专利名称：等离子显示面板的制造方法
技术领域：
本发明是关于等离子显示面板的制造方法的技术，尤其是关于在等离子显示面板的电极形成时，改善电极形成用粘浆的涂布方法，使电极的厚度均匀的一种等离子显示面板的制造方法相关的发明。
背景技术：
一般来说，等离子显示面板的正面基板和后面基板之间的隔墙形成一个单位的单元，各个单元充满了含有氖(Ne)、氦(He)或氖和氦(Ne+He)的混合气体之类放电气体以及少量氙的惰性气体。因高电压而放电时，惰性气体发出真空紫外线(Vacuum Ultraviolet rays)，使隔墙中的荧光体发光，形成图像。这样，等离子显示面板可以实现轻而薄的特点，作为新一代显示产品而备受瞩目。
图1是表示普通等离子显示面板的结构的示意图。
如图1所示，等离子显示面板是显示图像的显示面-正面玻璃板101上，扫描电极102和维持电极103成双的形成的多个维持电极组排列分布而形成前面基板100以及与上述多个电极组相交叉，地址电极113在作为背面的后面玻璃板111上排列分布而形成的后面基板110，前、后基板保持一定距离平行结合。
为了在一个放电单元中相互放电，并维持单元发光的扫描电极102和维持电极103，即由透明ITO物质形成的透明电极(a)和由金属材料制成的总线(Bus)电极(b)构成的扫描电极102和维持电极103形成电极组。这是正面基板100部分。扫描电极102和维持电极103被限制放电电流，并使电极组之间绝缘的一个以上的上部电介质层104覆盖。为使放电条件变得容易，上部电介质层104上面形成其上部镀有氧化镁(MgO)的保护膜105。
后面基板中，为形成多个放电空间，即放电单元的长条形(或井字形)的隔墙平行排列。另外，实现地址放电，产生真空紫外线的多个地址电极113与阻隔壁112平行分布。在后面基板110的上侧面涂有R、G、B(红、绿、蓝)荧光体114，R、G、B荧光体是地址放电时，发出旨在显示图像的可视光。在地址电极113和荧光体114之间涂有可保护地址电极113的下部电介质层115。
在这种结构的等离子显示面板中，在把用于形成电极的粘浆涂在正面玻璃板或后玻璃板后，经过干燥、曝光、定影、蚀刻等过程后形成电极，如透明电极或地址电极。
在这里，在正面面板和后面板形成各自的透明电极和地址电极时，涂布电极形成用粘浆的方法一般有多种，广泛使用的具有代表性的方法有阴极真空喷镀法和网屏印刷法。
下面以涂布电极形成用粘浆的方法之一，对利用网屏印刷法涂布电极形成用粘浆的方法进行说明。
图2作为依据现有技术的实施例，是表示等离子显示面板的正面玻璃板上涂布用于形成电极的粘浆方法的示意图。
如图2a所示，在屏幕遮罩201的正面玻璃板上203利用粘浆的供给部件202，涂布形成电极的粘浆，如涂布形成透明电极的粘浆。
这样，利用粘浆供给部件202涂布形成透明电极的粘浆时，用一定的压力部件204施加物理力量，在正面玻璃板203上全部涂上形成透明电极的粘浆。
然而此种方法如图2b中所示，利用物理力量在正面玻璃板203上涂布形成透明电极的粘浆202′时，因使用一定压力手段的物理力量不均衡，将导致形成透明电极的粘浆202′以不均匀厚度涂布。电极厚度不均匀是导致等离子显示面板放电性能降低的原因。
发明内容
如上所述，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种改变现有等离子显示面板的制造方法，使电极以均匀厚度形成的等离子显示面板的制造方法。
为了实现上述目的，依据本发明的等离子显示面板的制造方法，如由透明电极和总线电极形成的扫描电极以及维持电极在正面玻璃板上排列而形成的正面面板、与上述扫描电极和维持电极交叉，后玻璃板上排列地址电极的后面面板、由上述正面面板和后面面板按一间隔组合在一起而形成的等离子显示面板的制造方法，由以下几个步骤构成为特征(a)在正面玻璃板的上部用旋转涂布的方法涂布透明电极粘浆的步骤；(b)使扫描电极和维持电极的粘浆干燥的步骤；(c)在扫描电极和维持电极的粘浆上面利用具有一定模式的遮罩曝光步骤；(d)曝光的扫描电极和维持电极定影步骤。
此时，在上述(a)步骤中，旋转涂布时，每分钟旋转次数(RPMRevolutionPer Minute)的理想数值应在140-160之间。
另外，为了实现上述目的，依据本发明的等离子显示面板的制造方法，如由透明电极和总线电极形成的扫描电极以及维持电极在正面玻璃板上排列而形成的正面面板、与上述扫描电极和维持电极交叉，地址电极排列在后面玻璃板的后面面板、由上述正面面板和后面面板按一定间隔组合在一起而形成的等离子显示面板的制造方法所述，上述后面面板的形成过程具有由以下几个步骤构成为特征(a)在后面玻璃板的上部用旋转涂布的方法涂布地址电极粘浆的步骤；(b)使上述地址电极的粘浆干燥的步骤；(c)在上述地址电极的粘浆上面利用具有一定模式的遮罩进行曝光的步骤；(d)上述曝光的地址电极定影步骤。
此时，在上述(a)步骤中，旋转涂布时每分钟旋转次数(RPMRevolution PerMinute)的理想数值应在140-160之间。
本发明的效果如上所述，本发明的等离子显示面板的制造方法中，在等离子显示面板的电极形成时，利用旋转涂布的方法涂布用于形成电极的粘浆，从而使形成电极的粘浆能以均匀的厚度涂布，形成厚度均匀的电极，从而提高等离子显示面板的放电特性。这是本发明所具有的一个良好效果。
为进一步说明本发明的上述目的、结构特点和效果，以下将结合附图对本发明进行详细的描述。
图1是表示普通等离子显示面板的结构图。
图2a和图2b作为依据现有技术的实施例，表示等离子显示面板的正面玻璃板上涂布电极形成用粘浆方法的示意图。
图3是依次表示本发明的等离子显示面板制造方法的顺序图。
图4作为本发明为实施例，表示等离子显示面板正面面板的透明电极形成过程的示意图。
图5a至图5c作为本发明为实施例，表示为说明等离子显示面板的电极形成时涂布粘浆的示意图。
附图中主要部分的符号说明500旋转涂布机 501封闭空间(Chamber)502圆形极板(plate)503圆板极板504电机具体实施方式
下面，将参照附图对本发明的等离子显示面板的制造方法的实施方式进行更加详细的说明。
图3是依次表示依据本发明的等离子显示面板制造方法的顺序图。
如图3所示，本发明的等离子显示面板的制造方法包括以下组装过程正面面板制造过程、后面面板制造过程以及将组合上述正面、后面面板的组合过程。
步骤100，首先看一下正面面板的制造过程。
步骤110，准备好材料—正面玻璃板后，在正面玻璃板上部形成多个维持电极组，即扫描电极和维持电极。
步骤120，这样，在维持电极组上形成上部电介质层。
步骤130，上部电介质层上面涂有保护维持电极组的氧化镁材质的保护膜。
步骤200，再看一下后面面板的制造过程。后面板的制造方法与正面面板的制造方法相同，准备好材料—后玻璃板。
步骤210，能够与正面面板上形成的维持电极组交叉而对向，多个地址电极安装在后面玻璃板上。
步骤220，此后，在安装地址电极的后玻璃板上面形成底部电介质层。
步骤230，在上述底部电介质层上面形成旨在划分等离子显示面板的放电单元的隔墙。
步骤230，然后，在因上述由隔墙而划分的放电单元内形成荧光体层。此后再通过干燥和烘焙等过程就可制造出正面面板和后面面板。
步骤300，这样，将制造出来的正面面板和后面面板组装在一起。
步骤400，形成了等离子显示面板。
下面将以上述制造过程中正面面板上部的透明电极形成步骤110过程为例，详细说明通过这一制造过程形成的本发明等离子显示面板的电极形成方法。
图4作为本发明实施例，是表示等离子显示面板的正面面板的透明电极形成过程的示意图。
如图4所示(同时参见图1)，对等离子显示面板的正面面板的透明电极的形成过程进行说明。
首先在(a)阶段，利用旋转涂布的方法给图像显示屏—正面玻璃板101的上部涂抹一定厚度的电极形成用粘浆，如由氧化铟和氧化锡组成的ITO粘浆。这样，ITO粘浆在正面玻璃板101上面均匀涂布，在正面玻璃板101上部表面形成透明电极膜102a、103a。
然后，在(b)阶段中，在透明电极膜102a、103a上面层压光致抗蚀剂(Photoresist)，如干膜光阻剂(Dry Film Photo Resist以下称DFR)(A)，形成感光膜。
在(c)阶段，将形成规定模式的图像遮罩(Photo mask)(B)置于DFR(A)上部，用光使DFR(A)硬化，此过程称为照相平版印刷过程(Photolithography)。
经过照相平版印刷过程的正面玻璃板在(d)阶段通过定影过程洗涤没有硬化的DFR。
然后在(e)阶段进行喷沙或蚀刻，形成规定模式的透明电极膜。
在(f)阶段清除DFR，形成用于扫描电极和维持电极的透明电极102a、103a。
下面将详细介绍这样制造的正面基板的透明电极形成过程中的(a)阶段，给正面玻璃板101上部涂布ITO粘浆的旋转涂布方法。
图5a至图5c是表示形成本发明等离子显示面板的电极时，为说明涂布粘浆方法的示意图。
首先，图5a作为本发明实施例，是表示用圆形面板方式给正面玻璃板上部涂布ITO粘浆的旋转涂布机的略图。
如图5a所示，在旋转涂布机500上设有旋转装置，旋转装置包括被固定的密封空间501和位于上述密封空间501中央、被电机504旋转的圆形极板502。在圆形极板502上面设有ITO粘浆供给装置510。
另外，圆板极板503上形成正面玻璃形状的槽，圆板极板503上部设有正面玻璃板，可以一边用与电机504相连的RPM调节器(图中未示)调整旋转次数，一边在正面玻璃板中央注入ITO粘浆，简便涂布。
图5b就是利用上述结构的旋转涂布机给正面玻璃板上涂布ITO粘浆的一个例子。
图5b为利用旋转涂布机给正面玻璃板上涂布ITO粘浆的示意图。
如图5b所示，在旋转涂布机500的圆形极板502上部设置正面玻璃板520，从正面玻璃板520中央一定间隔的地方设有ITO粘浆供给装置501。然后，从ITO粘浆供给装置501供给ITO粘浆，圆形面板502就会旋转。这样，就被所产生的离心力会从正面玻璃板520表面中央向边缘涂覆ITO粘浆，以一定厚度均匀涂布。此时，圆形极板502应被与电机504相连的RPM调节器(图中未示)以140RPM至160RPM之间动作。上述RPM(Revolution Per Minute)为每分钟旋转次数。
若说明正面玻璃板上利用旋转涂布机涂布ITO粘浆的情况，就如图5c所示。
图5c是给正面玻璃板利用旋转涂布机涂布ITO粘浆的示意图。
如图5c所示，从ITO粘浆供给装置501供给ITO粘浆，若圆形极板开始旋转，就如(a)阶段一样，ITO粘浆涂布在正面玻璃板的中央部位。在这里，圆形极板按规定的时间不停旋转，ITO粘浆从玻璃中央向四周涂布(b)。这样，圆形玻璃板按规定的时间不断旋转，ITO粘浆最后以均匀的厚度涂布在正面玻璃板(c)。
这样，涂布正面玻璃板上为形成透明电极的ITO粘浆时，利用旋转涂布的方法将ITO粘浆均匀地涂布在正面玻璃板上，最终在等离子显示面板上形成厚度均匀的透明电极，从而提高了等离子显器的放电特性。
虽未有图示，但与此道理相同，在后面玻璃板上形成地址电极时，也可以用旋转涂布的方法在后面玻璃板上涂布用于形成地址电极的粘浆，将地址电极在后面玻璃板上均匀厚度涂布，最终形成厚度均匀的地址电极，这样可提高等离子显示面板的放电特性。
由此可见，因地址电极的形成方法与透明电极的形成方法完全相同，将省略重复的说明。
本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明权利要求书的范围内。
权利要求
1.一种等离子显示面板的制造方法，如正面玻璃板上排列由透明电极和总线电极形成的扫描电极以及维持电极的正面面板、与上述扫描电极和维持电极交叉，后面玻璃板上排列地址电极的后面面板、上述正面面板和后面面板按一间隔组合在一起而形成的等离子显示面板，其特征在于所述的制造方法包括上述正面面板的形成过程是包括以下几个步骤的等离子显示面板制造方法(a)给正面玻璃板的上部用旋转涂布的方法涂布上述透明电极粘浆的步骤；(b)使上述扫描电极和维持电极粘浆干燥的步骤；(c)在扫描电极和维持电极的粘浆上面利用具有一模式的遮罩曝光的步骤；(d)定影上述曝光的扫描电极和维持电极的步骤。
2.如权利要求1所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于上述(a)步骤中，旋转涂布时，每分钟旋转次数的数值为140-160。
3.一种等离子显示面板的制造方法，如由透明电极和总线电极形成的扫描电极以及维持电极排列在正面玻璃板的正面面板、与上述扫描电极和维持电极交叉，地址电极排列在后面玻璃板上的后面面板、上述前面板和后面板按一间隔组合在一起而形成的等离子显示面板，其特征在于所述的制造方法包括上述后面面板的形成过程是包括以下几个步骤的等离子显示面板制造方法(a)给后面玻璃板的上部用旋转涂布的方法涂布地址电极粘浆的步骤；(b)使上述地址电极粘浆干燥的步骤；(c)在上述地址电极的粘浆上面，利用具有一定模式的遮罩曝光的步骤；(d)定影上述曝光地址电极的步骤。
4.如权利要求3所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于上述(a)步骤中，旋转涂布时，每分钟旋转次数的数值为140-160。
全文摘要
本发明是关于等离子显示面板的制造方法，如正面玻璃上排列由透明电极和总线电极形成的扫描电极以及维持电极的正面面板、与扫描电极和维持电极交叉，后面玻璃上排列地址电极的后面面板、由正面面板和后面面板等按一间隔组合在一起形成的等离子显示面板的制造方法，上述正面面板的形成过程包括(a)给正面玻璃上部用旋转涂布的方法涂布透明电极粘浆的步骤；(b)干燥扫描电极和维持电极粘浆的步骤；(c)利用具有一定模式的遮罩，给扫描电极和维持电极的粘浆上面曝光的步骤；(d)定影曝光的扫描电极和维持电极的步骤。本发明在形成等离子显示面板电极时，改善电极形成用粘浆的喷涂方法，使电极的厚度均匀，从而提高放电特性。
文档编号H01J9/02GK1975959SQ200510110829
公开日2007年6月6日 申请日期2005年11月28日 优先权日2005年11月28日
发明者金诗元 申请人:乐金电子(南京)等离子有限公司