根据权利要求4所述的光调节装置,其特征在于,

所述光通过部是具有光透射性的透明部。

7.根据权利要求2所述的光调节装置,其特征在于,

还具有以在从所述测定方向观看时所述间隔件及所述第2基板露出的方式设置于所述第1基板的光通过部,

所述第1被测定部是所述光通过部中的所述间隔件露出的部分,

所述第2被测定部是所述光通过部中的所述第2基板露出的部分。

8.根据权利要求7所述的光调节装置,其特征在于,

所述光通过部是使所述第1基板的一部分欠缺而形成为孔或切口的欠缺部。

9.根据权利要求7所述的光调节装置,其特征在于,

所述光通过部是具有光透射性的透明部。

10.根据权利要求7所述的光调节装置,其特征在于,

所述第1基板具有用于让通过所述光调节部调节的光通过的开口,

所述开口兼作所述光通过部。

11.根据权利要求1所述的光调节装置,其特征在于,

所述被测定部设置有多个。

12.根据权利要求1所述的光调节装置,其特征在于,还具备:

旋转轴部件,以与所述第1基板及所述第2基板的基板面垂直的方式安装为能够相对于该第1基板及该第2基板转动;及

驱动源,使所述旋转轴部件转动,

在所述第1基板及所述第2基板上形成有用于让光通过的开口,

所述光调节部是调节在所述开口通过的光的部件,被固定为与所述旋转轴部件一体转动,

通过所述驱动源使所述旋转轴部件旋转,从而使所述光调节部移位到从在所述开口通过的光的光路上退避的退避位置和被插入到在所述开口通过的光的光路上的插入位置,来调节光。

13.一种光调节装置的基板间距离测定方法,该光调节装置具备:

第1基板;

第2基板,配设为基板面与所述第1基板的基板面对置;

间隔件,将所述第1基板与所述第2基板隔开,以在对置的所述基板面彼此之间构成空间;

光调节部,以能够移动的方式配置于所述空间,用于调节光;及

被测定部,被设置为,使为了测定所述空间的间隔而从与该基板面垂直的测定方向照射的测定光在该测定方向上通过所述第1基板与所述第2基板中的一方并到达另一方,

所述被测定部具有:

用于测定从所述第1基板侧到所述间隔件的距离的第1被测定部;及

用于测定从所述第1基板侧到所述第2基板的距离的第2被测定部,

所述光调节装置的基板间距离测定方法的特征在于,具有:

通过经由所述第1被测定部照射测定光来测定距所述间隔件的距离的步骤;

通过经由所述第2被测定部照射测定光来测定距所述第2基板的距离的步骤;及

通过从距所述第2基板的距离减去距所述间隔件的距离来取得所述空间的间隔的步骤。

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