一种磁控溅射制备发热纤维的方法
【专利摘要】一种磁控溅射制备发热纤维的方法，其特征在于利用射频反应磁控溅射技术将远红外纳米陶瓷颗粒覆盖在普通纤维织物上，得到发热纤维织物，远红外纳米陶瓷颗粒构成的薄膜均匀的覆盖在纤维上，且与纤维较好的结合，增强了发热纤维织物的使用寿命，同时可根据该发热纤维织物的使用领域不同，精确调控远红外纳米陶瓷颗粒薄膜的厚度，易于实现工业化。
【专利说明】一种磁控溅射制备发热纤维的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及到一种新的发热纤维的制造方法，具体的说是将远红外纳米陶瓷颗粒通过磁控溅射镀膜技术紧密均匀覆盖在普通纤维织物上，使其具有极好的储热保暖功能。
【背景技术】
[0002]远红外线对人体保健原理:激活了生物大分子的活性。使生物体的分子能够被激发而处于较高振动状态。这样使激活了核酸蛋白质等生物大水分子的活性，从而发挥了生物大分子调节机体代谢、免疫等活动的功能，有利于机能的恢复和平衡，达到防病治病的目的.促进和改善血液循环。
[0003]远红外陶瓷是新型陶瓷的一个分支，与传统陶瓷采用氧化硅、氧化铝等高岭土成分组成的普通陶瓷不同，远红外陶瓷是以20余种无机化合物及微量金属或特定的天然矿石分别以不同的比例配合，再经1200?1600°C高温煅烧而成，能辐射出特定波长远红外线的特种陶瓷材料。
[0004]因此，利用远红外陶瓷粉制成的远红外纤维可用于，远红外保暖内衣、远红外功能卡、远红外医药贴布、药膏、远红外保温抑菌服、远红外涂料、远红外油漆、远红外陶瓷制品、远红外自发热、远红外建筑材料、远红外抑菌包装材料。
[0005]磁控溅射技术具有以下优点:1、沉积速度快，基材温升低，对膜层的损伤小；2、溅射所获得的薄膜与基片结合较好；3、对于大部分材料，只要能制成靶材，就可以实现溅射；
4、溅射所获得的薄膜纯度高，致密性好，成膜均匀性好；5、溅射工艺可重复性好，可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜；6、能够精确控制镀层的厚度，同时可通过改变参数条件控制组成薄膜的颗粒大小；7、不同的金属、合金、氧化物能够进行混合，同时溅射于基材上；
8、易于实现工业化。
【发明内容】
[0006]本发明的目的是提供一种磁控溅射制备发热纤维的方法，利用磁控溅射技术将远红外纳米陶瓷颗粒覆盖在普通纤维织物上，得到发热纤维织物，远红外纳米陶瓷颗粒构成的薄膜均匀的覆盖在纤维上，且与纤维较好的结合，增强了发热纤维织物的使用寿命，同时可根据该发热纤维织物的使用领域不同，精确调控远红外纳米陶瓷颗粒薄膜的厚度，易于实现工业化。
[0007]该发明的特征在于制造流程为:将远红外纳米陶瓷颗粒制成靶材，将普通纤维织物制成基片，采用射频磁控溅射设备，将远红外纳米陶瓷颗粒溅射到纤维织物制成的基片上沉积成膜，同时通过改变参数条件控制组成薄膜的颗粒大小，精确的控制镀层的厚度，经后处理之后，就制成了具有储热保暖功能的发热纤维织物。
【具体实施方式】
[0008]以下采用实施例具体说明本发明。
[0009]实施例1:
[0010]样品利用射频反应磁控溅射法在MP-3P超高真空磁控溅射设备上制备。采用远红外纳米陶瓷颗粒制成靶材，直径60_，厚度4_。采用30支普通棉纱制成的平纹织物为基片，样品制备过程中真空室气氛为纯度优于99.99%的氩气，基片与溅射靶的间距为50mm。本底真空为1.5X10_4Pa控制建设过程中的工作气压为0.75Pa。基片温度控制在室温，射频溅射功率均控制为85W，样品沉积时间I小时。
[0011]操作流程为:
[0012]基底的前处理——将载波片放在基片架上——检查设备，保证溅射室洁净——抽真空至5X10_4Pa——通入工作气体——预溅射1min——结束溅射，取出样品——织物后处理——得到发热纤维织物。
[0013]实施例2:
[0014]样品利用射频反应磁控溅射法在MP-3P型超高真空磁控溅射设备上制备。采用远红外纳米陶瓷颗粒制成靶材，直径60_，厚度3_。采用80支涤纶斜纹织物为基片，样品制备过程中真空室气氛为纯度优于99.99%的氩气，基片与溅射靶的间距为50mm。本底真空为3.5X10_4Pa控制建设过程中的工作气压为0.75Pa。基片温度控制在室温，射频溅射功率均控制为95W，样品沉积时间I小时。
[0015]操作流程为:
[0016]基底的前处理——将载波片放在基片架上——检查设备，保证溅射室洁净——抽真空至2.5 X 1^4Pa——通入工作气体——预溅射1min——结束溅射，取出样品——织物后处理——得到发热纤维织物。
[0017]应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和调整，这些改进和调整也应该视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种磁控溅射制备发热纤维的方法，其特征在于用远红外纳米陶瓷颗粒作为靶材，以普通纤维织物为基片，通过磁控溅射技术将远红外纳米陶瓷颗粒紧密均匀覆盖在普通纤维织物上，使其具有储热保暖功能。
2.根据权利要求1所述的一种发热织物的制造方法，其特征在于通过改变参数条件控制组成薄膜的颗粒大小，可以精确的控制镀层的厚度。
【文档编号】C23C14/35GK104513957SQ201310459915
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2013年9月29日 优先权日:2013年9月29日
【发明者】袁萍 申请人:无锡慧明电子科技有限公司