技术总结
本发明提供了一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，包括以下步骤：将表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材进行活化处理后，置于镀镍液中镀镍，得到镀镍Mo/Ti靶材，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。本发明通过在Mo/Ti靶材镀镍的方式，得到了一种镀镍靶材。本发明在镀镍前，将靶材进行喷砂处理，同时，以硝酸、氢氟酸与水的混合溶液作为Mo/Ti靶材表面的活化剂对靶材活化处理，保证了Mo/Ti靶材表面镀镍层的可镀性与镀镍厚度，进而通过镀镍层与焊料很好的润湿、结合，从而实现了Mo/Ti靶材与背板良好的结合。
技术研发人员：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
文档号码：201510569568
技术研发日：2015.09.09
技术公布日：2017.03.22