一种吸气吹气装置及系统的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种吸气吹气装置及系统，其包括：吸气管和吹气管，所述吸气管和所述吹气管分别与所述真空孔连接，所述吸气管用于向所述真空孔通入真空气体，以使玻璃基板与所述承载平台吸附，所述吹气管用于破除真空，以使玻璃基板与所述承载平台分离，在所述吹气管内还设置有过滤器。本发明的吸气吹气装置及系统，提高了产品的良率。

技术研发人员：王浩
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.04.24
技术公布日：2017.07.14