元309从作为候补选择的处理单元4中确定是否还存在未进行(未确认)以下特性数据评价的处理单元4 (步骤S310)。在此，如果组生成单元309确定还存在未确认的处理单元4 (是)，则组生成单元309从未确认的处理单元4中获取特定处理单元4的最新特性数据。接着，组生成单元309将最新的特性数据与设定的基准数据进行比较，以确定用于确定特定处理单元4是否可用的指标值(步骤S311)。更具体地说，组生成单元309将处理单元4的特性数据设定给作为考虑目标的特性数据(与第一实施例的图8A所示的相对应)，由此确定特性数据与基准数据之间的差。接着，组生成单元309确定在步骤S311中确定的指标值是否满足下一工序中作为处理单元4的特性数据的评价的标准(落入容许范围内)(步骤S312)。在此，如果组生成单元309确定指标值满足下一工序的标准(是)，则组生成单元309将关于处理单元4的识别信息(处理单元ID等)添加到群组装置2的组信息中，以更新组中的可用处理单元4的数量(步骤S313)。请注意，当发现第一个可用处理单元4时，可用处理单元4的数量被设定为“1”，接着每次发现可用处理单元4时，将可用处理单元4的数量加“ I ”。接着，处理返回到步骤S310，组生成单元309重复步骤S310至S313的处理，直到无剩余未确定的处理单元4为止。另一方面，如果组生成单元309在步骤S312中确定指标值不满足下一工序的标准(否)，则处理返回到步骤S310，因为处理单元4无法使用并开始另一处理单元4的评价。
[0067]接着，如果组生成单元309在步骤S310中确定不存在未确认的处理单元4 (否)，则处理转入步骤S314，组生成单元309将用于处理下一工序的组信息发送到询问源(即，整体控制器10)(步骤S314)。组信息至少包括关于群组装置2的识别信息(装置ID等)以及可用处理单元4的数量。
[0068]如上所述，根据本实施例，除了第一实施例的效果以外，假定在特定工序中使用特定群组装置2，据此在任意定时能够确定在特定群组装置2中存在多少可用处理单元4。尤其，如同从整个压印系统I所看到的那样，整体控制器10从群组装置2获取信息，从而使得能够容易地指定多个群组装置2中具有大量可用处理单元4的特定群组装置2以及此时处理单元4的组。从而，基于第一实施例的系统配置，本实施例中的系统配置能够最小化地改变。
[0069](第三实施例)
[0070]接下来，对根据本发明的第三实施例的光刻装置进行描述。图13是示出以根据本实施例的光刻装置中包含的群组控制器为中心的配置的部分图。在图13中，为了便于说明，将与第一实施例中的压印系统I的相应部件相同的部件给予相同的附图标记，并省略其说明。根据本实施例的光刻装置的特征在于根据第一实施例的光刻装置(群组装置2)经由整体控制器10从列表生成单元13获得表示处理单元4的优先顺序的处理单元ID。列表生成单元13经由整体控制器10与群组控制器6和整体特性数据管理单元14可通信地连接，并从群组控制器6和整体特性数据管理单元14接收或者向其发送控制信号和各种信息。整体特性数据管理单元14将与整体控制器10可通信地连接的群组装置2中包含的所有处理单元4的特性数据与各个处理单元4相关联地管理。列表生成单元13经由整体控制器10从整体特性数据管理单元14获取特性数据，接着基于特性数据生成处理单元ID列表，在所述列表中定义了向压印处理单元4分配晶圆W时作为候补的处理单元4的优先顺序。在选择执行作业的处理单元4时，作业执行单元305参照处理单元ID列表以及诸如警告发生状态、维护计划等处理单元4的操作状态相关的信息。以这种方式，在考虑整个群组装置2的操作状态的同时，选择具有最高优先顺序的处理单元4。
[0071]图14A和图14B是示出由列表生成单元13生成的示例性处理单元ID列表的表。图14A是当定义了图案形成精度高的处理单元4作为高优先级的优先顺序时获得的处理单元ID列表的示例，而图14B是示出图14A所示的处理单元改变条件编码的状态的表。在此，术语“处理单元改变条件”是指将处理单元改变为低优先顺序时的条件。例如，当使用图14A和图14B所示的处理单元ID列表创建晶圆ID为“L1W1”的晶圆W的处理计划时，作为选择的候补的处理单元4是处理单元ID为“HD01”和“HD02”的处理单元。如果处理单元ID为“HD01”且其优先顺序为高优先级的处理单元4满足处理单元改变条件“Cl:压印处理单元故障”，则作业执行单元305选择处理单元ID为“HD02”且优先级低的处理单元4作为用来处理晶圆ID为“L1W1”的晶圆W的处理单元4。虽然基于图案形成精度定义了优先顺序，但是本发明不限于此，而是还可以基于诸如生产力等其他性能来定义优先顺序。处理单元改变条件也不限于图14B所示的条件，而可以应用到软件能够检测的任意事件。
[0072]接下来，对本实施例中在图5所示的步骤S102中将晶圆W分配给处理单元4进行描述。图15是示出当使用定义了优先顺序的列表时晶圆W的分配工序的流程的流程图。首先，在以下重复处理之前，作业执行单元305将初始值“I”设定给批次中的晶圆的首个编号(步骤S401)。接着，作业执行单元305确定是否需要创建目标晶圆W的处理计划(步骤S402) ο在此，如果作业执行单元305确定无需创建该处理计划(否)，则处理转入以下步骤S409。另一方面，如果作业执行单元305在步骤S402中确定需要创建处理计划(是)，则作业执行单元305选择用来处理目标晶圆W的处理单元4 (步骤S403)。以下将详细描述处理单元4的选择工序。接着，作业执行单元305确认选择的处理单元4的操作状态，并接着导出处理单元4能够开始晶圆处理的日期/时间(以下，称为“可处理日期/时间”)(步骤S404)。在此，如果处理单元4处于处理待机状态，则可处理的日期/时间为当前的日期/时间，反之，如果处理单元4正在处理中，则可处理的日期/时间为预测的下次处理单元4变为处理待机状态的日期/时间(能够接收新处理的日期/时间)。接着，作业执行单元305导出基板运送单元5能够给送目标晶圆W的日期/时间(以下，称为“可给送日期/时间”)(步骤S405)。接着，作业执行单元305将在步骤S404中导出的可处理日期/时间与在步骤S405导出的可给送日期/时间进行比较，以导出在后的日期/时间作为目标晶圆W的处理开始预定日期/时间(步骤S406)。以下步骤S407至步骤S411分别与图6所示的步骤S207至步骤S211相对应，并省略其说明。
[0073]接下来，对步骤S403中对用来处理目标晶圆W的处理单元4的选择进行详细的描述。图16是示出本实施例中的处理单元4的选择工序的流程的流程图。首先，作业执行单元305从主控制器301中获取由列表生成单元13生成的与目标晶圆W相关的处理单元ID列表以及处理单元改变条件(步骤S501)。接着，作业执行单元305将处理单元ID列表中具有最高优先顺序(列表中的第一位)的处理单元4设定给目标处理单元(步骤S502)。接着，作业执行单元305获取目标处理单元4的操作状态(步骤S503)。接着，作业执行单元305将由在步骤S501中获取的处理单元改变条件编码表示的状态与由在步骤S503中获取的目标处理单元4的操作状态相关的信息表示的目标处理单元4的状态进行比较，以确定两个状态是否一致(步骤S504)。在此，如果作业执行单元305确定两个状态不一致(否)，则选择目标处理单元4作为用来处理目标晶圆W的处理单元(步骤S505)。另一方面，如果作业执行单元305确定两个状态一致(是)，则作业执行单元305确定目标处理单元4是否是处理单元ID列表中作为候补的处理单元中优先顺序最低(列表的末尾)的处理单元4 (步骤S506)。在此，如果作业执行单元305确定目标处理单元4是优先顺序最低的处理单元4 (是)，则进行用于向整体控制器10通知用来处理目标晶圆W的处理单元4为不可选择的错误处理(步骤S507)。另一方面，如果作业执行单元305确定目标处理单元4不是优先顺序最低的处理单元4 (否)，则将目标处理单元4改变为处理单元ID列表中被定义为低优先级的处理单元4，接着处理返回到步骤S503(步骤S508)。
[0074]如上所述，根据本实施例，群组装置2能够选择对于特定性能方面具有优秀特性的处理单元4作为用于处理目标晶圆W的处理单元。此外，当发生不能接受的事件时，群组装置2将晶圆W的处理分配给满足所需性能的其他处理单元4，从而能够抑制生产力的降低。例如，如果使用按图案形成精度排列的处理单元ID列表并且列表中高级别的处理单元4故障，则能够由精度落入容许范围内的处理单元中优先顺序高的处理单元4来进行晶圆W的处理。因此，根据本实施例，如同第一实施例那样，能够提供在确保提高图案形成精度的同时有利于抑制生产力的降低的群组型光刻装置及光刻系统。
[0075](第四实施例)
[0076]接下来，对根据本发明的第四实施例的光刻装置进行描述。图17是示出以根据本实施例的光刻装置中包含的群组控制器为中心的配置的部分框图。在图17中，为了便于说明，将与第三实施例中的压印系统I的相应部件相同的部件给予相同的附图标记，并省略其说明。根据本实施例的光刻装置的特征在于根据第一实施例的光刻装置(群组装置2)中的群组控制器6经由整体控制器10从选择方法列表生成单元15中获得定义处理单元4的选择方法的优先顺序的选择方法列表。选择方法列表生成单元15经由整体控制器10与群组控制器6和整体特性数据管理单元14可通信地连接，并从群组控制器6和整体特性数据管理单元14接收或者向其发送控制信号和各种信息。选择方法列表生成单元15经由整体控制器10从整体特性数据管理单元14获取特性数据，并接着基于特性数据生成选择方法列表，在所述选择方法列表中，定义了当向压印处理单元4分配晶圆W时处理单元4的选择方法(分配条件)的优先顺序。在选择用于执行作业的处理单元4时，作业执行单元305参照选择方法列表以及诸如警告发生状态、维护计划等与处理单元4的操作状态相关的信息。以这种方式，可以根据整个群组装置2的操作状态，改变要选择的处理单元4及其选择方法。
[0077]图18A和图18B是示出由选择方法列表生成单元15生成的示例性选择方法列表的表。图18A是定义处理单元4的选择方法的优先顺序的选择方法列表的示例，图18B是示出图18A所示的处理单元改变条件编码的状态的表。在此，在向处理单元4分配晶圆W时使用的选择方法的候补为“组ID”、“容许误差”以及“ID列表”。术语“组ID”是指第一实施例中记载的组ID指定方法以及用于指定组单元中使用的处理单元4的方法。术语“容许误差”是指在第二实施例中记载的容许误差指定方法以及通过指定目标批次的容许误差