蒸镀源和蒸镀装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种蒸镀源和蒸镀装置。所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。本发明中设置在蒸镀源两端位置的加热部的热功率比设置在中间位置的加热部的热功率大，因此能够补偿蒸镀源两端的热量散失，使蒸镀源内的温度分布更加均匀，从而使蒸镀材料的消耗速率更均匀，延长了蒸镀源的使用周期。
【专利说明】蒸镀源和蒸镀装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示设备制造【技术领域】，尤其涉及一种蒸镀源和蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]现有有机发光二极管(OLED)蒸镀装置中使用的蒸镀源主要有点源和线源两种，点型蒸镀源由于体积小，主要用于实验线和早期量产线中，线型蒸镀源由于能够较好地控制膜厚的均匀性，得到了广泛的应用。
[0003]目前，线型蒸镀源中的加热线的分布皆采用等间距的方式，如图1中所示，蒸镀源11中的加热线12以均匀的密度分布。然而，随着蒸镀源11的尺寸越做越大，这种方式会使其各个部位温度差异较大。这是由于蒸镀源11两端的热量散失比中间位置的热量散失要大，因此造成温度分布不均匀。在大型尺寸的线型蒸镀源中，中间温度与两端温度的差异甚至可达到30°C _40°C，这将使蒸镀材料的消耗速率不均匀，对于量产而言，会缩短蒸镀装置的使用周期。
[0004]为了达到温度分布的均匀性，现有的一种解决方法是在线型蒸镀源的两端另外多并联设置一些加热线，然而，这种解决方案会增加生产管理的风险性与复杂性。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种蒸镀源和蒸镀装置，以使蒸镀源的温度分布更加均匀，从而延长蒸镀源的使用周期。
[0006]为解决上述技术问题，作为本发明的第一个方面，提供一种蒸镀源，所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。
[0007]优选地，所述加热部为线圈，对应于所述蒸镀源的两端位置的线圈的缠绕密度大于对应于所述蒸镀源的中间位置的线圈的缠绕密度。
[0008]优选地，多个所述线圈的缠绕密度从所述蒸镀源的中间位置向所述蒸镀源的两端位置逐渐增大。
[0009]优选地，多个所述线圈关于所述蒸镀源的长度方向的中心对称。
[0010]优选地，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有多个线圈，并且，在相邻两个线圈中，靠近端部的线圈的缠绕密度是靠近中心的线圈的缠绕密度的1.5倍。
[0011]优选地，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有第一线圈、第二线圈、……、第N线圈，其中，N为大于零的自然数，并且，所述第N线圈的缠绕密度是所述第一线圈的缠绕密度的(N+l) X0.5倍。
[0012]优选地，多个所述线圈由相同导电材料制作并形成一体化结构。
[0013]优选地，所述蒸镀源还包括坩埚，所述加热件用于加热所述坩埚，所述坩埚用于放置蒸镀材料。
[0014]作为本发明的第二个方面，还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括本发明所提供的上述蒸镀源。
[0015]优选地，所述蒸镀装置还包括设置在所述蒸镀源两端外侧的反射板，所述反射板的反射面朝向所述蒸镀源设置。
[0016]本发明中设置在蒸镀源两端位置的加热部的热功率比设置在中间位置的加热部的热功率大，因此能够补偿蒸镀源两端的热量散失，使蒸镀源内的温度分布更加均匀，从而使蒸镀材料的消耗速率更均匀，延长了蒸镀源的使用周期。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。
[0018]图1是现有技术中蒸镀源的示意图；
[0019]图2是本发明实施例所提供的蒸镀源的示意图之一；
[0020]图3是本发明实施例所提供的蒸镀源的示意图之二。
[0021]在附图中，11:现有技术中的蒸镀源；12:加热线；21:本发明中的蒸镀源；22:力口热件；220:加热部；23:反射板。
【具体实施方式】
[0022]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0023]本发明首先提供一种蒸镀源，如图2中所示。所述蒸镀源21内设置有沿其长度方向分布的加热件22，加热件22包括多个串联的加热部220。其中，对应于蒸镀源21的长度方向的两端位置的加热部220的热功率大于对应于蒸镀源21的长度方向的中间位置的加热部220的热功率。例如在图2中，a、b、c分别表示相应的加热部220的长度。那么，长度为a的加热部220的热功率大于长度为c的加热部220的热功率。
[0024]本发明中设置在蒸镀源21两端位置的加热部220的热功率比设置在中间位置的加热部220的热功率大，因此能够补偿蒸镀源21两端的热量散失，使蒸镀源21内的温度分布更加均匀，从而使蒸镀材料的消耗速率更均匀，不会造成蒸镀源21内中间位置的蒸镀材料已耗尽，而两端位置蒸镀材料还剩余较多的情况，从而延长了蒸镀源21的使用周期。并且，本发明中的加热部220串联设置，与现有技术相比，不需要在蒸镀源21的两端并联设置额外的加热件，可简化蒸镀源的结构，便于在生产过程中进行管控，降低管控风险性和复杂性。
[0025]在本发明中，加热件22可以由电阻丝制成。例如，加热件22可以是金属材料制成的加热电阻丝，金属的热量传递效率较高，很适合用于制造蒸镀源21的加热件22。
[0026]具体地，加热部220为线圈，S卩，加热件22包括多个串联的线圈。对应于蒸镀源21的两端位置的线圈的缠绕密度大于对应于蒸镀源21的中间位置的线圈的缠绕密度。并且，多个所述线圈的缠绕密度从蒸镀源21的中间位置向蒸镀源21的两端位置逐渐增大。
[0027]以图2为例，当加热部220为线圈时，a、b、c分别表示各段线圈的长度。也就是说，长度为a的线圈的缠绕密度大于长度为b的线圈的缠绕密度，长度为b的线圈的缠绕密度大于长度为C的线圈的缠绕密度。
[0028]将加热部220设置为线圈不仅便于生产制造，而且能够精确控制每段线圈的缠绕密度，从而精确控制不同加热部220的热功率。
[0029]进一步地，多个所述线圈关于蒸镀源21的长度方向的中心对称。如图2中所示，长度为b的线圈和长度为a的线圈在长度为c的线圈两侧对称设置。当使用蒸镀源21进行加热时，这种对称设置能够使其内部热量及温度的分布更加均匀，不会造成蒸镀源21内中间位置的蒸镀材料已耗尽，而两端位置蒸镀材料还剩余较多的情况，从而延长了蒸镀源21的使用周期。
[0030]并且，与现有技术相比，本发明无需额外增加加热件22的数量，只需要调节各段线圈的缠绕密度，即可达到使蒸镀源21内温度均匀分布的目的，降低了生产管理的风险性和复杂性。
[0031]作为本发明的第一种【具体实施方式】，从蒸镀源21的长度方向的中心至任意一端依次设置有多个线圈，并且，在相邻两个线圈中，靠近端部的线圈的缠绕密度是靠近中心的线圈的缠绕密度的1.5倍。
[0032]作为本发明的第二种【具体实施方式】，从蒸镀源21的长度方向的中心至任意一端依次设置有第一线圈、第二线圈、……、第N线圈，其中，N为大于零的自然数，并且，所述第N线圈的缠绕密度是所述第一线圈的缠绕密度的(N+l) X0.5倍。
[0033]也就是说，如果假设位于中心处的第一线圈的缠绕密度为1，那么第二线圈的缠绕密度为1.5，第三线圈的缠绕密度是2，以此类推。
[0034]需要说明的是，本发明并不局限于以上两种实施方式。在进行蒸镀工艺时，可以根据蒸镀源21的具体尺寸、加热件22的材质、以及待蒸镀材料的挥发特性来综合确定各段线圈的具体缠绕密度，理论上可以将蒸镀源21两端位置与中间位置的温度的差异控制在1%以下。
[0035]在本发明中，可以将多个线圈分别按照各自的缠绕密度制造后再进行串联，或者，多个线圈由相同导电材料制作并形成一体化结构，只需要使相应位置的缠绕密度不同即可。也就是说，本发明中的加热件22可以是一个整体的线圈，该线圈在蒸镀源21的中间位置缠绕较松，在蒸镀源21的两端位置缠绕较密，通过调整该线圈在不同位置的缠绕密度，就能够实现使蒸镀源21内的热量均匀分布。将多个线圈制作为一体化结构能够简化加热件22的制造流程，便于生产管控。
[0036]进一步地，蒸镀源21还包括坩埚，加热件22用于加热所述坩埚，所述坩埚用于放置蒸镀材料。通常，蒸镀材料沿蒸镀源21的长度方向均匀分布，因此，当蒸镀源21内的温度分布更加均匀时，能够使蒸镀材料在各个位置的消耗速率更加均匀，从而使蒸镀源21具有更长的使用周期。
[0037]本发明还提供了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括本发明所提供的上述蒸镀源。如上所述，本发明所提供的蒸镀装置由于热量及温度分布更加均匀，因此具有较长的使用周期。
[0038]优选地，如图3中所示，所述蒸镀装置还包括设置在蒸镀源21两端外侧的反射板23，反射板23的反射面朝向蒸镀源21设置。反射板23能够将蒸镀源21两侧散失的部分热量反射回去，以降低蒸镀源21两侧的热量损失，进一步提高所述蒸镀装置中温度分布的均匀性。
[0039]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种蒸镀源，所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，其特征在于，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。
2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述加热部为线圈，对应于所述蒸镀源的两端位置的线圈的缠绕密度大于对应于所述蒸镀源的中间位置的线圈的缠绕密度。
3.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，多个所述线圈的缠绕密度从所述蒸镀源的中间位置向所述蒸镀源的两端位置逐渐增大。
4.根据权利要求3所述的蒸镀源，其特征在于，多个所述线圈关于所述蒸镀源的长度方向的中心对称。
5.根据权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有多个线圈，并且，在相邻两个线圈中，靠近端部的线圈的缠绕密度是靠近中心的线圈的缠绕密度的1.5倍。
6.根据权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有第一线圈、第二线圈、……、第N线圈，其中，N为大于零的自然数，并且，所述第N线圈的缠绕密度是所述第一线圈的缠绕密度的(N+l) X0.5倍。
7.根据权利要求2至6中任意一项所述的蒸镀源，其特征在于，多个所述线圈由相同导电材料制作并形成一体化结构。
8.根据权利要求1至6中任意一项所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括坩埚，所述加热件用于加热所述坩埚，所述坩埚用于放置蒸镀材料。
9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1至8中任意一项所述的蒸镀源。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置在所述蒸镀源两端外侧的反射板，所述反射板的反射面朝向所述蒸镀源设置。
【文档编号】C23C14/24GK104404451SQ201410784050
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年12月16日 优先权日:2014年12月16日
【发明者】黄俊淞, 叶岚凯 申请人:合肥鑫晟光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司