专利名称：等离子显示器及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种等离子显示器及其制造方法，尤其涉及包括间隔壁的等离子显示器及其制造方法。
背景技术：
一般情况下，等离子显示器是由以碱石灰玻璃制成的前板和后板之间形成间隔壁以构成一个个单元，在各个单元内注入的氦-氙、氦-氖等惰性气体，并根据高频率电压产生放电，此时就会产生真空紫外线(vacuum ul traviolet rays)这些紫外线使单元内的荧光体发光，以实现显示图像。
图1是现有技术的等离子显示器的结构示意图。如图所示，等离子显示器是由显示图像的包括前面玻璃板的前板10和后板20以一定的间隔平行结合而成。
在前玻璃板10的下方的一个像素上有通过相互放电而维持单元发光的维持电极11、12，即由透明的ITO物质制成的透明电极11a、12a，和由金属物质制成的总线电极11b、12b，共同构成维持电极11、12。
维持电极由扫描电极11和维持电极12构成，扫描电极11上，主要提供导入信号和维持信号，维持电极12上主要提供维持信号。
在维持电极11、12上，覆盖着可控制电流并使电极之间相互绝缘的电介质层13a，电介质层13a的上面有一层有利于产生放电条件的用氧化镁MgO制成的保护层14。
在后玻璃板20上有多个放电空间，即形成放电单元的条型或并型间隔壁21呈平行排列，在与维持电极11、12交叉的部位上进行寻址放电以产生真空紫外线的多个寻址电极22。
另外，维持电极22上面有电介质层13b，在以上电介质层上面涂抹着维持放电时可释放出显示画面的可视光线的R、G、B荧光层23。
前玻璃板10和后玻璃板20依据密封工序以最高标准对烧结玻璃板(frit glass)进行可塑性结合后，再执行为排出显示板内的气体杂质的排气工序。
完成排气工序的显示器为提高等离子的放电效果，就在等离子显示器内部注氦、氖、氙等惰性气体。
这种结构的现有技术中，在后玻璃板20的寻址电极22和前玻璃板10的维持电极11、12之间产生维持放电后，接着在选择的单元内进行连续性的显示放电。
在放电时，由于产生的真空紫外线导致荧光体发光，就可显示出需要显示的图像。
此种结构的现有技术中的等离子显示器需经过大玻璃板制造工序、前显示板制造工序、后板制造工序以及组合工序等一系列的过程。下面对在等离子显示器制造工序中的显示板的制造工序进行阐述。
图2是现有技术的等离子显示器制造工序按顺序表示的工序图。
如图2所示，(a)阶段中的等离子显示器，在后玻璃板20上部上设有具有一定宽度和高度的寻址电极22，在(b)阶段中，在寻址电极22的上部设有电介质层13b，在(c)阶段中，在电介质层13b的上部设有白间隔壁21a，(d)阶段中，在白间隔壁21a的上部设有黑间隔壁21b，(e)阶段中，在黑间隔壁21b的上部涂有光刻胶30，(f)阶段中，使具有规定显示板的光掩膜32提升到光刻胶30的上部，在光的照射下，使光刻胶30硬化，这一工序被称作为曝光工序。
经过曝光工序后，通过(g)阶段显像工序，对没有硬化的光刻胶进行洗涤处理后，在(h)阶段中，如果进行蚀刻，就形成了白间隔壁21a和黑间隔壁21b。
在此之后，经过干燥处理，就形成了为防止临近单元间出现串扰现象的白间隔壁21a和黑间隔壁21b。
接着，(i)阶段中，在白间隔壁21a和黑间隔壁21b之间设有荧光层，并按规定安装在后玻璃板20上。
在如上所述的等离子显示器的制造工序中，这些结构的黑间隔壁21b结构会出现如下问题。
在发生可视光的单元内，由于黑间隔壁21b直接露出，与白间隔壁21a同时吸收其余的可视光，降低了发光效率。
一般材质的黑间隔壁21b由于介电常数高，就会增加其电容容量(capacitance)，从而导致增加电能消耗。
发明内容
本发明为解决上述问题而提供了一种等离子显示器，其黑间隔壁的宽度比白间隔壁的宽度窄，它的目的是提高画面质量，降低反射率及提高发光效果。
另外，本发明的等离子显示器及其制造方法可抑制电容容量的增加，而降低充电所需的电位电流的损失。
为了实现上述目的，本发明等离子显示器包括第1间隔壁和第1间隔壁上的第2间隔壁，其特征在于，第2间隔壁的宽度比第1间隔壁的宽度窄。
另外，第1间隔壁为白间隔壁，第2间隔壁为黑间隔壁。黑间隔壁和白间隔壁均为利用等向性湿蚀刻法进行蚀刻。白间隔壁和黑间隔壁的蚀刻率不同。
黑间隔壁为ZnO和PbO中蚀刻率大的一种。黑间隔壁的蚀刻速度为白间隔壁的蚀刻速度的1.5倍。黑间隔壁的宽度比白间隔壁的宽度小10μm。
另外，本发明的等离子显示器的制造方法，包括以下几个阶段在电介质层上，形成具有第1蚀刻率的第1间隔壁的阶段；在第1蚀刻率的第1间隔壁上，形成具有比第1蚀刻率大的第2蚀刻率的第2间隔壁的阶段；第2间隔壁上形成光刻胶的阶段；在光刻胶上利用光掩膜进行曝光处理的阶段；通过曝光形成显示板显像的阶段；通过蚀刻形成第1间隔壁和第2间隔壁的阶段。
另外，第1间隔壁为白间隔壁，第2间隔壁为黑间隔壁。黑间隔壁和白间隔壁均为利用等向性湿蚀刻法进行蚀刻。
如上所述，本发明中由于白间隔壁的宽度比黑间隔壁的宽度宽，在产生可视光的单元内，使漏出的黑间隔壁21b的大小变小，从而使吸收可视光的数量达到最低，因此，依据间隔壁21b出现发光效率低下的现象就达到最小。
另外，由于减小了介电常数较大的黑间隔壁21b的面积，介电常数的降低也就控制了电容容量的增加，从而减小了驱动期间产生的电容充电所消耗的因变向电流导致的电能损失。
图1是现有技术的等离子显示器的结构示意图；图2是现有技术的等离子显示器制造工序的顺序工序图；图3是本发明的等离子显示器的制造工序的顺序工序图。
具体实施例方式
下面将参照附图对本发明的实施例进行详细说明。
图3是本发明的等离子显示器的制造工序的顺序工序图。为了形成本发明的白间隔壁21a和黑间隔壁21b，如图所示，(a)阶段中，在后面玻璃板上部20上设有寻址电极22，在(b)阶段中，在寻址电极22的上部设有电介质层13b，在(c)阶段中，在电介质层13b的上部设有白间隔壁21a。此时，白间隔壁21a的显像物质为比黑间隔壁21b的显像物质的蚀刻率小的物质。
(d)阶段中，在白间隔壁21a的上部有黑间隔壁21b，此时，黑间隔壁21b显像物质的蚀刻率比白间隔壁21a的显像物质的蚀刻率大。因此，为调节蚀刻速度，对ZnO和PbO等蚀刻较容易的物质进行适当的调节，它的作用是由于与白间隔壁21a相比，黑间隔壁21b的蚀刻速度快1.5倍，因此，就可形成不同宽度的间隔壁。
(e)阶段中，在黑间隔壁2 1b的上部涂有光刻胶30，(f)阶段中，把形成规定的显示板的光掩膜32提升到光刻胶30的上部，再经过光的照射，使光刻胶30硬化，这一工序被称作为曝光工序。经过曝光工序后，通过(g)阶段显像工序，对没有硬化的光刻胶30进行洗涤处理。
在(h)阶段中，对白间隔壁21a和黑间隔壁21b同时进行蚀刻，同时蚀刻是利用等向性湿蚀刻(isotropic wet etching)法，原因是等向性湿蚀刻可对各种材料很容易地进行有选择性地蚀刻。
再者，现有技术中，由于对白间隔壁21a和黑间隔壁21b同时进行蚀刻，因此，白间隔壁21a的上部与黑间隔壁21b的宽度相同。
但是，本发明中，对白间隔壁21a和黑间隔壁21b的形成物质进行不同调整，且蚀刻率也不同，因此，即使对他们同时蚀刻，由于蚀刻速度有差异，因此白间隔壁21a的上面与黑间隔壁21b的宽度就会出现差异。
此时，黑间隔壁21b上面的宽度与白间隔壁21a的上面宽度相比，会小10μm左右。
之后，经过干燥后，就会形成可防止在的单元间产生的色度、亮度干扰的白间隔壁21a和黑间隔壁21b。
现有技术中，在产生可视光的单元内，黑间隔壁21b和白间隔壁21a会直接吸收不同的可视光，因而会出现发光效率低下的现象。
普通材质的黑间隔壁21b由于介电常数较高，充电时就会增加电容容量，因而导致电能过多损失。
但是，本发明中由于白间隔壁的宽度比黑间隔壁的宽度宽，在产生可视光的单元内，使漏出的黑间隔壁21b的大小变小，从而使吸收可视光的数量达到最低，因此，依据间隔壁21b出现发光效率低下的现象就达到最小。
另外，由于减小了介电常数较大的黑间隔壁21b的面积，介电常数的降低也就控制了电容容量的增加，从而减小了驱动期间产生的电容充电所消耗的因变向电流导致的电能损失。
本发明所属领域的技术人员完全可以在不偏离本项发明技术思想和必要特点，对本发明的实施例进行其它具体形式的变更。因此，以上所述的实施例是在所有方面以示例的目的而展开，并没有局限性，比起上述详细说明，本发明的范围更体现在权利要求范围，权利要求范围的思想和范围及其等价概念导出的所有变更或变化的形式应属于本发明的范围。
权利要求
1.一种等离子显示器，包括第1间隔壁和第1间隔壁上的第2间隔壁，其特征在于，第2间隔壁的宽度比第1间隔壁的宽度窄。
2.如权利要求1所述的等离子显示器，其特征在于，第1间隔壁为白间隔壁，第2间隔壁为黑间隔壁。
3.如权利要求2所述的等离子显示器，其特征在于，黑间隔壁和白间隔壁是利用等向性湿蚀刻法进行蚀刻的。
4.如权利要求2所述的等离子显示器，其特征在于，白间隔壁和黑间隔壁的蚀刻率不同。
5.如权利要求4所述的等离子显示器，其特征在于，黑间隔壁为ZnO和PbO中蚀刻率大的一种。
6.如权利要求5所述的等离子显示器，其特征在于，黑间隔壁的蚀刻速度为白间隔壁的蚀刻速度的1.5倍。
7.如权利要求2所述的等离子显示器，其特征在于，黑间隔壁的宽度比白间隔壁的宽度小10μm。
8.一种等离子显示器的制造方法，其特征在于，它包括以下几个阶段在电介质层上，形成具有第1蚀刻率的第1间隔壁的阶段；在第1蚀刻率的第1间隔壁上，形成具有比第1蚀刻率大的第2蚀刻率的第2间隔壁的阶段；第2间隔壁上形成光刻胶的阶段；在光刻胶上，利用光掩膜进行曝光处理的阶段；通过曝光形成显示板显像的阶段；通过蚀刻形成第1间隔壁和第2间隔壁的阶段。
9.如权利要求8所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，第1间隔壁为白间隔壁，第2间隔壁为黑间隔壁。
10.如权利要求8所述的等离子显示器的制造方法，其特征在于，黑间隔壁和白间隔壁均为利用等向性湿蚀刻法进行蚀刻。
全文摘要
本发明涉及一种等离子显示器及其制造方法。该等离子显示器包括第1间隔壁和第2间隔壁，第2间隔壁的宽度比第1间隔壁的宽度小。其制造方法包括以下几个阶段在电介质层上，形成具有第1蚀刻率的第1间隔壁的阶段；在第1蚀刻率的第1间隔壁上，形成具有比第1蚀刻率大的第2蚀刻率的第2间隔壁的阶段；第2间隔壁上形成光刻胶的阶段；在光刻胶上利用光掩膜进行曝光处理的阶段；通过曝光形成显示板显像的阶段；通过蚀刻形成第1间隔壁和第2间隔壁的阶段。通过本发明可降低在驱动其间发生的对电容充电所需的电能损失，从而使驱动变得更加容易。
文档编号H01J9/24GK101083192SQ20061008582
公开日2007年12月5日 申请日期2006年5月29日 优先权日2006年5月29日
发明者李勇翰 申请人:乐金电子(南京)等离子有限公司