其管理方法进行描述。通常，压印装置能够形成图案的面积小，因此，无法统一形成晶圆W的整个面的图案。因此，如同例如半导体曝光装置那样，压印装置在进行步进驱动的同时在晶圆W上的多个拍摄区上顺序形成图案，由此，最终在晶圆W的整个面上形成多个类似的图案。此时，在形成的各个图案上出现处理单元4的个体差异，因此，优选针对各个处理单元4管理其特性。
[0050]图7A至图7C是示出表示与处理单元4的图案形成相关的特性的特性数据的图。其中，图7A是表示晶圆W上的一个拍摄区的平面放大图。为了将拍摄图案的特性转换为数值，作为示例，如图7A所关注那样，定义了九个位置(位置编号001至009)。由于关注特性的数值不是诸如重叠(OL)、分辨率宽度(CD)等的一个，因此可以根据各请求改变关注位置。图7B是示出图7A所示的关注位置与通过其测量获得的各个特性值之间的关系的表。例如，在第一行中记载的信息包括表示在位置编号001的位置X轴方向上的重叠特性的值。在第二行中记载的信息包括在位置编号001的位置Y轴方向上的重叠特性，在第三行中记载的信息包括在位置编号002的位置X轴方向上的分辨率宽度特性等。图7C表示当图7B所示的特性值(图案形成特性)被管理作为特性数据文件时的特性数据的表。例如，在第一行中记载的信息表示数据文件，在装置ID为UVILOl的群组装置2中的处理单元ID为HDOl的处理单元4的特性与该数据文件的名以及获取的日期/时间一起被记录在所述数据文件中。请注意，利用上述特性数据的管理方法仅是示例，但是要管理的数据的类型及其管理方法可以自由改变，只要能够满足特定装置中设定的特定处理单元4的特定特性值的管理需求即可。此外，获取(测量)这些特性值的特定方法不受特别限制，而这些特性值可以使用典型评价设备(模具、晶圆以及测量设备)通过典型使用方法来获取。
[0051]接下来，对展现类似特性的处理单元4分组的方法进行描述。在此，作为示例，假定将形成图案作为下一工序的重叠基准工序，并且在关注绝对精度的同时，将处理单元4划分为组。
[0052]图8A至图8E是示出处理单元4的分组的图。其中，图8A是示出相对图7A所示的9个关注位置(这些位置是所有特性值为O时的位置，并且以下被称为“基准位置”)特性值为非O的状态的平面图。在特性值为非O的状态下的特性值为处理单元4的个体差异。图8B是示出与基准位置相对应的位置(特性评价点)的误差的图，所述误差由矢量(箭头)来表示。图8C是列出图8中X轴方向上和Y轴方向上的各个误差的表。图8D是通过针对各处理单元4确定图SC所示误差的统计值，而列出相对基准位置的处理单元4的特性的数值的表。图8E是示出群组装置2中包含的所有处理单元4的特性数据的趋势的输出图，其中，所述趋势用作创建组的基准。如同在图8E所示的示例中所能看到的那样，作为群组装置2的趋势，在处理单元4之间Y轴方向上的特性的差异小，而X轴方向上的特性能够被划分为两个组。在此情况下，创建两个组。
[0053]图9A和图9B是示出创建的组信息的表。其中，图9A是列出创建的各组所附的组ID、属于各组的处理单元4以及创建的日期/时间和创建的类型(手动或者自动)的表。另一方面，图9B是图9A所示的表的反向查找表。创建的组信息被数据库化并以即使当群组装置2运行时，也能够适当地参照或者改变的状态存储。
[0054]接下来，对批次处理的流程进行描述。图1OA至图1OC是示出基于假定从外部(整体控制器10)向群组控制器6发送用于处理三个批次的请求，而通过组指定进行的批次处理的表。其中，图1OA是示出三个批次的各个中包含的晶圆W的晶圆ID、与其相关联的组ID以及属于各组的处理单元4的表。群组控制器6中的作业执行单元305创建将处理单元4分配给三个批次中包含的所有晶圆W的处理计划。
[0055]首先，将批次ID为LTOl的第一批次中包含的各晶圆W分配给处理单元4。图1OB是示出第一批次中包含的晶圆W对属于组ID为GRP001的第一组的处理单元4的分配结果的表。第一批次包含7个晶圆W，这7个晶圆W被分配给三个处理单元4。结果，如上所述，比其他处理单元4多处理一个晶圆W的处理单元4 (处理单元ID:HD01)的可处理日期/时间变为最后。在此时点上，晶圆处理仅被分配给属于输入了第一批次处理的第一组的处理单元4，不属于第一组的其他处理单元4处于等待晶圆的待机状态。
[0056]接着，作为第一批次之后的批次并且批次ID为LT02的第二批次中包含的各个晶圆W被分配给处理单元4。在此，需要考虑指定预处理装置3传送第二批次中包含的首个晶圆W的定时事件的定时限制。通常，因为其规格，所以仅在第一批次中的最终晶圆W已经被运送到群组装置2之后，预处理装置3能够将第二批次中的晶圆W运送到群组装置2。由此，群组控制器6指示基板运送单元5将第一批次中包含的晶圆W临时回收到基板存储单元12，以进行运送，从而使得预处理单元3能够在更早的时间点运送第二批次中包含的晶圆W。结果，群组装置2在经过例如大约8分钟之后准备好接收晶圆W。以这种方式，作业执行单元305将晶圆W的处理顺序分配给三个处理单元(处理单元ID:HD04、HD05和HD06)，所述三个处理单元属于已处于空闲并且组ID为GRP002的第二组。第二批次包含9个晶圆Wo首先，在选择处理第二批次中的第7个晶圆W及后续晶圆的处理单元4时，作业执行单元305将第二批次中的晶圆W分配给在第一批次中的晶圆W的处理完成之后能够在更早时间点开始处理的两个处理单元(处理单元ID:HD02和HD03)。接着，作业执行单元305将第二批次中的最终晶圆W(目标晶圆ID:L2W9)分配给处理单元ID为HD04的处理单元4。
[0057]接着，将作为第二批次之后的、批次ID为LT03的第三批次中包含的两个晶圆W分配给处理单元4。作业执行单元305将第三批次中第一个晶圆W(目标晶圆ID:L3ffl)分配给属于组ID为GRP005的组并且处理单元ID为HD05的处理单元4。接着，作业执行单元305将第二晶圆W(目标晶圆ID:L3W2)分配给属于组ID为GRP006的组并且处理单元ID为HD06的处理单元4，从而创建完成图1OA所示的三个批次中包含的所有晶圆W的处理计划。
[0058]如上所述，群组装置2首先根据批次的类型，将从多个处理单元4中要使用的处理单元4限制到仅部分具有类似特性的处理单元4，从而提高图案形成精度(提升重叠精度)。此外，如果在针对第一批次的处理结束之后第一组中包含的处理单元4处于待机状态时在第二批次或者第三批次中还存在未处理的晶圆W，则群组装置2将那些未处理的晶圆W分配给第一组。以这种方式，能够尽可能地减少等待运送晶圆W的等待时间，从而能够抑制生产力降低。
[0059]如上所述，根据本实施例，能够提供群组型光刻装置及光刻系统，其在确保提高图案形成精度的同时，有利于抑制生成力降低。
[0060]请注意，在以上描述中，第二组中包含的处理单元4被保持在待机状态，直到处理单元4准备好接收第二批次中的晶圆W为止。与此相比，作业执行单元305还可以将来自整体控制器10或者预处理装置3的可运送日期/时间作为可接收的日期/时间。以这种方式，作业执行单元305能够在较早的时点创建第二组中包含的处理单元4的处理计划。
[0061](第二实施例)
[0062]接下来，对根据本发明的第二实施例的光刻装置进行描述。图11是示出本实施例的光刻装置中包含的群组控制器的配置的框图。在图11中，为了便于说明，将与第一实施例中的群组控制器6的相应部件相同的部件给予相同的附图标记，并省略其说明。根据本实施例的光刻装置的特征在于在根据第一实施例的光刻装置(群组装置2)的群组控制器6中增设了组生成单元309，其被配置为就在批次处理之前生成处理单元4的组。组生成单元309与历史管理单元304、特性数据管理单元307以及组管理单元308协作地生成处理单元4的组，从而使得根据处理单元4的特性数据的制造误差落入预定范围内。由此生成的组信息稍后被发送到外部整体控制器10，并且整体控制器10基于接收到的组信息最终指定处理单元4的组。
[0063]图12是示出由组生成单元309进行的组生成的流程的流程图。首先，组生成单元309向外部(整体控制器10)询问任何可用组，以指定用于进行下一工序(接下来的图案形成工序)的群组装置2，并生成群组装置2中的处理单元4的组(步骤S301)。该询问指定下一工序的名称、作为下一工序的基准的工序的名称(基准工序)，并且为确定处理单元4是否可用而指定下一工序的容许误差。具体的通信方法以及具体的通信定时不受限制，而可以自由改变，只要能够满足在进行下一工序的处理的实施指令之前从外部询问的需求即可。
[0064]接着，组生成单元309将初始值设定给作为比较源的基准数据(第一实施例的图7A所示的位置编号001至009对应的基准位置)。如果确定不使用如上所述的无误差的特性数据作为基准数据，而是将预定误差统一添加到特性数据，则通过将相关误差设定给基准数据，能够确定实质上无误差的特性数据。
[0065]接着，组生成单元309确定下一工序是否为基准工序(步骤S303)。在此，如果组生成单元309确定下一工序为基准工序(是)，则组生成单元309省略以下特性数据获取处理，而直接将处理转入步骤S309。另一方面，如果组生成单元309确定下一工序不是基准工序(否)，则组生成单元309搜索处理基准工序的历史，以指定处理了该工序的处理单元4及其处理日期/时间。接着，组生成单元309从特性数据管理单元307中搜索就在基准工序的处理日期/时间之前的定时，即处理日期/时间之前最近的定时获取到的处理单元4的特性数据(步骤S304)。接着，组生成单元309确定在群组装置2中是否存在与所述处理历史相对应的特性数据(步骤S305)。在此，如果组生成单元309确定仍然存在(剩下)相应的特性数据(是)，则组生成单元309将所述特性数据设定给基准数据(步骤S306)。另一方面，如果组生成单元309确定在群组装置2中不存在相应特性数据或者不存在处理历史(否)，则组生成单元309将该情况通知给整体控制器10，以请求基准工序中的特性数据(步骤S307)。接着，组生成单元309在步骤S307之后获取基准工序中的特性数据，并将所述特性数据设定给基准数据。
[0066]接着，组生成单元309确定处理单元4的限制使用信息，以确定进行下一工序的处理的处理单元4的候补(步骤S309)。基本上，进行该确认是为了从目标中排除因为故障、维护等而无法进行新处理的处理单元4。请注意，组生成单元309还从候补中排除因为未进行该工序的精度确认而在步骤S301中被指定为禁用的处理单元4。接着，组生成单