专利名称：一种适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统。
背景技术：
化学气相沉积是一种被广泛应用于生产新型材料(如C/C、C/SiC、SiC/SiC等复合材料)的工艺方法。随着社会的发展、技术的进步，航天、航空、交通等诸多领域对化学气相沉积材料有了更高的要求，材料或制品的尺寸在向大型化发展。沉积均勻性是化学气相沉积的一个十分重要的质量指标，但是由于目前没有适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统，要保证大型(特别是高度尺寸很大)材料或制品化学气相沉积均勻性却十分困难，这就阻碍了大型化学气相沉积炉的开发，制约了大型(特别是高度尺寸很大)材料或制品的化学气相沉积。而在沉积气路系统中，排气管系统又是十分关键的器件，目前的排气管系统都不能适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均勻性的适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统。为了解决上述技术问题，本实用新型提供的适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统，喇叭状进气口连接有接气管。喇叭状进气口和接气管均由石墨材料制成。采用上述技术方案的适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统，与一般化学气相沉积炉的排气管比较，本实用新型具有以下优点1、排气管采用喇叭状进气口，收气面积大，有利于尾气的排放和气流场的稳定。2、排气管系统的进气口由大变小，有利于防止气体在管内沉积堵塞。综上所述，本实用新型是一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均勻性且结构简单、性能可靠、制造方便、成本低廉的适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统。
图1是本实用新型的剖面结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明。参见图1，喇叭状出气口 1连接有接气管2，喇叭状出气口 1和接气管2均由石墨材料制成。参见图1，图中所示排气管系统的接气管2置于沉积炉的沉积室、发热体和隔热炉胆的外面，即置于冷区，喇叭状进气口 1则置于沉积室内。沉积后的尾气由排气管系统的喇叭状出气口 1收集，再由接气管2排出。由于进气管系统自喇叭状出气口 1至接气管2其内孔尺寸由大变小，且进气端布置于冷区，有效地防止了气体在孔内沉积造成堵塞。
权利要求1. 一种适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统，其特征是喇叭状进气口(1)连接有接气管⑵。
专利摘要本实用新型为一种适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统，喇叭状进气口(1)连接有接气管(2)。本实用新型是一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均匀性且结构简单、性能可靠、制造方便、成本低廉的适用于大型化学气相沉积炉的排气管系统。
文档编号C23C16/455GK202030822SQ201020687710
公开日2011年11月9日 申请日期2010年12月29日 优先权日2010年12月29日
发明者戴煜, 羊建高, 谭兴龙 申请人:戴煜, 羊建高, 谭兴龙