新型蒸镀掩膜板张紧方法
【专利摘要】本发明公开了一种新型蒸镀掩膜板张紧方法，第一步、设置掩膜板框架；第二步、在掩膜板框架的纵向上设置纵向骨架，并且张紧，然后焊接；第三步、在掩膜板框架的横向上设置横向骨架，并且张紧，然后焊接；第四步、将子掩膜板安装在铺设好横纵向骨架的掩膜板框架上，并且张紧，然后焊接；第五步、重复第四步，一直到形成一张完成的郑镀掩膜板。本发明具有以下优点：若其中一张子掩膜板上的像素出现问题，可以只将这张子掩膜板撕下来报废后，重新焊接一张新的子掩膜板，这样可以大大降低掩膜板的报废率；在掩膜板焊接之前，掩膜板框架上需要焊接细小的纵横交替的金属骨架，来支撑掩膜板，这样就避免出现因掩膜板下垂而造成的像素变形问题。
【专利说明】新型蒸镀掩膜板张紧方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及OLED显示面板的生产工艺，特别是一种新型的蒸镀掩膜板张紧方法。【背景技术】
[0002]目前市场上OLED显示屏制备中，蒸镀技术均采用精密掩膜板蒸镀技术。即将有机材料在下方加热，使材料蒸发或升华，并飞行向上，透过掩膜板设计好的缺口溅射到被蒸镀基板表面，在基板表面形成所需要的有机膜图案。OLED显示屏的分辨率越高，掩膜板的孔隙越小，尺寸要求越精密。蒸镀用掩膜板是采用金属材质的，厚度约50微米左右。然而金属材质的掩膜板本身是有自身重量的，水平放置的掩膜板在受到一定重力的作用下会发生下垂。掩膜板的尺寸越大，下垂的情况越严重。掩膜板的下垂会造成图案变形，目前高分辨率的显示屏所用的掩膜板越来越薄，最薄可以达35微米，掩膜板越薄下垂变形也就越明显；导致大量产品不良。在生产过程中，如果掩膜板有一个像素出现问题，这张掩膜板就会报废。而掩膜板本身是一种非常昂贵的工装，报废率增加会急剧提高生产成本，降低产品的市场竞争力。
【发明内容】
[0003]本发明是解决上述问题，提供一种防止掩膜板下垂变形，提高像素分辨率，同时延长掩膜板的使用寿命的蒸镀掩膜板张紧方法。
[0004]本发明的新型蒸镀掩膜板张紧方法，包括以下步骤:
[0005]第一步、设置掩膜板框架；
[0006]第二步、在掩膜板框架的纵向上设置纵向骨架，并且张紧，然后焊接；
[0007]第三步、在掩膜板框架的横向上设置横向骨架，并且张紧，然后焊接；
[0008]第四步、将子掩膜板安装在铺设好横纵向骨架的掩膜板框架上，并且张紧，然后焊接；
[0009]第五步、重复第四步，一直到形成一张完成的郑镀掩膜板。
[0010]所述第一步中的掩膜板框架包括掩膜板框架主体、凹槽和掩膜板框架对位孔；凹槽设置在掩膜板框架主体内沿上，在掩膜板框架主体的纵向左右两侧至少设置有一对掩膜板框架对位孔。
[0011]所述第二步包括以下步骤:在掩膜板框架主体上铺设至少一根纵向骨架，一对纵向张紧夹设置在纵向骨架的两端，纵向张紧夹夹紧纵向骨架，纵向张紧夹通过张紧线与纵向拉力装置相连；纵向拉力装置启动，通过拉伸张紧线使得纵向骨架张紧，然后通过纵向焊接点将纵向骨架和掩膜板框架主体焊接在一起，然后将多余的纵向骨架切割掉。
[0012]所述第三步包括以下步骤:在固定好纵向骨架的掩膜板框架主体上铺设至少一根横向骨架，一对很想张紧夹设置在横向骨架的两端，横向张紧夹夹紧横向骨架，横向张紧夹通过张紧线与横向拉力装置相连；横向拉力装置启动，通过拉伸张紧线使得横向骨架张紧，然后通过横向焊接点将横向骨架和掩膜板框架主体焊接在一起，然后将多余的横向骨架切割掉。
[0013]所述第四步包括以下步骤:将一张金属掩膜板切割成至少两张子掩膜板，将子掩膜板放置在固定好纵向骨架和横向骨架的掩膜板框架主体上，将子掩膜板上的子掩膜板对位孔与掩膜板框架对位孔对齐，三对子掩膜板张紧夹夹紧在子掩膜板的两端，子掩膜板张紧夹通过张紧线与拉力装置相连，拉力装置启动，通过拉伸张紧线使得子掩膜板张紧，当协调对位孔与光刻基板母版对位后，子掩膜板处于最佳状态，通过子掩膜板焊接点将子掩膜板和掩膜板框架主体焊接在一起，然后将对于的子掩膜板切割掉。
[0014]综上所述，本发明的蒸镀掩膜板张紧方法具有以下优点:
[0015]1、若其中一张子掩膜板上的像素出现问题，可以只将这张子掩膜板撕下来报废后，重新焊接一张新的子掩膜板，这样可以大大降低掩膜板的报废率；
[0016]2、在掩膜板焊接之前，掩膜板框架上需要焊接细小的纵横交替的金属骨架，来支撑掩膜板，这样就避免出现因掩膜板下垂而造成的像素变形问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为掩膜板框架正面结构图；
[0018]图2为掩膜板框架剖面结构图；
[0019]图3为掩膜板 框架铺设纵向骨架的演示图；
[0020]图4为掩膜板框架铺设横向骨架的演示图；
[0021]图5为掩膜板框架铺设子掩膜板的正面演示图；
[0022]图6为掩膜板框架铺设子掩膜板的剖面演示图。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的阐述。
[0024]本发明的新型蒸镀掩膜板张紧方法，包括以下步骤:第一步、设置掩膜板框架；所述第一步中的掩膜板框架包括掩膜板框架主体1、凹槽11和掩膜板框架对位孔12 ;凹槽11设置在掩膜板框架主体I内沿上，在掩膜板框架主体I的纵向左右两侧至少设置有一对掩膜板框架对位孔。第二步、在掩膜板框架的纵向上设置纵向骨架，并且张紧，然后焊接；所述第二步包括以下步骤:在掩膜板框架主体I上铺设至少一根纵向骨架2，一对纵向张紧夹21设置在纵向骨架2的两端，纵向张紧夹21夹紧纵向骨架2，纵向张紧夹21通过张紧线与纵向拉力装置22相连；纵向拉力装置22启动，通过拉伸张紧线使得纵向骨架2张紧，然后通过纵向焊接点23将纵向骨架2和掩膜板框架主体I焊接在一起，然后将多余的纵向骨架2切割掉。第三步、在掩膜板框架的横向上设置横向骨架，并且张紧，然后焊接；所述第三步包括以下步骤:在固定好纵向骨架2的掩膜板框架主体I上铺设至少一根横向骨架3，一对很想张紧夹31设置在横向骨架3的两端，横向张紧夹31夹紧横向骨架3，横向张紧夹31通过张紧线与横向拉力装置32相连；横向拉力装置32启动，通过拉伸张紧线使得横向骨架3张紧，然后通过横向焊接点33将横向骨架3和掩膜板框架主体I焊接在一起，然后将多余的横向骨架3切割掉。在掩膜板框架主体I上焊接纵向骨架2和横向骨架3是为了防止成品后的掩膜板下垂。第四步、将子掩膜板安装在铺设好横纵向骨架的掩膜板框架上，并且张紧，然后焊接；所述第四步包括以下步骤:将一张金属掩膜板切割成至少三张子掩膜板4，将子掩膜板4放置在固定好纵向骨架2和横向骨架3的掩膜板框架主体I上，将子掩膜板4上的子掩膜板对位孔与掩膜板框架对位孔12对齐，三对子掩膜板张紧夹41夹紧在子掩膜板4的两端，子掩膜板张紧夹41通过张紧线与拉力装置42相连，拉力装置42启动，通过拉伸张紧线使得子掩膜板4张紧，当协调对位孔45与光刻基板母版46对位后，子掩膜板4处于最佳状态，通过子掩膜板焊接点43将子掩膜板4和掩膜板框架主体I焊接在一起，然后将对于的子掩膜板4切割掉。所述的子掩膜板4和纵向骨架2以及横向骨架3材质均为因瓦合金、镍铁合金、镍钴合金或纯镍，厚度也一致，同时宽度同为1mm~2mm。第五步、重复第四步，一直到形成一张完成的郑镀掩膜板。
[0025]本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些 变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
【权利要求】
1.一种新型蒸镀掩膜板张紧方法，其特征在于，包括以下步骤: 第一步、设置掩膜板框架； 第二步、在掩膜板框架的纵向上设置纵向骨架，并且张紧，然后焊接； 第三步、在掩膜板框架的横向上设置横向骨架，并且张紧，然后焊接； 第四步、将子掩膜板安装在铺设好横纵向骨架的掩膜板框架上，并且张紧，然后焊接； 第五步、重复第四步，一直到形成一张完成的郑镀掩膜板。
2.如权利要求1所述的新型蒸镀掩膜板张紧方法，其特征在于:所述第一步中的掩膜板框架包括掩膜板框架主体(1)、凹槽(11)和掩膜板框架对位孔(12 );凹槽(11)设置在掩膜板框架主体(1)内沿上，在掩膜板框架主体(1)的纵向左右两侧至少设置有一对掩膜板框架对位孔。
3.如权利要求1或2所述的新型蒸镀掩膜板张紧方法，其特征在于:所述第二步包括以下步骤:在掩膜板框架主体(1)上铺设至少一根纵向骨架(2)，一对纵向张紧夹(21)设置在纵向骨架(2)的两端，纵向张紧夹(21)夹紧纵向骨架(2)，纵向张紧夹(21)通过张紧线与纵向拉力装置(22)相连；纵向拉力装置(22)启动，通过拉伸张紧线使得纵向骨架(2)张紧，然后通过纵向焊接点(23)将纵向骨架(2)和掩膜板框架主体(1)焊接在一起，然后将多余的纵向骨架(2)切割掉。
4.如权利要求3所述的新型蒸镀掩膜板张紧方法，其特征在于:所述第三步包括以下步骤:在固定好纵向骨架(2)的掩膜板框架主体(1)上铺设至少一根横向骨架(3)，一对很想张紧夹(31)设置在横向骨架(3)的两端，横向张紧夹(31)夹紧横向骨架(3)，横向张紧夹(31)通过张紧线与横向拉力装置(32)相连；横向拉力装置(32)启动，通过拉伸张紧线使得横向骨架(3)张紧，然后通过横向焊接点(33)将横向骨架(3)和掩膜板框架主体(1)焊接在一起，然后将多余的横向骨架(3)切割掉。
5.如权利要求4所述的新型蒸镀掩膜板张紧方法，其特征在于:所述第四步包括以下步骤:将一张金属掩膜板切割成至少三张子掩膜板(4)，将子掩膜板(4)放置在固定好纵向骨架(2)和横向骨架(3)的掩膜板框架主体(1)上，将子掩膜板(4)上的子掩膜板对位孔与掩膜板框架对位孔(12)对齐，三对子掩膜板张紧夹(41)夹紧在子掩膜板(4)的两端，子掩膜板张紧夹(41)通过张紧线与拉力装置(42)相连，拉力装置(42)启动，通过拉伸张紧线使得子掩膜板(4)张紧，当协调对位孔(45)与光刻基板母版(46)对位后，子掩膜板(4)处于最佳状态，通过子掩膜板焊接点(43 )将子掩膜板(4 )和掩膜板框架主体(1)焊接在一起，然后将对于的子掩膜板(4)切割掉。
【文档编号】C23C14/24GK103952666SQ201410161454
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】赵芳, 魏锋, 任海 申请人:四川虹视显示技术有限公司