具有集成选通驱动器的阵列基板及其制造方法_2

文档序号:9563768阅读:来源:国知局
理步骤和/或操作的进度是示例;然而,除了必须以特定顺序发生的步骤和/或操作之外,步骤和/或操作的顺序不限于本文阐述的顺序,并且可以如本领域公知的那样改变。相同的附图标记始终标明相同的元件。仅为了撰写本说明书的方便而选择以下说明中使用的相应元件的名称,进而这些名称可以与实际产品中使用的那些名称不同。
[0028]图2是示出了根据本公开的第一实施方式的用于板内选通型液晶显示装置的阵列基板的视图。
[0029]在图2中,阵列基板包括位于其中心部处的有源区域AA和位于其边缘部处的选通电路区域GCA。多个选通线GL1至GLn和多个数据线DL1至DLm形成在有源区域AA中以显示图像,并且选通驱动器形成在选通电路区域GCA中以产生多个选通信号。多个选通线GL1至GLn与多个数据线DL1至DLn交叉以限定像素区域。集成在阵列基板中的选通驱动器包括移位寄存器,并且该移位寄存器包括级联连接的多个级ST1至STn。尽管未示出,但是多个级ST1至STn中的每一个可以包括多个驱动薄膜晶体管(TFT),并且像素区域可以包括多个像素TFT。该多个驱动TFT和该多个像素TFT同时形成。多个级ST1至STn可以对应于多个选通线GL1至GLn。
[0030]当前级的输出端子连接至下一级的输入端子,使得当前级的输出信号能够启动下一级的操作。另外,各个级ST1至STn的输出端子连接至选通线GL1至GLn以将输出信号供应给阵列基板的有源区域AA。因此,各个级ST1至STn的输出信号被供应给选通线GL1至GLn和下一级。因为第一级ST1不具有前一级,所以起始脉冲SP被供应给第一级ST1以启动第一级ST1的操作。
[0031]具有高电平的脉冲的第一时钟和第二时钟通过选通驱动器上方的第一时钟线CL1和第二时钟线CL2依次被供应给各个级。尽管在第一实施方式中第一时钟和第二时钟被输入给各个级ST1至STn,但是在另一实施方式中可以将三个或更多个时钟输入给各个级ST1至STn。因此,从多个级ST1至STn向多个选通线GL1至GLn依次发送输出信号。
[0032]在根据第一实施方式的阵列基板中,因为用于发送多个时钟信号的多个时钟线CL1和CL2形成在选通驱动器上方,所以与多个时钟线形成在选通驱动器外部的根据现有技术的阵列基板相比,非显示区域的边框区域减小。结果,获得了在细长设计情况下具有轻重量和薄外形的IXD。
[0033]图3是示出了根据本公开的第一实施方式的用于板内选通型液晶显示装置的阵列基板的截面图。
[0034]在图3中,基板101包括用于显示图像的有源区域AA和用于产生多个选通信号的选通电路区域GCA。在有源区域AA中,栅电极116a和连接至该栅电极116a的选通线形成在基板101上的各个像素区域中,并且栅绝缘层120形成在栅电极116a和选通线上。有源层123a在栅绝缘层120上形成在栅电极116a上方,并且源电极125a和漏电极125b以及连接至源电极125a的数据线形成在有源层123a上。有源层123a可以由本征非晶硅(a_Si:Η)形成。源电极125a和漏电极125b彼此间隔开,以对应于有源层123a的两侧。栅电极116a、栅绝缘层120、有源层123a、源电极125a和漏电极125b构成像素TFT。层间绝缘层130在各个像素区域中形成在源电极125a和漏电极125b上,并且像素电极145a形成在层间绝缘层130上。像素电极145a可以由诸如铟锡氧化物(ΙΤ0)和铟锌氧化物(ΙΖ0)的透明导电材料形成。层间绝缘层130具有暴露漏电极125b的漏接触孔,并且像素电极145a通过该漏接触孔连接至漏电极125b。第一钝化层150形成在像素电极145a上。
[0035]在选通电路区域GCA中,栅连接线116b形成在基板101上,并且栅绝缘层120形成在栅连接线116b上。栅连接线116b可以具有与栅电极116a相同的层和与栅电极116a相同的材料。有源图案123b、源连接线125c和像素图案145b依次形成在栅绝缘层120上。有源图案123b与栅连接线116b间隔开。有源图案123b可以具有与有源层123a相同的层和与有源层123a相同的材料。源连接线125c可以具有与源电极125a和漏电极125b相同的层以及与源电极125a和漏电极125b相同的材料。另外,像素图案145b可以具有与像素电极145a相同的层和与像素电极145a相同的材料。源连接线125c和像素图案145b包裹有源图案123b的顶面和侧面。
[0036]层间绝缘层130形成在栅绝缘层120上并且有机绝缘图案140形成在层间绝缘层130上。另外,第一钝化层150形成在有机绝缘图案140上。尽管未示出,但是包括移位寄存器的选通驱动器可以形成在有机绝缘图案140下方。层间绝缘层130和有机绝缘图案140具有暴露源连接线125c的开口,并且像素图案145b通过该开口直接形成在源连接线125c上。有机绝缘图案140可以由诸如光丙烯和苯并环丁烯(BCB)的有机绝缘材料形成。层间绝缘层130和有机绝缘图案140与源连接线125b间隔开。导电图案155在第一钝化层150上形成在有机绝缘图案140上方,并且第二钝化层160形成在导电图案155上。导电图案155可由诸如铝(A1)和铜(Cu)的金属材料形成以防止信号延迟。另选地,导电图案155可以由诸如ΙΤ0和ΙΖ0的透明导电材料形成。另外,导电图案155可以由于有机绝缘图案140而与选通驱动器电分离。公共层170形成在第二钝化层160上。公共层170可以充当用于连接不同层的诸如栅连接线116b、像素图案145b和导电图案155的导电线的跳线。
[0037]栅绝缘层120、第一钝化层150和第二钝化层160具有暴露栅连接线116b的第一接触孔CH1。另外,第一钝化层150和第二钝化层160具有暴露像素图案145b的第二接触孔CH2,并且第二钝化层160具有暴露导电图案155的第三接触孔CH3。公共层170通过第一接触孔CH1连接至栅连接线116b,通过第二接触孔CH2连接至像素图案145b,并且通过第三接触孔连接至导电图案155。
[0038]在根据第一实施方式的阵列基板中,导电图案155可以充当(图2的)多个时钟线CL1和CL2并且多个时钟信号被施加给导电图案155。因为导电图案155形成在选通驱动器上方,所以获得了具有窄边框的LCD装置。
[0039]然而,因为公共层170被形成为没有保护层的基板101的顶层,所以外部湿气可能渗透到公共层170与栅连接线116b之间、像素图案145b与源连接线125c之间以及公共层170与导电图案155之间的接触部中。例如,外部湿气可以在诸如大约60°C的温度和大约90%的湿度的高温和高湿度条件下渗透到接触部中。结果,接触部可能由于湿气而劣化。
[0040]另外,当LCD装置具有多个触摸扫描线和多个触摸感测线形成在阵列基板上的内嵌触摸式(in-cell touch type)时,导电图案155可以充当多个触摸扫描线并且可以对导电图案155施加多个触摸扫描信号。在内嵌触摸式LCD装置中,外部湿气可能导致接触部的劣化。
[0041 ] 为了解决上述问题,提出了第二实施方式。
[0042]图4是示出了根据本公开的第二实施方式的用于板内选通型液晶显示装置的阵列基板的截面图。
[0043]在图4中,基板201包括用于显示图
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