一种应用于黄光工艺的显影液及其显影工艺的制作方法

文档序号:12116377阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用于黄光工艺的显影液,其特征在于,其组成成分以及各组分含量如下:

2.根据权利要求1所述的一种应用于黄光工艺的显影液,其特征在于,显影液的制作过程是:先将对应质量的无水亚硫酸钠、对苯二酚、无水碳酸钠、菲尼酮、溴化钾和苯并三氮唑加入750ml水中搅拌至完全溶解,静置后再加入水调节显影液的总体积达到1000ml。

3.一种如权利要求1所述的应用于黄光工艺的显影液的显影工艺,其特征在于,具体步骤为:

(1)按照组成成分、各组分的含量以及制作过程来配制所需的显影液,然后将配置好的显影液置于显影液保温装置;

(2)光刻胶板在进入显影槽之前,先经过开料、老化、压干膜和黄光曝光处理,之后由输送装置输送至显影槽中;

(3)显影过程开始后,显影液通过输送泵,从显影液保温装置中抽出,然后从两排多个鸭嘴喷淋头处呈水幕状喷出,喷淋到显影槽中的光刻胶板上进行显影;

(4)显影结束后,采用去离子水喷淋清洗光刻胶板表面残留的显影液,显影液冲洗彻底;

(5)经去离子水清洗后,将光刻胶板输送至风干区,用热风均匀吹拂干燥光刻胶板表面的水膜,完成光刻胶板的显影;

(6)显影工艺结束的光刻胶板进入黄光工艺的后续过程之中,包括蚀刻剥膜、银胶印刷、银胶烘烤、Ag Laser、大片组合、Senor外形冲切、Senor Test、FPC绑定、Bonding Test、CG贴合和终检,完成纳米银触摸显示屏的整个制作流程。

4.根据权利要求3所述的一种应用于黄光工艺的显影液的显影工艺,其特征在于,显影液置于显影液保温装置时,保证显影液的温度为20℃;喷淋显影过程中时间控制在4min。

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