专利名称：一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种旋转管的制作装置及其工艺，特别是涉及一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺。
背景技术：
自美国镀膜设备供应商开发出旋转阴极靶材，靶材的利用率由传统矩形平面靶的40%提高到80%，大量节约镀膜成本，从此旋转靶材在大面积镀膜行业得到了广泛应用。然而，制备长达4米的矩形平面靶尚且不易，而制备相同长度、直径Φ15(Γ 90πιπι的中空圆柱靶，更为不易，現有旋转SruSiSruZnAl等低熔点的靶材一般都是采用浇铸和喷涂工艺。在实际的使用过程中，存在着浇铸工艺制备的管型管不可避免晶粒的过分长大，影响镀膜的均勻性；喷涂工艺得到的管型管材料0、N含量都较高，且致密度较低，导致膜层品质与靶材寿命相对较低。由此可见，上述现有的低熔点的靶材的制作工艺，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决低熔点的靶材的制作工艺存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般工艺又未能解决上述问题，因此显然是相关业者急欲解决的问题。有鉴于上述现有的低熔点的靶材的制作工艺存在的缺陷，本发明人基于多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺，能够改进一般现有的低熔点的靶材的制作工艺，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试验，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容
本发明的主要目的在于，克服现有的低熔点靶材制作工艺存在的缺陷，而提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，所要解决的技术问题是使其可以制作带有内衬管的旋转靶材，使用具有冷却作用的环形模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，进而得到晶粒细致的旋转靶材，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。本发明的另一目的在于，提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，所要解决的技术问题是使其制作的带有内衬管的旋转靶材，晶粒细致，从而更加适于实用。本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述模具的中部设置有卡槽，所述卡槽与所述胚料管之间液密封，在所述模具的侧壁上设置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。
前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述胚料管的底部设置有法兰，通过法兰固定所述内衬管。本发明的另一目的在于，提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，所要解决的技术问题是使其制作的带有内衬管的旋转靶材，晶粒细致，从而更加适于实用。本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，应用于低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置中，包括如下步骤
A、将坩埚熔汤倒入带有内衬管的胚料管内，所述胚料管通过所述电机勻速上升，并保持模具内熔汤的在卡槽上部的高度不变；
B、从设置在模具侧壁上的入水口注入冷却水，从模具侧壁上的出水口流出。借由上述技术方案，本发明低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其方法至少具有下列优点
本发明使用具有冷却作用的模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，并减少内部缩孔的形成，进而得到缺陷较少，晶粒细致的旋转靶材。综上所述，本发明特殊结构的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的低熔点的靶材的制作工艺具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式
由以下实施例及其附图详细给出。
图1为本发明所述的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置的结构示意图。
具体实施例方式为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。请参阅图1所示，本发明较佳实施例的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具1，模具1内设置有胚料管3和内衬管2，内衬管2固定在胚料管3内，胚料管3的底部设置有法兰6，通过法兰6固定内衬管2。它还包括设置在模具1底部的电机5，电机5通过传动丝杆4与胚料管3相连接，电机5带动胚料管3上下运动。模具1的中部设置有卡槽10，卡槽10与胚料管3之间液密封，在模具1的侧壁上设置有入水口 7和出水口 8，入水口 7和出水口 8位于卡槽10的上部，入水口 7位于出水口 8的下部。本发明的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，应用于低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置中，包括如下步骤A、将坩埚9熔汤倒入带有内衬管2的胚料管3内，胚料管3通过电机5勻速上升，并保持模具1内熔汤的在卡槽10上部的高度不变；
B、从设置在模具1侧壁上的入水口7注入冷却水，从模具1侧壁上的出水口 8流出。上述如此结构构成的本发明一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺的技术创新，对于现今同行业的技术人员来说均具有许多可取之处，而确实具有技术进步性。以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，其特征在于，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。
2.根据权利要求1所述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其特征在于，所述模具的中部设置有卡槽，所述卡槽与所述胚料管之间液密封，在所述模具的侧壁上设置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。
3.根据权利要求1所述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其特征在于，所述胚料管的底部设置有法兰，通过法兰固定所述内衬管。
4.一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，其特征在于，应用于如权利要求1所述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置中，包括如下步骤A、将坩埚熔汤倒入带有内衬管的胚料管内，所述胚料管通过所述电机勻速上升，并保持模具内熔汤的在卡槽上部的高度不变；B、从设置在模具侧壁上的入水口注入冷却水，从模具侧壁上的出水口流出。
全文摘要
本发明公开了一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。本发明使用具有冷却作用的模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，并减少内部缩孔的形成，进而得到缺陷较少，晶粒细致的旋转靶材。
文档编号B22D11/00GK102554149SQ20111044178
公开日2012年7月11日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日
发明者庄世雄, 朱振华 申请人:昆山全亚冠环保科技有限公司