理单元4的部件的操作、调整等。内部处理单元控制器I1包括未示出的诸如CPU或者DSP的计算单元，以及用于存储处理程序(recipe)等的诸如存储器或者硬盘的存储单元。在此，处理程序是由在对晶圆W或者作为进行相同处理的晶圆组的批次进行处理时使用的一系列处理参数构成的信息(数据)。处理参数的示例包括拍摄区的布局、要进行压印处理的拍摄区的顺序、针对各个拍摄区的压印条件等。压印条件的示例包括将模具104压靠在晶圆W上涂覆的树脂109的充填时间，以及利用紫外线112照射来固化树脂109的曝光时间。压印条件的另一示例包括作为要在各个拍摄区上涂覆的树脂109的量的树脂涂覆量。内部处理单元控制器110从群组控制器6接收处理程序，接着基于所述处理程序对通过基板运送单元5运送的晶圆W进行压印处理。
[0041]返回参照图1，基板运送单元5(图1的虚线部所示)在预处理装置3、处理单元4和基板存储单元12之间运送(传送)晶圆W。虽然未特别示出，但是基板运送单元5可以是包括用于保持晶圆W的手的运送机器人。基板存储单元12将晶圆W临时存储在群组装置2中。
[0042]群组控制器(控制器)6控制群组装置2的部件的操作、调整等。群组控制器6例如由信息处理装置(计算机)构成。根据本实施例的处理(压印方法)可以作为程序由信息处理装置来执行。群组控制器6经由内部通信线路(通信线路)7与处理单元4和基板运送单元5可通信地连接，从处理单元4和基板运送单元5接收控制信号和各种类型的信息(处理程序)，并向处理单元4和基板运送单元5发送控制信号和各种类型的信息(处理程序)。
[0043]图3是示出群组控制器6的配置的框图。群组控制器6包括主控制器301、处理系统控制器302、处理程序管理单元303、历史管理单元304、作业执行单元305、运送系统控制器306、特性数据管理单元307以及组管理单元308。处理系统控制器302执行用于群组装置2内部并且由作业执行单元305生成的作业(处理命令)，以将各处理单元4的状态作为管理信息管理。处理程序管理单元303对记录进行期望压印处理所需的所有参数的处理程序进行管理，其中，一个设定参数组由处理程序和处理程序修正的组合来指定。在此，处理程序修正用于对即使处理程序的内容被编辑也不改变的处理程序ID和编辑结果进行世代管理。历史管理单元304记录作业处理结果以及构成群组装置2的所有单元(处理单元4、基板运送单元5等)的操作历史。作业执行单元305将从外部(稍后描述的整体控制器10)给予的群组装置2级作业分解为处理单元4级的内部作业，以基于内部作业的进展状态，来管理整个群组装置2的作业进展。运送系统控制器306对包括基板运送单元5的驱动控制的、晶圆W的传送操作进行控制。特性数据管理单元307与各处理单元4相关联地管理表示由处理单元4进行的图案形成相关的特性的信息(特性数据)。此外，组管理单元308对用于定义特性数据以及稍后描述的组配置的信息(组信息)进行接收和管理。
[0044]图4是示出由处理系统控制器302管理的管理信息的示例的图。更具体地说，处理系统控制器302对作为关于处理单元4的操作状态的详细信息的处理状态信息401以及用于定义处理单元4中的处理内容的处理条件信息402进行管理。处理状态信息401针对各个处理单元4具有一个设定，处理状态信息401包括处理单元4的操作状态及其属性信息，并且根据处理单元4中的处理的进展实时更新。群组控制器6参照处理状态信息401能够容易地掌握由各处理单元4进行哪种处理、何时能够开始新处理等。此外，处理条件信息402是此时要处理的晶圆W(以下称为“目标晶圆”)的详细处理条件。处理条件信息402还包括用于指定基准处理程序信息的处理程序ID和其处理程序修正、以及作为与基准处理程序信息不同的信息(内容的暂时改变)的参数ID和其参数。
[0045]返回参照图1，预处理装置3是清洁设备或涂覆设备，其针对群组装置2指定的批次中的晶圆W进行诸如晶圆W的清洁、贴近层的涂覆等的预处理。预处理装置3可以按照承担处理晶圆W的处理单元4的数量安装(收容)用于存储一个批次中的晶圆W的基板存储容器(FOUP) 8。此外，经由外部通信线路(通信线路)9在群组控制器6与预处理装置3之间建立通信连接，以发送/接收运送晶圆W所需的运送命令以及基板的识别信息。当预处理装置的处理量高于群组装置2时，完成了预处理的晶圆W被临时存储，直到基于来自群组装置2的基板请求来运送晶圆W为止。
[0046]此外，如同位于使用压印装置制造物品(例如，半导体设备)的制造场所(例如，半导体制造工厂)中的传统整体控制器那样，整体控制器10在各种类型的制造装置之间进行数据发送/接收，以对整个制造步骤进行整体控制。如同其他制造装置中的那样，包括根据本实施例的群组装置2的压印系统I经由诸如制造场所内的局域网的通信网络11与整体控制器10连接。
[0047]接下来，对由群组装置2(压印系统I)进行的晶圆处理进行具体描述。图5是示出从群组装置2内执行的内部作业的生成到处理单元4完成压印处理的处理流程的流程图。首先，作业执行单元305从主控制器301接收作业(步骤S101)。作业包括诸如批次、晶圆W、模具104等材料相关的信息、诸如处理程序、偏移设定等装置参数以及对处理单元4等的指定的限制。接着，作业执行单元305选择用于执行在步骤SlOl中获取的作业的处理单元4(步骤S102)。此时，作业执行单元305参照用于限定作为选择的候补的处理单元4的信息以及诸如警告发生状态、维护计划等可用/禁用信息。从而使得能够考虑整个群组装置2的操作状态，选择被确定为可用的处理单元4。接着，作业执行单元305针对在步骤S102中选择的处理单元4逐一分配目标晶圆W，以针对所有晶圆W创建处理计划(步骤S103)。作业执行单元305将创建的处理计划发送到主控制器301，接着主控制器301将基于处理计划的命令发送到处理系统302和运送系统控制器306。请注意，以下将详细描述晶圆W的分配(处理单元4和目标晶圆W之间的分配)。接着，作业执行单元305监视在步骤S103中分配了晶圆W的处理的处理单元4 (以下称为“担当处理单元”)的操作状态(步骤S104)。在此，作业执行单元305在从担当处理单元4接收到某些通知时，将处理转入以下步骤S105。接着，作业执行单元305确定在步骤S104中接收到的通知是否是用于结束担当处理单元4的作业的通知(步骤S105)。在此，如果作业执行单元305确定在步骤S104中接收到的通知是作业结束通知(包括因错误导致的异常结束)(是)，则作业执行单元305将担当处理单元4从步骤S104中的监视目标中排除(步骤S106)。请注意，在从监视目标中排除担当处理单元4之前，作业执行单元305确认此时没有要由担当处理单元4处理的剩余晶圆W。另一方面，如果作业执行单元305在步骤S105中确定在步骤S014中接收到的通知不是作业结束通知(否)，则作业执行单元305确认通知内容，接着确定通知是否与作业执行单元305要执行的处理相关，以根据需要执行适当的处理(步骤S107)。例如，如果来自担当处理单元4的通知是与作业的进程相关的通知，例如由警告等造成的暂停，则作业执行单元305执行例如等待作业恢复通知的处理。接着，作业执行单元305根据通知内容确定作为处理的执行结果当前是否仍存在作为监视目标的其他处理单元4 (步骤S108)。在此，如果作业执行单元305确定仍然存在监视目标(是)，则作业执行单元305将处理返回到步骤S104，以继续监视。另一方面，如果作业执行单元305确定不存在监视目标(否)，则结束从外部发送到主控制器301的作业，从而，作业执行单元305将作业的结束通知主控制器301 (步骤 S109)ο
[0048]接着，对在步骤S103中的晶圆W的分配进行详细地描述。图6是示出晶圆W的分配工序的流程的流程图。首先，作业执行单元305逐一地确认可用处理单元4的操作状态，接着导出各处理单元4能够开始晶圆处理的日期/时间(以下，称为“可处理的日期/时间”)(步骤S201)。在此，如果处理单元4处于处理待机状态，则可处理的日期/时间为当前日期/时间，反之如果处理单元4正在处理中，则可处理的日期/时间为预测的下次处理单元4变为处理待机状态的日期/时间(能够接收新处理的日期/时间)。接着，在以下的重复处理之前，作业执行单元305对批次中的晶圆的首个编号设定初始值“I”(步骤S202)。接着，作业执行单元305确定是否需要创建目标晶圆W的处理计划(步骤S203)。在此，如果作业执行单元305确定无需创建这样的处理计划(否)，则处理转入以下步骤S209。另一方面，如果作业执行单元305在步骤S203中确定需要创建处理计划(是)，则作业执行单元305选择能够在最早时间对目标晶圆W开始处理的处理单元4 (步骤S204)。换言之，作业执行单元305选择在步骤S201中导出的可处理日期/时间是最早的日期/时间的处理单元4。接着，作业执行单元305导出基板运送单元5能够将目标晶圆W给送到处理单元4的日期/时间(以下，称为“可给送日期/时间”)(步骤S205)。接着，作业执行单元305将在步骤S201中导出的可处理日期/时间与在步骤S205中导出的可给送日期/时间进行比较，以导出在后的日期/时间作为目标晶圆W的处理开始预定日期/时间(步骤S206)。接着，作业执行单元305导出处理目标晶圆W所需的时间，接着将所述时间添加到在步骤S206中导出的处理开始预定日期/时间，由此导出目标晶圆W的处理结束预定日期/时间(步骤S207)。在此，处理所需的时间被用作明确处理单元4处于处理待机状态的顺序的参照，因此，无需严格精确。作业执行单元305还基于由处理程序指定的处理条件以及历史管理单元304中存储的过去处理实绩，通过推测来导出处理所需的时间。接着，作业执行单元305考虑后处理等所需的时间，来导出担当处理单元4能够处于处理待机状态的日期/时间(新的可处理的日期/时间)，并接着将之前的可处理日期/时间更新为导出的日期/时间(步骤S208)。接着，作业执行单元305确定目标晶圆W是否为最终晶圆(步骤S209)。在此，如果作业执行单元305确定目标晶圆W不是最终晶圆(否)，则作业执行单元305将批次中的晶圆编号加“ I ”，并使处理返回到步骤S203 (步骤S210)。换言之，作业执行单元305在检查所有目标晶圆W之前，重复步骤S203至S208的所有处理。如果作业执行单元305在步骤S209中确定目标晶圆W是最终晶圆，即如果已经完成创建针对所有目标晶圆W的处理计划(是)，则存储获得的处理单元4与要处理的晶圆之间的关系(步骤S211)。
[0049]接着，对表示关于处理单元4的图案形成相关的特性(形成特性)的特性数据及