技术总结
本实用新型提供一种调整治具，用于调整光学路径中激光器的位置，所述调整治具与固定激光器的L形支架配合使用，所述调整治具包括安装架和楔形件，楔形件包括相对设置的固定楔形件和活动楔形件，固定楔形件安装于安装架的一端；活动楔形件安装于安装架的另一端，且活动楔形件通过一驱动机构的驱动可向固定楔形件水平移动，从而实现激光器的高度位置的调整；调整治具还包括驱动所述调整治具相对于L形支架水平移动的驱动件，从而实现激光器的前后位置的调整。本实用新型的调整治具可以方便地对激光器进行上下、前后位置的调节；可以准确地调整光学路径，比手动调节方便且精度高；同时可以节约更换激光器的时间。
技术研发人员：李辉;王明泽;容劲文;柳彦龙
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201720031227
技术研发日：2017.01.11
技术公布日：2017.08.11