一种mems光阀、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种MEMS光阀、显示装置。
【背景技术】
[0002]MEMSCMicro-Electro-Mechanical System，微机电系统)是以微电子、微机械及材料科学为基础，形成的尺寸在几毫米甚至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。随着MEMS技术的迅速发展，基于MEMS技术的显示器已成为未来显示的一个重要发展方向。
[0003]相对液晶显示器，MEMS显示器利用MEMS光阀替换液晶层，通过MEMS光阀控制光线的透光率，从而实现图像的显示。MEMS显示器无需设置偏光片等，可大幅度提高光效率、降低功耗以及制作成本。
[0004]参考图1所示，MEMS光阀包括相对设置的可动光栅1和固定光栅2，外界光100需要通过固定光栅2的透光部20射入到反光层3上，并通过反光层3将光反射出去，可以通过调整可动光栅1的透光部10与固定光栅2透光部20的重叠面积从而调整射入到反光层3的光线的多少，最终实现黑白显示。但是该MEMS显示器的结构较复杂。
【发明内容】
[0005]本发明的实施例提供一种MEMS光阀、显示装置，该显示装置可以利用外界光实现黑白显示，相比于现有技术，结构更为简单。
[0006]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0007]一方面，提供了一种MEMS光阀，包括:
[0008]固定光栅，所述固定光栅划分为交替排布的第一区域和第二区域，其中，所述固定光栅包括位于所述第一区域的反射单元，所述第二区域不反射光；
[0009]可动光栅，所述可动光栅位于所述固定光栅的外界光射入侧，且可在所述可动光栅所在的面内移动，所述可动光栅在移动过程中能够遮挡所述反射单元的部分或者全部。
[0010]可选的，所述反射单元为反射式彩色滤光片；
[0011]所述反射式彩色滤光片包括:设置在所述反射式彩色滤光片的上表面的多个凸起，当外界光照射到所述凸起和所述上表面时，所述反射式彩色滤光片反射出一种颜色的光线。
[0012]可选的，所述凸起为点状，在所述第一区域内呈阵列排布;或者，所述凸起为条状，在所述区域内平行排布。
[0013]可选的，所述反射式彩色滤光片包括:本体层，多个所述凸起设置在所述本体层的上表面。
[0014]可选的，所述本体层和所述凸起为同一种金属。
[0015]可选的，所述固定光栅还包括位于所述第二区域的吸光层。
[0016]可选的，所述光阀还包括:控制器件，所述控制器件与所述可动光栅相连，用于使所述可动光栅悬浮，且带动所述可动光栅在所述可动光栅所在的面内移动。
[0017]可选的，所述控制器件包括:在所述可动光栅的移动方向上，分别设置在所述可动光栅相对两侧的电极驱动部和弹性伸缩部；
[0018]所述电极驱动部包括:驱动电极、感应电极、相对设置的驱动梁和感应梁，其中，所述驱动电极与所述驱动梁相连，所述感应梁分别与所述感应电极和所述可动光栅相连；
[0019]所述弹性伸缩部包括:支架和弹性梁，所述弹性梁分别与所述支架和所述可动光栅相连。
[0020]本发明的实施例提供了一种MEMS光阀，该MEMS光阀包括:固定光栅，固定光栅划分为交替排布的第一区域和第二区域，其中，固定光栅包括位于第一区域的反射单元，第二区域不反射光;可动光栅，可动光栅位于固定光栅的外界光射入侧，且可在可动光栅所在的面内移动，该可动光栅在移动过程中能够遮挡反射单元的部分或者全部。这样，外界光射入到固定光栅后，第一区域的反射单元可以将外界光反射出去，通过移动可动光栅可以控制外界光射入到固定光栅的反射单元的光线的多少，进而将该MEMS光阀应用到MEMS显示装置时可以实现黑白显示。相比现有技术，本发明无需额外设置反光层，结构更为简单。
[0021]另一方面，提供了一种显示装置，包括多个像素，每一像素由子像素组成，每个所述子像素包括一个上述的MEMS光阀。
[0022]可选的，所述光阀的反射单元为反射式彩色滤光片;所述反射式彩色滤光片包括:设置在所述反射式彩色滤光片的上表面的多个凸起，当外界光照射到所述凸起和所述上表面时，所述反射式彩色滤光片反射出一种颜色的光线；
[0023]每个所述像素包括三个子像素，三个所述子像素分别能反射出三基色光线。
[0024]本发明的实施例提供了一种显示装置，该显示装置可以利用外界光实现黑白显示，相比于现有技术，结构更为简单。该显示装置可以应用到电视、数码相机、手机、平板电脑等任何具有显示功能的产品或者部件。
【附图说明】
[0025]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为现有技术中提供的一种MEMS显示装置的结构示意图；
[0027]图2a为本发明实施例提供的一种MEMS光阀的固定光栅的结构示意图；
[0028]图2b为本发明实施例提供的一种MEMS光阀的固定光栅和可动光栅的结构不意图；
[0029]图2c为可动光栅沿图2b的A-B方向移动后的结构示意图；
[0030]图3为本发明实施例提供的一种凸起的俯视图一；
[0031]图4为本发明实施例提供的一种凸起的俯视图二；
[0032]图5为本发明实施例提供的一种反射式彩色滤光片的结构示意图；
[0033]图6为本发明实施例提供的反射式彩色滤光片的原理图；
[0034]图7为本发明实施例提供的一种MEMS光阀的结构示意图；
[0035]图8为图7的A1B1的剖面示意图；
[0036]图9为本发明实施例提供的另一种MEMS光阀的结构不意图；
[0037]图10为图9的A2B2的剖面示意图；
[0038]图11为本发明实施例提供的又一种MSMS光阀的结构不意图。
[0039]附图标记:
[0040]1-可动光栅；10-可动光栅的透光部;2-固定光栅;20-固定光栅的透光部;21-第一区域;22-第二区域;23-反射单元;24-反射式彩色滤光片；25-凸起;27-本体层;3-反光层；41-电极驱动部;411-驱动电极;412-感应电极;413-驱动梁;414-感应梁;42-弹性伸缩部；421-支架;422-弹性梁；100-外界光;200-基板。
【具体实施方式】
[0041]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0042]实施例一
[0043]本发明实施例提供了一种MEMS光阀，参考图2a和图2b所示，MEMS光阀包括:固定光栅2，固定光栅2划分为交替排布的第一区域21和第二区域22，其中，固定光栅2包括位于第一区域21的反射单元23，第二区域22不反射光;可动光栅1，可动光栅1位于固定光栅2的外界光射入侧，且可在可动光栅1所在的面内移动，可动光栅1在移动过程中能够遮挡反射单元23的部分或者全部。
[0044]本发明实施例对于反射单元的结构不作限定，示例的，反射单元可以是反射片，还可以是反射式彩色滤光片，这里不作具体限定。另外，对于设置在第二区域的结构也不作限定。本发明实施例对于第一区域和第二区域的形状也不做限定，本发明实施例以及附图均以第一区域和第二区域均为条状为例进行说明。
[0045]参考图2b所示，上述可动光栅1与固定光栅2相对设置，可动光栅1包括透光部10，在可动光栅1所在的面内，沿垂直于第一区域21的宽度方向即A-B方向移动可动光栅1后，可动光栅1的透光部10与固定光栅2的第一区域21交错，此时，射入到固定光栅的第一区域的外界光线数量较少;继续移动后，可以得到如图2c所示的结构，即可动光栅1的透光部10与固定光栅2的第一区域21重叠，此时，射入到固定光栅的第一区域的外界光线数量较多；这样可以通过移动可动光栅从而控制可动光栅的透光部与固定光栅的第一区域的重叠面积，进而控制外界光射入到固定光栅的反射单元的光线的多少。这里以可动光栅的透光部与固定光栅的第一区域的形状均为条状为例进行说明。另外，可动光栅还可以是其他移动方式，具体可以根据可动光栅和固定光栅的具体结构来确定，只要满足通过移动可动光栅从而可以控制可动光栅的透光部与固定光栅的第一区域的重叠面积，进而控制外界光射入到固定光栅的反射单元的光线的多少即可。
[0046]本发明的实施例提供了一种MEMS光阀，该MEMS光阀包括:固定光栅，固定光栅划分为交替排布的第一区域和第二区域，其中，固定光栅包括位于第一区域的反射单元，第二区域不反射光;可动光栅，可动光栅位于固定光栅的外界光射入侧，且可在可动光栅所在的面内移动，该可动光栅在移动过程中能够遮挡反射单元的部分或者全部。这样，外界光射入到固定光栅后，第一区域的反射单元可以将外界光反射出去，通过移动可动光栅可以控制外界光射入到固定光栅的反射单元的光线的多少，进而将该MEMS光阀应用到MEMS显示装置时可以实现黑白显示。相比现有技术，本发明无需额外设置反光层，结构更为简单。
[0047]可选的，反射单元为反射式彩色滤光片;反射式彩色滤光片包括:设置在反射式彩色滤光片的上表面的多个凸起，当外界光照射到凸起和上表面时，反射式彩色滤光片反射出一种颜色的光线。这样，将上述光阀应用到显示装