专利名称：掩膜板吸附组件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及镀膜加工领域，尤其涉及一种用于装载掩模板的掩膜板吸附组件。
背景技术：
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品， OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED 的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术， 且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的TFT-IXD显示屏(液晶显示屏)并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的精度要求。 OLED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射。为了使其能够全彩色显示装置，发光层应被图案化。通常发光层图案化是利用精细金属掩膜板(MASK)贴合在导电玻璃基片上，使蒸发源中的有机材料在玻璃基片上沉积为所要求的图案，要能保证使蒸发源中的有机材料在玻璃基片上沉积的图案符合要求，就必须使得掩模板与玻璃基片的贴合紧密无缝。将掩模板紧密无缝的贴合于玻璃基基片上是OLED显示屏件生产过程中涉及的基本加工步骤。现时各制造厂家大多采用磁铁矩阵结构在玻璃基片的另一侧产生磁场，利用掩模板本身是金属的特性而被该磁场所吸引，从使得掩模板贴合于玻璃基片，然而，实际生产过程中，采用磁铁矩阵结构实现对掩膜板的吸附的制造工艺复杂，且磁铁矩阵的磁力校核困难，容易产生因磁力不均而使掩膜板贴合不均。因此，亟待一种结构简单的掩膜板吸附组件，并能有效的实现掩膜板与玻璃基片的均勻无缝贴合。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种掩膜板吸附组件，该掩膜板吸附组件结构简单并能有效的实现掩膜板与玻璃基片的均勻无缝贴合。[0008]为实现上述目的，本实用新型提供一种掩膜板吸附组件，该掩膜板吸附组件包括橡胶磁板、隔板、装载基板玻璃基片以及掩膜板，所述橡胶磁板承载于所述隔板的上表面， 所述装载基板的上表面开有容纳槽，所述橡胶磁板以及隔板装载于所述容纳槽内，所述隔板的下表面与所述容纳槽的底壁相抵触，所述掩膜板紧贴所述玻璃基片的下表面，所述玻璃基片的上表面紧贴所述装载基板的下表面。所述隔板为能导磁的不锈铁。该隔板主要用于固定橡胶磁板。所述掩膜板为铁镍合金。使掩膜板被橡胶磁板吸附的性能良好。与现有技术相比，本实用新型掩膜板吸附组件的橡胶磁板磁力分布均勻，能够实现掩膜板与玻璃基片的均勻无缝贴合。通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。
图1为本实用新型掩膜板吸附组件的立体图。图2为本实用新型掩膜板吸附组件的分解图。
具体实施方式
参考图1以及图2，本实用新型提供一种掩膜板吸附组件100，该掩膜板吸附组件 100包括橡胶磁板10、隔板20、装载基板30、玻璃基片40以及掩膜板50。所述橡胶磁板10 承载于所述隔板20的上表面，所述隔板20为能导磁的不锈铁，用于固定柔软的橡胶磁板 10。所述装载基板30的上表面开有容纳槽31，所述橡胶磁板10以及隔板20装载于所述容纳槽31内，所述隔板20的下表面与所述容纳槽31的底壁相抵触，所述掩膜板50紧贴所述玻璃基片40的下表面，所述玻璃基片40的上表面紧贴所述装载基板40的下表面。所述掩膜板50为铁镍合金，被橡胶磁板10吸附的性能良好。组装本实用新型掩膜板吸附组件100时，首先把橡胶磁板10固定承载于隔板20 的上表面，接着把橡胶磁板10以及隔板20 —起装载到装载基板30上表面的容纳槽31内， 此时，隔板20的下表面与所述容纳槽31的底壁相抵触，然后把掩膜板50紧贴玻璃基片40 的下表面，最后让玻璃基片40的上表面贴紧所述装载基板40的下表面，此时，橡胶磁板10 的磁力吸附掩膜板50，使掩膜板50与玻璃基片40紧密无缝贴合。本实用新型掩膜板吸附组件的橡胶磁力板磁力分布均勻，能够实现掩膜板与玻璃基片的均勻无缝贴合。以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求1.一种掩膜板吸附组件，其特征在于，包括橡胶磁板、隔板、装载基板玻璃基片以及掩膜板，所述橡胶磁板呈具有磁性的柔性结构，所述隔板呈具有导磁性的板状结构，所述橡胶磁板承载于所述隔板的上表面，所述装载基板的上表面开有容纳槽，所述橡胶磁板以及隔板装载于所述容纳槽内，所述隔板的下表面与所述容纳槽的底壁相抵触，所述玻璃基片的上表面紧贴所述装载基板的下表面，通过所述橡胶磁板对所述掩模板的磁力作用使所述掩膜板紧贴于所述玻璃基片的下表面。
2.如权利要求1所述的掩膜板吸附组件，其特征在于，所述隔板为不锈铁材质。
3.如权利要求1所述的掩膜板吸附组件，其特征在于，所述掩膜板为铁镍合金。
专利摘要本实用新型公开了一种掩膜板吸附组件，包括橡胶磁板、隔板、装载基板玻璃基片以及掩膜板，所述橡胶磁板呈具有磁性的柔性结构，所述隔板呈具有导磁性的板状结构，所述橡胶磁板承载于所述隔板的上表面，所述装载基板的上表面开有容纳槽，所述橡胶磁板以及隔板装载于所述容纳槽内，所述隔板的下表面与所述容纳槽的底壁相抵触，所述玻璃基片的上表面紧贴所述装载基板的下表面，通过所述橡胶磁板对所述掩模板的磁力作用使所述掩膜板紧贴于所述玻璃基片的下表面。该掩膜板吸附组件使掩膜板与玻璃基片均匀无缝贴合。
文档编号C23C14/08GK201942742SQ20102063652
公开日2011年8月24日 申请日期2010年12月1日 优先权日2010年12月1日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王学敬, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司