专利名称：一种平板显示屏电极的制备方法
技术领域：
本发明属于显示器件制造技术领域，特别涉及一种可用于场致发射平板显示器的薄膜型电极制备方法。
背景技术：
现有的平板显示器件电极的制备方法中最为先进的是公开号为CN1447367A的发明专利申请“薄膜型栅极及其制备方法”它依次包括玻璃基板，金属下电极绝缘层及上电极，其特征是金属下电极采用双层金属薄膜复合电极，与玻璃基片附着性强的金属在下，导电性强的金属在上，绝缘层采用非晶态氧化物介质膜，金属上下电极采用铬(钛)-铜双层复合电极，采用丝网印刷和化学处理的方法形成绝缘层电极及金属上电极与金属下电极层状交叉，中间隔离的薄膜型电极。该发明具有制备工艺简单，材料成本低，成品率高等优点，但同时也有存在如下不足即在清除电极油墨的过程中，将电极置入有机溶剂长时间浸泡，同时采用接触式清除电极表面的油墨，这样非但不容易除去电极表面附着的有机溶剂，而且还会在电极表面形成刻痕，造成上下电极短路，影响电极性能，最终导致平板显示器件完全失效。
发明内容
为了克服上述不足，本发明的目的是提供一种改进的薄膜型电极的制备方法，它采用非接触剥离法清除电极表面的油墨，不但极易清除电极表面有机溶剂，而且不会在电极表面形成刻痕，从而将有效避免上下电极短路，大大提高了电极性能，确保了产品的合格率。
本发明是通过下述技术方案来实现的。
本发明包括以下步骤1、制备金属下电极1)在清洁处理后的平板玻璃基板上，利用直流溅射镀制铬(钛)膜，在铬(钛)膜上直流溅射铜膜，形成铬(钛)-铜双层复合金属膜。
2)用丝网印刷的方法印上抗蚀刻的高温保护油墨，再经过化学刻蚀处理，形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极。
3)利用超声清洗机清洁处理已经形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极。
其特征是它还包括以下步骤2、用剥离法制备绝缘层以及金属上电极1)在已经形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极的玻璃基板上，利用丝网印刷方法，在金属膜下电极正交方向上印上高温保护油墨(或耐高温光刻胶)，烘干后备用。
2)在二次印刷高温保护油墨的玻璃基板上用溅射法镀制SiO2-Al2O3(Ta2O5)多层绝缘介质膜，其中SiO2采用射频溅射，Al2O3(Ta2O5)采用中频反应溅射。
3)在双层介质膜上利用直流溅射形成铬(钛)-铜双层复合上电极金属膜。
4)使用高压喷枪接上高压气体，在一定压力下，将有机溶剂(退胶剂)随着高压气体打在玻璃基板上，将高温保护油墨(或高温光刻胶)以及覆盖其上的双层介质膜和铬(钛)-铜双层复合上电极金属膜一同剥离掉。
5)将玻璃基板置入有机溶剂中充分浸泡，彻底除去残留基板上的油墨。
6)利用超声清洗机清洁处理该玻璃基板，最终形成金属下电极，金属上电极层状交叉，以介质绝缘层作为中间隔离的薄膜型电极。
所述的烘干高温保护油墨是通过在烘箱中低温烘干来实现的。
所述的耐高温光刻胶是通过在烘箱中低温烘干，曝光，显影，坚膜来实现的。
所述的高温保护油墨是采用型号为BL-7072的耐高温油墨等(耐高温光刻胶型号为PSPI-H)。
所述的剥离高温油墨及覆盖其上的双层介质膜及上电极膜，可先使用玻璃喷枪从上往下缓慢的喷淋有机溶剂(退胶剂)并均匀喷洒于玻璃基板镀膜面上，使其充分接触，静置片刻后，再用高压喷枪将它们剥离掉。
所述的有机溶剂(退胶剂)是丙酮。
本发明由于采用剥离法使得在制备电极过程中薄膜表面干净无残留，无刻胶，电极边缘整齐，绝缘性能好，从而将有效避免上下电极的短路现象，大大提高电极性能，确保产品的合格率，本发明还具有制备工艺简单，易操作，易控制等优点。
以下将通过具体实施例对本发明作进一步的详细描述。
具体实施例方式
本发明包括制备金属下电极和利用剥离法制备绝缘层及金属上电极。
1、制备金属下电极选用普通的钠钙硅酸盐系列平板玻璃，在清洁处理后，利用直流溅射镀制铬(钛)-铜双层复合金属膜，用丝网印刷方法印上抗刻蚀的高温保护油墨，再经过化学刻蚀处理，将没有油墨保护的铬(钛)-铜镀膜腐蚀掉，其中铜膜腐蚀液为HCl∶H2O2∶H2O＝2∶1∶9，铬膜腐蚀液为KMnO4∶NaOH∶H2O＝10∶3∶100，钛膜腐蚀液为HNO3∶HF∶H2O＝3∶20∶100，然后使用退墨剂(如丙酮)将油墨除掉，最后通过利用超声清洗机清洁处理玻璃基板，从而形成铬(钛)-铜双层复合金属下电极。
2、剥离法制备绝缘层以及金属上电极利用事先做好的网板(网板图案为无需保留的电极间隔图案)，在已经形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极的玻璃基板上，用丝网印刷方法，在金属膜下电极正交方向，印上高温保护油墨如BL-7072(或耐高温光刻胶如PSPI-H)等。接着依次将其烘干(对于耐高温光刻胶则采用烘干，曝光，显影及坚膜)后备用，在二次印刷高温保护油墨的玻璃基板上用溅射法镀制SiO2-Al2O3(Ta2O5)多层绝缘介质膜，其中SiO2采用射频溅射，Al2O3(Ta2O5)采用中频反应溅射，然后再在其上利用直接溅射形成铬(钛)-铜双层复合金属膜。将完成以上工序的玻璃基板置于平台上，使用剥离喷嘴从上往下缓慢的喷淋有机溶剂(退胶剂，如丙酮)均匀喷洒于玻璃基板镀膜面上，使基板上的镀膜面与其充分接触，静置片刻后再用高压喷枪接上高压气体，在一定压力下，将有机溶剂(退胶剂，如丙酮)随着高压气体打在玻璃基板上，将高温保护油墨(或耐高温光刻胶)以及覆盖其上的绝缘介质膜及上电极金属膜一起剥离掉，留下没有高温保护油墨(或耐高温光刻胶)保护区域的绝缘介质膜及金属上电极膜。将玻璃基板置于有机溶剂(如丙酮等)内充分浸泡0.5～1小时，待彻底清除残留在基板上的油墨后再利用超声清洗机清洁处理该玻璃基板，最终形成金属下电极，金属上电极层状交叉，以绝缘介质层作为中间隔离薄膜型电极。
权利要求
1.一种平板显示屏电极的制备方法，它包括以下步骤(1)、制备金属下电极1)在清洁处理后的平板玻璃基板上，利用直流溅射镀制铬(钛)膜，在铬(钛)膜上直流溅射铜膜，形成铬(钛)-铜双层复合金属膜。2)用丝网印刷的方法印上抗蚀刻的保护油墨，再经过化学刻蚀处理，形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极。3)利用超声清洗机清洁处理已经形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极。其特征是它还包括以下步骤(2)、用剥离法制备绝缘层以及金属上电极1)在已经形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极的玻璃基板上，利用丝网印刷方法，在金属膜下电极正交方向上印上高温保护油墨(或耐高温光刻胶)，烘干后备用。2)在二次印刷保护油墨的玻璃基板上用溅射法镀制SiO2-Al2O3(Ta2O5)多层绝缘介质膜，其中SiO2采用射频溅射，Al2O3(Ta2O5)采用中频反应溅射。3)在双层介质膜上利用直流溅射形成铬(钛)-铜双层复合上电极金属膜。4)使用高压喷枪接上高压气体，在一定压力下，将有机溶剂(退胶剂)随着高压气体打在玻璃基板上，将高温保护油墨(或耐高温光刻胶)以及覆盖其上的双层介质膜和铬(钛)-铜双层复合上电极金属膜一同剥离掉。5)将玻璃基板置入有机溶剂中充分浸泡，彻底除去残留基板上的油墨。6)利用超声清洗机清洁处理该玻璃基板，最终形成金属下电极，金属上电极层状交叉，以介质绝缘层作为中间隔离的薄膜型电极。
2.根据权利要求1所述的一种平板显示屏电极的制备方法，其特征是所述的烘干高温保护油墨是通过在烘箱中低温烘干来实现的。
3.根据权利要求1所述的一种平板显示屏电极的制备方法，其特征是所述的烘干耐高温光刻胶是通过在烘箱中低温烘干，曝光，显影，坚膜来实现的。
4.根据权利要求1所述的一种平板显示屏电极的制备方法，其特征是所述的高温保护油墨是采用型号为BL-7072的耐高温油墨等(耐高温光刻胶型号为PSPI-H)。
5.根据权利要求1所述的一种平板显示屏电极的制备方法，其特征是所述的剥离高温油墨及覆盖其上的双层介质膜及上电极膜，可先使用玻璃喷枪从上往下缓慢地的喷淋有机溶剂(退胶剂)并均匀喷洒于玻璃基板镀膜面上，使其充分接触，静置片刻后，再用高压喷枪将它们剥离掉。
6.根据权利要求1或5所述的一种平板显示屏电极的制备方法，其特征是所述的有机溶剂(退胶剂)是丙酮。
全文摘要
本发明提供一种平板显示屏电极的制备方法，它包括制备金属下电极及用剥离法制备绝缘层以及金属上电极，本发明由于采用剥离法使得在制备电极过程中薄膜表面干净无残留，无刻胶，电极边缘整齐，绝缘性能好，从而将有效避免上下电极的短路现象，大大提高电极性能，确保产品的合格率，本发明还具有制备工艺简单，易操作，易控制等优点。
文档编号H01J9/02GK1801428SQ20041010321
公开日2006年7月12日 申请日期2004年12月31日 优先权日2004年12月31日
发明者郭太良, 林君坦, 郭明勇, 何国金, 林建光 申请人:厦门火炬福大显示技术有限公司, 福州大学