一种可快速定位的炉体装卸装置的制作方法

本发明涉及半导体设备技术领域，更具体地，涉及一种可快速定位的炉体装卸装置。

背景技术：

半导体热处理设备是集成电路制造的重要工艺设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。炉体是热处理设备的核心部件，由于其质量较大且安装空间较小，所以炉体拆卸和安装时的难度比较大。为了方便完成炉体的安装与拆卸，通常会采用炉体装卸装置。

现有的炉体装卸装置一般包括：主体支架以及水平安装在主体支架顶部的前传送架、中间传送架、后传送架。其中，主体支架通常采用框架结构；前传送架、中间传送架、后传送架按直线方向依次过渡排列，用于在炉体安装和拆卸时装载及运送炉体。

安装炉体时，需要将载有炉体的炉体装卸装置先推进热处理设备的要求位置，否则会造成炉体推不进热处理设备内、或是炉体位置安装不正确的后果。拆卸炉体时，也需要先将空载的炉体装卸装置推进热处理设备的要求位置；若炉体装卸装置推进热处理设备后不在要求位置，那么当炉体移动到装卸装置上时，就容易发生倾倒事故。

现有的炉体装卸装置由于缺乏定位机构，要把载有炉体的装卸装置推进至热处理设备合理的要求位置，就必须反复调整才能达到，既浪费时间，又操作不便，导致工作效率的低下。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种可快速定位的炉体装卸装置，能够在安装或拆卸炉体时使炉体装卸装置快速准确地到达要求位置。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种可快速定位的炉体装卸装置，包括：

主体支架，其为矩形框架结构；

前传送架，一端安装在主体支架顶部的框架前端，并受驱动进行升降；

中间传送架，安装在主体支架顶部的框架两侧，并与前传送架之间形成对接；

后传送架，一端安装在主体支架顶部的框架后端，并与中间传送架之间形成对接；

炉体装卸定位机构，包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于主体支架底部的框架前端的一对滚动单元，所述限位单元设有导向板，所述滚动单元设有滚轮，两个所述导向板之间的开口大于两个所述滚轮之间的间距；

在将炉体装卸装置移向热处理设备的要求位置以进行炉体装卸时，通过先调整使两个所述滚轮位于两个所述导向板的开口之间，利用所述导向板对所述滚轮的导向作用，以使炉体装卸装置被快速准确地定位至要求位置。

优选地，所述限位单元包括：

定位底块，与热处理设备底板连接；

连接块，与定位底块连接，其具有面向滚动单元滚轮的限位端面，其决定炉体装卸装置相对于热处理设备的远近位置；

导向板，连接在连接块外侧，其具有对滚动单元滚轮进行导向的限位侧面，其最里侧决定炉体装卸装置相对于热处理设备的横向位置。

优选地，所述滚动单元包括：

定位板，与主体支架底部的框架前端连接；

定位支撑板，与定位板连接，其前端具有安装滚轮的安装面；

滚轮，水平转动安装在定位支撑板前端的安装面上；

通过限位单元的连接块限位端面以及导向板限位侧面对滚轮的正向及侧向限位，使所述炉体装卸装置正确位于热处理设备的要求位置。

优选地，所述限位侧面为斜面或弧面。

优选地，所述定位支撑板前端的安装面为水平面，并与滚轮之间具有间隙。

优选地，所述导向板采用PTFE或PA等类似材质制作。

优选地，还包括前传送架高度调整机构，安装在主体支架顶部的框架前端，所述前传送架的一端安装在前传送架高度调整机构上，并受其带动进行升降。

优选地，所述前传送架采用滚珠传动形式，所述中间传送架和后传送架采用滚轮传动形式。

优选地，还包括两个炉体固定支架，其中一个安装在前传送架高度调整机构上，另一个安装在主体支架顶部的框架后端，用于防止炉体在中间传送架上前后移动。

优选地，还包括：

安全护板，安装在主体支架的框架顶部，用于在炉体装卸时供装配人员站立以进行辅助操作；

配重块，在主体支架的框架中部位置活动设置，用于调节炉体装卸装置的重心；

地脚，安装在主体支架底部的各个角部，用于支撑主体支架和调整炉体装卸装置的高度；

脚轮，安装在主体支架底部的各个边部，其高度可调，用于移动炉体装卸装置；

插板，固定在主体支架的底部前端，用于在炉体位于后传送架上时，防止炉体装卸装置向后侧倾倒。

从上述技术方案可以看出，本发明通过在热处理设备和炉体装卸装置的对应位置之间设置炉体装卸定位机构，包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于炉体装卸装置主体支架底部的框架前端的一对滚动单元，所述限位单元设有导向板，所述滚动单元设有滚轮，两个限位单元导向板之间的开口大于两个滚动单元滚轮之间的间距；在将炉体装卸装置移向热处理设备的要求位置以进行炉体装卸时，通过先调整使两个所述滚轮位于两个所述导向板的开口之间，利用所述导向板对所述滚轮的导向作用，以使炉体装卸装置被快速准确地定位至要求位置。本发明具有结构简单、操作方便且成本较低的有益优点。

附图说明

图1是本发明一较佳实施例的一种可快速定位的炉体装卸装置结构示意图；

图2是本发明一较佳实施例的一种炉体装卸定位机构的组合状态结构示意图；

图3是图2中限位单元的结构示意图；

图4是图2中滚动单元的结构示意图。

图中：1、主体支架；2、配重块；3、前传送架高度调整机构；4、前传送架；5/8、炉体固定支架；6、安全护板；7、中间传送架；9、后传送架；10、后传送架活动支架；11、后传送架固定支架；12、地脚；13、脚轮；14、插板；15、炉体装卸定位机构；151、限位单元；1511、定位底块；1512、连接块；1513、导向板；1514、限位端面；1515、限位侧面；1516、定位底块定位孔；152、滚动单元；1521、定位板；1522、定位支撑板；1523、滚轮；1524、定位支撑板前端的安装面；1525、滚轮转轴。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。

在以下本发明的具体实施方式中，请参阅图1，图1是本发明一较佳实施例的一种可快速定位的炉体装卸装置结构示意图。如图1所示，本发明的一种可快速定位的炉体装卸装置，包括主体支架1、前传送架4、中间传送架7、后传送架9以及炉体装卸定位机构15几个主要部分。

主体支架1采用矩形框架结构，可由结构钢焊接而成，也可以由型材组装而成。前传送架4、中间传送架7、后传送架9顺序安装在主体支架1的框架结构顶部，并相互形成对接，组成装卸炉体时的传送链。并且，前传送架4的后端安装在前传送架高度调整机构3上，前传送架高度调整机构3又安装在主体支架1的顶部框架结构前端，并可受驱动进行升降。

请参阅图1。前传送架4可设有双股前端板，并沿前端板安装有多个滚珠，从而可采用滚珠传动形式传送炉体。并且，采用滚珠传动形式还可以使炉体360度自由移动，在炉体安装和拆卸时可以方便移动以使其位于要求位置。可通过设置一前传送架高度调整机构3来控制前传送架的升降，可将前传送架高度调整机构3安装在主体支架1顶部的框架前端，并将前传送架4的前端板后端安装在前传送架高度调整机构3上，前端板的前端通向热处理设备。前传送架高度调整机构3用于调整前传送架4的高度，使前传送架4的高度与中间传送架7的高度相同，以使炉体在前传送架与中间传送架过渡处(对接处)能容易推动。

中间传送架7可采用双股传送链，并整体固定在主体支架1的框架顶部两侧。中间传送架可采用滚轮形式传动，其滚轮只可以使炉体前后移动。

后传送架9可同样采用双股传送链，并同样采用滚轮形式传动，后传送架的前端固定在主体支架1顶部的框架结构后端，其后端可采用后传送架活动支架10支撑。后传送架9在非使用状态时，可放置在主体支架的下侧，以减少占用空间；放置时，后传送架9的一端可固定在主体支架1的底部结构件上，另一端可用后传送架固定支架11固定，后传送架固定支架11则固定在主体支架1上。

作为炉体装卸装置的配套结构，还可设置有：安全护板、炉体固定支架、配重块、地脚、脚轮、插板等部件。

请参阅图1。安全护板6水平安装在主体支架1的框架顶部，用于在炉体装卸时供装配人员站立以进行辅助操作。炉体固定支架5和8安装有两个，其中一个炉体固定支架5安装在前传送架高度调整机构3上，另一个炉体固定支架8则安装在主体支架1顶部的框架后端，用于防止炉体在中间传送架上前后移动。配重块2通常设置在主体支架1的框架中部位置，其在主体支架上的位置可以调整，用于调节炉体装卸装置的重心。地脚12安装在主体支架1底部的各个角部，用于支撑主体支架和调整炉体装卸装置的高度。脚轮13安装在主体支架1底部的各个边部，其高度也可以调整，将脚轮13放下时，地脚12则处于悬空状态，即可对炉体装卸装置进行移动。插板14固定在主体支架1的底部前端，当炉体位于后传送架9上时，可以防止炉体装卸装置向后侧倾倒。

安装炉体时，需要将载有炉体的炉体装卸装置先推进热处理设备的要求位置，否则会造成炉体推不进热处理设备内、或是炉体位置安装不正确的后果。拆卸炉体时，也需要先将空载的炉体装卸装置推进热处理设备的要求位置；若炉体装卸装置推进热处理设备后不在要求位置，那么当炉体移动到装卸装置上时，就容易发生倾倒事故。

因此，需要采用适当的方式，对炉体装卸装置进行定位，以便将其快速移动至要求位置，以消除上述当前存在的问题。本发明通过采用设置炉体装卸定位机构15，解决了上述现有技术中存在的定位炉体装卸装置时，必须反复调整才能达到要求位置，浪费时间，操作不便，导致工作效率低下的问题。

请继续参阅图1。炉体装卸定位机构15包括间隔安装在热处理设备底板(图略)上的一对限位单元和对应安装在主体支架1底部的框架前端的一对滚动单元。限位单元在热处理设备底板上的定位位置可根据炉体的安装位置和炉体装卸装置的宽度确定。滚动单元在炉体装卸装置上的定位位置即可得以确定。所述限位单元设有导向板，所述滚动单元设有滚轮；两个所述导向板之间的开口大于两个所述滚轮之间的间距。

在将炉体装卸装置移向热处理设备的要求位置以进行炉体装卸时，可通过先调整炉体装卸装置的相对位置，使两个所述滚轮位于两个所述导向板的开口之间，然后推动炉体装卸装置，利用所述导向板对所述滚轮的导向作用，就可以使炉体装卸装置被快速准确地定位至要求位置。

请参阅图2，图2是本发明一较佳实施例的一种炉体装卸定位机构的组合状态结构示意图。如图2所示，炉体装卸定位机构相配合设有一对限位单元151和滚动单元152(图示为其中相配合的一个限位单元和一个滚动单元)。其中，所述限位单元151设有导向板1513，所述滚动单元152设有滚轮1523；两个所述导向板1513之间的开口大于两个所述滚轮1523之间的间距，可使得两个滚轮容于两个导向板的开口之间，从而对滚轮(即炉体装卸装置)的前行方位起到引导作用。

请继续参阅图3。限位单元151主要包括定位底块1511、连接块1512、导向板1513。定位底块1511可与热处理设备底板水平连接，限位单元在热处理设备底板上的定位位置可通过定位底块上设置的不同定位孔1516进行调整确定。连接块1512与定位底块1511之间可通过螺栓竖直连接；连接块具有面向滚动单元滚轮的限位端面1514，此限位端面1514用于限制滚轮1523继续前行，从而决定了炉体装卸装置相对于热处理设备的远近位置。导向板1513可通过螺栓垂直连接在连接块1512外侧，导向板的内侧具有对滚动单元滚轮进行导向的限位侧面1515；限位侧面1515的最里侧、即其与限位端面1514之间的交界(面)处，决定了炉体装卸装置相对于热处理设备的横向位置。

所述导向板的限位侧面1515可采用斜面或弧面，或者其他可对滚轮起到导向作用的面结构。这样可在限位单元导向板的入口位置方便地调整炉体装卸装置的前行对准位置。

所述导向板1513可采用PTFE(聚四氟乙烯)或PA等类似材质制作，以减小摩擦系数，既有利于滚轮的导入，又可延长炉体装卸定位机构的使用寿命。同时，在保证导向板斜面或弧面的高度能满足与滚轮有效配合的使用要求前提下，可将导向板上与连接块的连接处切薄，以节约材料，降低成本。

请继续参阅图4。滚动单元主要包括定位板1521、定位支撑板1522、滚轮1523。定位板1521可通过安装孔与主体支架底部的框架前端竖直安装，安装位置与限位单元对应。定位支撑板1522可通过螺栓与定位板1521水平连接；定位支撑板的前端具有安装滚轮的安装面1524。滚轮1523可通过一固定轴1525水平安装在定位支撑板前端的安装面1524上，固定轴1525下端与定位支撑板1522之间可通过螺纹连接进行固定，固定轴1525上端与滚轮1523之间可采用滚珠配合形成转动连接。这样，当滚轮前行中触碰到导向板的限位侧面时，就可以自由转动。可通过在定位支撑板前端的安装面上安装一个凸轮轴承随动器、其具有圆形的滚轮，来实现上述功能。凸轮轴承随动器也可以采用其他适用的滚轮曲面结构。

在滚轮安装后，安装面1524与滚轮1523的侧面之间应留有必要的间隙，因此可将该安装面加工为水平面，并有一定的平面度要求。

通过限位单元的连接块限位端面以及导向板限位侧面对滚轮的正向及侧向限位，可以使所述炉体装卸装置正确前行并位于热处理设备的要求位置。

在不影响滚轮安装的前提下，可以去除定位支撑板的部分材料，这样可以节约材料，降低使用成本。

使用炉体装卸定位机构时，首先把限位单元通过定位底块安装到热处理装置底板上，再将滚动单元通过定位板安装到炉体装卸装置的前下端；然后推动炉体装卸装置至限位单元的导向板开口之间处，利用导向板开口度较大的便利，在限位单元的导向板开口初始位置就可以很方便地调整炉体装卸装置的相对位置，调整好后直接就可以快速准确地把炉体装卸装置推至要求位置。

本发明的上述炉体装卸装置可应用于对半导体设备热处理装置的下沉式炉体进行装卸。

综上所述，本发明通过在热处理设备和炉体装卸装置的对应位置之间设置炉体装卸定位机构，包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于炉体装卸装置主体支架底部的框架前端的一对滚动单元，所述限位单元设有导向板，所述滚动单元设有滚轮，两个限位单元导向板之间的开口大于两个滚动单元滚轮之间的间距；在将炉体装卸装置移向热处理设备的要求位置以进行炉体装卸时，通过先调整使两个所述滚轮位于两个所述导向板的开口之间，利用所述导向板对所述滚轮的导向作用，以使炉体装卸装置被快速准确地定位至要求位置。本发明具有结构简单、操作方便且成本较低的有益优点。

以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。