一种光掩膜烘烤板架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体生产设备，特别是涉及一种光掩膜烘烤板架。
【背景技术】
[0002]设计与工艺制造之间的接口是版图。版图是一组相互套合的图形，各层版图相应于不同的工艺步骤，每一层版图用不同的图案来表示。版图与所采用的制备工艺紧密相关。在计算机及其超大规模集成电路(Very Large Scale INTEGRATED Circuits，VLSI)设计系统上设计完成的集成电路版图只是一些图像和数据，当将设计结果送到工艺线上实验时，还必须经过一个重要的中间环节，即制版。
[0003]制版是通过图形发生器完成图形的缩小和重复。在设计完成集成电路的版图以后，设计者得到的是一组标准的制版数据，将这组数据传送给图形发生器(一种制版设备)，图形发生器(Pattern Generator, PG)根据数据，将设计的版图结果分层转移到光掩膜上。制版的目的就是产生一套分层的版图掩膜，为将来进行图形转移(即光刻)做准备。
[0004]光掩膜(Photo Mask)包含了整个硅片的芯片图形特征，其质量的高低直接影响着半导体产品的最终性能，因此，在生产过程中，必须保证光刻光掩膜的质量。
[0005]随着新型光刻胶的使用，对曝光后烘烤的温度均匀性要求很高。在传统的热风型烘箱内，光掩模烘烤板架一般包括平行于热风出口的两根固定轴，光掩膜则由这两根进行固定，使光掩膜具有图案的一面面向热风出口，以便于烘烤。
[0006]然而，这种针对热风型烘烤箱的烘烤架，在实际的使用过程中，不能完全满足整块掩模版的温度均匀性要求。
[0007]鉴于以上所述，提供一种能有效提高光掩膜温度均匀性的新型烘烤板架实属必要。
【实用新型内容】
[0008]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光掩膜烘烤板架，用于解决现有技术中针对热风型烘烤箱的烘烤架，在实际的使用过程中，不能满足整块掩模板的温度均匀性要求的问题。
[0009]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0010]底座；
[0011]旋转装置，所述旋转装置将所述底座固定于烘烤设备底部，并通过所述旋转装置实现所述底座的旋转；
[0012]支架，至少包括一与所述底座固定连接的倾斜面板；以及
[0013]加热板，固定于所述支架的倾斜面板上。
[0014]作为本实用新型的光掩膜烘烤板架的一种优选方案，所述支架包括支撑板及倾斜面板，且所述支撑板、倾斜面板及底座间形成三角固定结构。
[0015]作为本实用新型的光掩膜烘烤板架的一种优选方案，所述旋转装置的旋转角度范围为30?90度。
[0016]作为本实用新型的光掩膜烘烤板架的一种优选方案，所述加热板两侧设置有固定件，所述加热板以夹持的方式固定于所述倾斜面板。
[0017]进一步地，所述固定件上设置有把手，通过该把手实现所述底座的旋转。
[0018]作为本实用新型的光掩膜烘烤板架的一种优选方案，所述加热板的形状为矩形。
[0019]进一步地，所述加热板的两侧设置有凹槽，以便于采用夹具实现光掩膜的放置及取出。
[0020]作为本实用新型的光掩膜烘烤板架的一种优选方案，所述加热板为不锈钢板。
[0021]如上所述，本实用新型提供一种光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座；旋转装置，所述旋转装置将所述底座固定于烘烤设备底部，并通过所述旋转装置实现所述底座的旋转；支架，至少包括一与所述底座固定连接的倾斜面板；以及加热板，固定于所述支架的倾斜面板上。本实用新型由于采用了预热钢板，保证了掩模版刚放置时的初期温度，同时保证了在加热过程中整片掩模版的均匀受热。另外，本实用新型设计了转动托架，保证了光掩膜装卸的便利性。
【附图说明】
[0022]图1显示为本实用新型的光掩膜烘烤板架的主视结构示意图。
[0023]图2显示为本实用新型的光掩膜烘烤板架的下视结构示意图。
[0024]元件标号说明
[0025]10底座
[0026]50旋转装置
[0027]20支架
[0028]201 支撑板
[0029]202 倾斜面板
[0030]30加热板
[0031]40固定件
[0032]401把手
【具体实施方式】
[0033]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0034]请参阅图1?图2。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0035]如图1?图2所示，本实施例提供一种光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0036]底座10 ；
[0037]旋转装置50，所述旋转装置50将所述底座10固定于烘烤设备底部，并通过所述旋转装置50实现所述底座10的旋转；
[0038]支架20，至少包括一与所述底座10固定连接的倾斜面板202 ;以及
[0039]加热板30，固定于所述支架20的倾斜面板202上。
[0040]所述底座10可以采用如不锈钢、陶瓷等耐热材质的刚性材料制成，所述底座10的形状可以为如十字形、矩形、圆形等形状，且不限于此处所列举的几种示例。
[0041]如图2所示，所述选装装置可以与所述烘烤设备固定连接，也可以直接放置于所述烘烤设备底部，所述选装装置的可旋转角度范围为30?90度。在本实施例中，所述旋转装置50的旋转角度为45度。
[0042]如图1所示，所述支架20包括支撑板201及倾斜面板202，且所述支撑板201、倾斜面板202及底座10间形成三角固定结构。所述支架20的材质可以采用如不锈钢板等刚性材料制成，其与地板的连接可以采用焊接或者采用螺丝等连接件进行连接。
[0043]如图1所示，所述加热板30两侧设置有固定件40，所述加热板30以夹持的方式固定于所述倾斜面板202。作为示例，所述固定件40上设置有把手401，通过该把手401实现所述底座10的旋转。
[0044]作为示例，所述加热板30为不锈钢板，所述加热板30的形状为矩形。进一步地，所述加热板30的两侧设置有凹槽，以便于采用夹具实现光掩膜的放置及取出。所述加热板30作为预热钢板，保证了掩模版刚放置时的初期温度，同时保证了在加热过程中整片掩模版的均匀受热。
[0045]本实施例的光掩膜烘烤板架的使用步骤如下:
[0046]第一步，通过所述把手401和旋转装置50将所述加热板30旋转至朝向烘烤箱一面(如与所述烘烤箱一面呈45度角)后，通过专用夹具将光掩膜放置于所述加热板30上，放置时注意夹具与加热板30两侧的凹槽相对应，以便于放置，当然，放置前可以先对所述加热板30进行预热，以提高加热的均匀性；另外，如果先进性了预热，可以采用如小棍等工具插入所述把手401的孔内，再进行旋转，以免烫伤。
[0047]第二步，光掩膜放置完成后，通过所述把手401及选装装置将所述加热板30旋转至朝向烘烤箱的出风口一面，以提高加热的效率。
[0048]第三步，烘烤完成后，如第一步的操作将所述光掩膜取出。
[0049]可见，本实用新型由于采用了预热钢板，保证了掩模版刚放置时的初期温度，同时保证了在加热过程中整片掩模版的均匀受热。另外，本实用新型设计了转动托架，保证了光掩膜装卸的便利性。
[0050]如上所述，本实用新型提供一种光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座10 ;旋转装置50，所述旋转装置50将所述底座10固定于烘烤设备底部，并通过所述旋转装置50实现所述底座10的旋转；支架20，至少包括一与所述底座10固定连接的倾斜面板202 ;以及加热板30，固定于所述支架20的倾斜面板202上。本实用新型由于采用了预热钢板，保证了掩模版刚放置时的初期温度，同时保证了在加热过程中整片掩模版的均匀受热。另外，本实用新型设计了转动托架，保证了光掩膜装卸的便利性。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0051]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种光掩膜烘烤板架，其特征在于，所述光掩膜烘烤板架包括: 底座； 旋转装置，所述旋转装置将所述底座固定于烘烤设备底部，并通过所述旋转装置实现所述底座的旋转； 支架，至少包括一与所述底座固定连接的倾斜面板；以及 加热板，固定于所述支架的倾斜面板上。
2.根据权利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述支架包括支撑板及倾斜面板，且所述支撑板、倾斜面板及底座间形成三角固定结构。
3.根据权利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述旋转装置的旋转角度范围为30?90度。
4.根据权利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加热板两侧设置有固定件，所述加热板以夹持的方式固定于所述倾斜面板。
5.根据权利要求4所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述固定件上设置有把手，通过该把手实现所述底座的旋转。
6.根据权利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加热板的形状为矩形。
7.根据权利要求6所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加热板的两侧设置有凹槽，以便于采用夹具实现光掩膜的放置及取出。
8.根据权利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特征在于:所述加热板为不锈钢板。
【专利摘要】本实用新型提供一种光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括：底座；旋转装置，所述旋转装置将所述底座固定于烘烤设备底部，并通过所述旋转装置实现所述底座的旋转；支架，至少包括一与所述底座固定连接的倾斜面板；以及 加热板，固定于所述支架的倾斜面板上。本实用新型由于采用了预热钢板，保证了掩模版刚放置时的初期温度，同时保证了在加热过程中整片掩模版的均匀受热。另外，本实用新型设计了转动托架，保证了光掩膜装卸的便利性。
【IPC分类】G03F1-82
【公开号】CN204270008
【申请号】CN201420761811
【发明人】李勇, 郑宏
【申请人】上海凸版光掩模有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年12月5日