真空镀膜机可拆卸PlASMA电极的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，它涉及一种可拆卸式PLASMA电极。它包括第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷、可调节式电极轴、第一O型氟橡胶密封圈、O型保护套、第二O型氟橡胶密封圈，可调节式电极轴上设置有第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷，第一绝缘陶瓷外侧分别设置有第一O型氟橡胶密封圈和第二O型氟橡胶密封圈，第一O型氟橡胶密封圈与第一绝缘陶瓷配合，第二O型氟橡胶密封圈与O型保护套相配合，O型保护套右侧设置有第二绝缘陶瓷。本实用新型延长电极使用寿命。此结构因电极在后部不会污染，节约成本更好的绝缘效果。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及的是一种可拆卸式PLASMA电极，具体涉及一种真空镀膜机可拆 卸P1ASMA电极。 真空镀膜机可拆卸PIASMA电极
【背景技术】
[0002] 真空镀膜机用于在真空条件下，通过中频电源产生的电弧环境下HMDS0 (硅油） 和氩气在几千伏的高电压下反应成硅胶，并附着在前工序镀好的金属膜上起到防止氧化作 用。传统的真空镀膜机采用的电极结构如图1所示，电极D上固定有陶瓷A和陶瓷B，陶瓷 A和陶瓷B之间设置有0型圈C，此种电极结构不可拆卸，一旦损坏，需要更换整个部件，大 大增加了成本，而且绝缘效果差，使用很不方便。
【发明内容】
[0003] 针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种真空镀膜机可拆卸 P1ASMA电极，延长电极使用寿命。此结构因电极在后部不会污染，节约成本更好的绝缘效 果。
[0004] 为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：真空镀膜机可拆 卸P1ASMA电极，包括第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷、可调节式电极轴、第一 0型氟橡胶密封 圈、〇型保护套、第二〇型氟橡胶密封圈，可调节式电极轴上设置有第一绝缘陶瓷、第二绝缘 陶瓷，第一绝缘陶瓷外侧分别设置有第一 0型氟橡胶密封圈和第二0型氟橡胶密封圈，第一 〇型氟橡胶密封圈与第一绝缘陶瓷配合，第二〇型氟橡胶密封圈与〇型保护套相配合，〇型 保护套右侧设置有第二绝缘陶瓷。
[0005] 根据上述的真空镀膜机可拆卸P1ASMA电极，其中，所述的第二绝缘陶瓷外设置有 防尘保护套。
[0006] 本实用新型的有益效果：可拆卸式PLASMA电极，可以单独拆卸后清扫，可以随意 更改距离，无需整体更换，如果有部件损坏可以单独更换，节约成本，更好的绝缘效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0007] 下面结合附图和【具体实施方式】来详细说明本实用新型；
[0008] 图1为传统的真空镀膜机的电极结构示意图；
[0009] 图2为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010] 为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面 结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0011] 参照图2,本【具体实施方式】采用以下技术方案：真空镀膜机可拆卸P1ASMA电极，包 括第一绝缘陶瓷1、第二绝缘陶瓷2、可调节式电极轴4、第一 0型氟橡胶密封圈5、0型保护 套6、第二0型氟橡胶密封圈7,可调节式电极轴4上设置有第一绝缘陶瓷1、第二绝缘陶瓷 2,第一绝缘陶瓷1外侧分别设置有第一 0型氟橡胶密封圈5和第二0型氟橡胶密封圈7， 第一 〇型氟橡胶密封圈5与第一绝缘陶瓷1配合，第二0型氟橡胶密封圈7与0型保护套 6相配合，0型保护套6右侧设置有第二绝缘陶瓷2。
[0012] 值得注意的是，所述的第二绝缘陶瓷2外设置有防尘保护套3。
[0013] 本【具体实施方式】的可拆卸式PLASMA电极，可以单独拆卸后清扫，可以随意更改距 离，无需整体更换，如果有部件损坏可以单独更换，节约成本，更好的绝缘效果。
[0014] 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行 业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述 的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还 会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型 要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1. 真空镀膜机可拆卸P1ASMA电极，其特征在于，包括第一绝缘陶瓷（1)、第二绝缘陶瓷 (2)、可调节式电极轴（4)、第一 0型氟橡胶密封圈（5)、0型保护套￠)、第二0型氟橡胶密 封圈（7)，可调节式电极轴（4)上设置有第一绝缘陶瓷（1)、第二绝缘陶瓷（2)，第一绝缘陶 瓷（1)外侧分别设置有第一 〇型氟橡胶密封圈（5)和第二0型氟橡胶密封圈（7)，第一 0型 氟橡胶密封圈（5)与第一绝缘陶瓷（1)配合，第二0型氟橡胶密封圈（7)与0型保护套（6) 相配合，〇型保护套（6)右侧设置有第二绝缘陶瓷（2)。
2. 根据权利要求1所述的真空镀膜机可拆卸P1ASMA电极，其特征在于，所述的第二绝 缘陶瓷（2)外设置有防尘保护套（3)。
【文档编号】C23C14/00GK203846093SQ201420248470
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年5月15日 优先权日:2014年5月15日
【发明者】李龙哲, 夏伟, 朱小凤, 孙海澄, 周征华 申请人:上海哈呐机电设备有限公司