专利名称：一种等离子刻蚀用夹紧装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光电技术领域，尤其涉及一种等离子刻蚀用夹紧装置。
背景技术：
在太阳能电池片生产过程中，经过磷扩散的硅片，不仅在硅片的表面形成了 PN 结，并且硅片的四周边缘也形成了 PN结，四周边缘的PN结会造成电池的短路，通过等离子刻蚀可以将四周边缘的N型层去除掉。为了使等离子刻蚀仅作用于硅片的四周边缘，先将多个硅片重合叠放，分别在最上面和最下面不与其他硅片接触的硅片表面上放置两块环氧树脂板，使所有的硅片只露出硅片的四周边缘，并且通过装置将环氧树脂板进行夹紧，进而使硅片与硅片之间紧密接触， 这样在对硅片的四周边缘进行等离子刻蚀的时候才不会对硅片的正反表面造成伤害。在等离子刻蚀过程中由于受到高温等离子体粒子的撞击，环氧树脂板的边缘及表面的保护漆被刻蚀掉，导致环氧树脂板边缘不平整，而且内部材质会较容易产生颗粒物。由于环氧树脂板的四周边缘和与其接触的硅片的边缘相重叠，环氧树脂板边缘的不平整会导致硅片边缘过刻，影响最终太阳能电池的效率；并且环氧树脂板内部材质产生的颗粒物漂浮在刻蚀环境中，在完成刻蚀后利用真空泵抽离等离子体的过程中，会将颗粒物一并抽入真空泵中，真空泵体内积累大量的沉积物，导致真空泵运转困难。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种等离子刻蚀用夹紧装置，以解决环氧树脂板在长期刻蚀环境下遭到损坏后降低太阳能电池效率以及环氧树脂板内部材质产生的颗粒物造成真空泵运转困难的问题。为解决上述问题，本实用新型提出了一种等离子刻蚀用夹紧装置，所述等离子刻蚀用夹紧装置包括第一夹具、与所述第一夹具形状相同的第二夹具、两个连接杆、两个紧固元件，所述第一夹具和所述第二夹具的两侧均具有孔洞，所述两个连接杆的一端分别固定在所述第一夹具的两个孔洞内，所述两个连接杆的另一端分别穿过所述第二夹具的两个孔洞，所述第二夹具通过所述紧固元件与所述两个连接杆活动连接，所述等离子刻蚀用夹紧装置还包括两个表面光滑的石英夹板，所述石英夹板能放入所述第一夹具和所述第二夹具之间，并且两个所述石英夹板分别与所述第一夹具和所述第二夹具紧密接触。优选地，所述石英夹板的厚度为6mm至8mm。优选地，所述紧固装置为螺母。优选地，两个所述石英夹板之间安置有重合叠放的多个硅片。优选地，所述石英夹板为正方体。优选地，所述石英夹板的边沿和与其接触的硅片的边沿重叠。优选地，所述等离子刻蚀用夹紧装置还包括把手，所述把手固定在所述第二夹具的上表面。[0013]与现有技术相比，本实用新型提供的等离子刻蚀用夹紧装置，通过两个表面光滑的石英夹板将多个重叠在一起的硅片夹紧，防止等离子刻蚀对硅片的正反表面造成伤害。 石英板表面光滑，不会产生缝隙，能够保证硅片的刻蚀效果良好；此外，石英板在长期使用过程中，刻蚀中的高温等离子体粒子不会对石英板造成边缘破损；更不会产生石英颗粒而保证真空泵运转正常。
图1为本实用新型实施例提供的等离子刻蚀用夹紧装置的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的石英夹板以及硅片的俯视结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的使用等离子刻蚀用夹紧装置夹紧硅片的正视结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的等离子刻蚀用夹紧装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。本实用新型的核心思想在于，提供一种等离子刻蚀用夹紧装置，通过两个表面光滑的石英夹板将多个重叠在一起的硅片夹紧，防止等离子刻蚀对硅片的正反表面造成伤害。石英板表面光滑，不会产生缝隙，能够保证硅片的刻蚀效果良好；此外，石英板在长期使用过程中，刻蚀中的高温等离子体粒子不会对石英板造成边缘破损；更不会产生石英颗粒而保证真空泵运转正常。图1为本实用新型实施例提供的等离子刻蚀用夹紧装置的结构示意图。参照图1， 所述等离子刻蚀用夹紧装置10包括第一夹具11、与所述第一夹具11形状相同的第二夹具 11’、两个连接杆12、两个紧固元件13，所述第一夹具11和所述第二夹具11’的两侧均具有孔洞(图中未示出)，所述两个连接杆12的一端分别固定在所述第一夹具11的两个孔洞内，所述两个连接杆12的另一端分别穿过所述第二夹具11’的两个孔洞，所述第二夹具11’ 通过所述紧固元件13与所述两个连接杆12活动连接，所述等离子刻蚀用夹紧装置10还包括两个表面光滑的石英夹板14，所述石英夹板14能放入所述第一夹具11和所述第二夹具 11’之间，并且两个所述石英夹板14分别与所述第一夹具11和所述第二夹具11’紧密接触。在本实施中，石英夹板14的厚度为6mm至8mm，所述紧固元件13为螺母，本领域的普通技术人员应该理解，所述紧固元件13不仅仅可以是螺母，还可以是其他能够起到紧固作用的器械结构。进一步地，所述等离子刻蚀用夹紧装置10还包括把手15，所述把手15固定在所述第二夹具11’的上表面。通过握住把手15可以将等离子刻蚀用夹紧装置10平稳放入等离子刻蚀反应室。图2为本实用新型实施例提供的石英夹板以及硅片的俯视结构示意图。参照图2， 所述石英夹板14的边沿和与其接触的硅片21的边沿重叠，在本实施例中，所述石英夹板14
4为正方体。所述石英夹板14的表面刚好能把硅片的表面完全覆盖掉。图3为本实用新型实施例提供的使用等离子刻蚀用夹紧装置夹紧硅片的正视结构示意图。参照图3，先将多个硅片21重合叠放，分别在最上面和最下面不与其他硅片21 接触的硅片21表面上放置两块石英夹板14，使所有的硅片21只露出硅片21的四周边缘， 将所有的硅片21以及两块石英夹板14放置在所述第一夹具11上，此时收紧紧固元件13 使第二夹具11’朝贴近硅片21的方向运动，夹紧石英夹板14，进一步夹紧所有的硅片21， 使硅片21与硅片21之间紧密接触，这样在对硅片21的四周边缘进行等离子刻蚀的时候才不会对硅片21的正反表面造成伤害。将等离子刻蚀用夹紧装置10连同其夹紧的多个硅片21平稳放入等离子刻蚀反应室的支架上，关好反应室的盖子，刻蚀过程在反应室内完成。石英板表面光滑，不会产生缝隙，能够保证硅片的刻蚀效果良好；此外，石英板在长期使用过程中，由于石英具有耐高温耐冲击的特性，刻蚀中的高温等离子体粒子不会对石英板造成边缘破损；更不会产生石英颗粒而保证真空泵运转正常。显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种等离子刻蚀用夹紧装置，其特征在于，包括第一夹具、与所述第一夹具形状相同的第二夹具、两个连接杆、两个紧固元件，所述第一夹具和所述第二夹具的两侧均具有孔洞，所述两个连接杆的一端分别固定在所述第一夹具的两个孔洞内，所述两个连接杆的另一端分别穿过所述第二夹具的两个孔洞，所述第二夹具通过所述紧固元件与所述两个连接杆活动连接，所述等离子刻蚀用夹紧装置还包括两个表面光滑的石英夹板，所述石英夹板能放入所述第一夹具和所述第二夹具之间，并且两个所述石英夹板分别与所述第一夹具和所述第二夹具紧密接触。
2.如权利要求1所述的等离子刻蚀用夹紧装置，其特征在于，所述石英夹板的厚度为 6mm 至 8mm0
3.如权利要求1所述的等离子刻蚀用夹紧装置，其特征在于，所述紧固装置为螺母。
4.如权利要求1所述的等离子刻蚀用夹紧装置，其特征在于，两个所述石英夹板之间安置有重合叠放的多个硅片。
5.如权利要求4所述的等离子刻蚀用夹紧装置，其特征在于，所述石英夹板为正方体。
6.如权利要求5所述的等离子刻蚀用夹紧装置，其特征在于，所述石英夹板的边沿和与其接触的硅片的边沿重叠。
7.如权利要求1至6中任一项的等离子刻蚀用夹紧装置，其特征在于，所述等离子刻蚀用夹紧装置还包括把手，所述把手固定在所述第二夹具的上表面。
专利摘要本实用新型提出的等离子刻蚀用夹紧装置包括第一夹具、与第一夹具形状相同的第二夹具、两个连接杆、两个紧固元件，第一夹具和第二夹具的两侧均具有孔洞，两个连接杆的一端分别固定在第一夹具的两个孔洞内，两个连接杆的另一端分别穿过第二夹具的两个孔洞，所述第二夹具通过紧固元件与两个连接杆活动连接，等离子刻蚀用夹紧装置还包括两个表面光滑的石英夹板，石英夹板能放入第一夹具和第二夹具之间，并且两个石英夹板分别与第一夹具和第二夹具紧密接触。本实用新型提供的等离子刻蚀用夹紧装置中的石英板在长期使用过程中，刻蚀中的高温等离子体粒子不会对石英板造成边缘破损，更不会产生石英颗粒而保证真空泵运转正常。
文档编号H01J37/32GK202067763SQ20112011828
公开日2011年12月7日 申请日期2011年4月20日 优先权日2011年4月20日
发明者张茂胜, 成品奇, 李鹏飞, 王辉, 胥健奇 申请人:江苏伯乐达光伏有限公司