一种真空电镀转架及真空镀膜机的制作方法

本发明涉及真空镀膜设备，尤其涉及一种真空电镀转架及真空镀膜机。

背景技术：

真空镀膜机可以在较高的真空度下完成产品的镀膜，真空镀膜机中包括真空电镀转架，现有的真空电镀转架如图1和图2所示，在公转盘1′上设置行星轴31′，行星轴31′上设置爪盘32′，在两个爪盘32′的凸出部321′之间固定有挂杆33′，挂杆33′上挂接产品4′，通过驱动装置驱动公转盘1′转动，带动行星轴31′、爪盘32′以及挂杆33′绕公转盘1′的转动中心转动，产品4′在转动过程中完成镀膜。此种真空电镀转架的每个行星轴31′上只能有效利用一个爪盘32′，装载量太小，生产效率比较低。

技术实现要素：

本发明的第一目的在于提出一种真空电镀转架，一个自转轴上可以有效利用多个爪盘，装载量大，生产效率提高，节约了镀膜材料，且可以形成自转，镀膜均匀。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种真空电镀转架，包括公转盘，所述公转盘可绕公转中心转动，所述公转盘绕公转中心呈圆形均匀分布有多根自转轴，每根所述自转轴上可转动的设置有自转盘，所述自转盘绕自转轴圆形均匀分布有多根卫星轴，每根所述卫星轴上均穿设有用于固定产品的爪盘，所述自转盘的底部固定有驱动齿轮，所述公转中心处固定有固定齿轮，所述固定齿轮与所述驱动齿轮啮合；镀膜时，驱动装置带动公转盘转动，所述自转盘跟随公转盘绕公转中心转动，同时驱动齿轮与固定齿轮啮合转动，带动自转盘、卫星轴及爪盘绕自转轴转动。

其中，所述公转盘的数量为两个，两个所述公转盘相对设置且通过固定杆固定，所述自转轴的两端分别固定于两个所述公转盘，所述自转轴上还穿设有旋转盘，所述旋转盘与所述自转盘相对设置，所述卫星轴的两端分别固定于所述自转盘和所述旋转盘。

其中，所述爪盘包括至少两个向外凸出的用于连接产品的凸出部。

其中，所述卫星轴上至少固定有两个所述爪盘，同一卫星轴上相距最远的两个所述爪盘的对应的凸出部之间固定有用于挂接产品的挂杆。

其中，沿所述挂杆设置有多个挂接部，所述产品挂接于所述挂接部。

其中，所述凸出部绕所述卫星轴均匀分布。

其中，所述自转盘和所述驱动齿轮同轴且通过中间轴固定，所述中间轴穿过所述公转盘且与所述公转盘通过轴承连接。

其中，所述固定齿轮与所述驱动齿轮均位于所述公转盘的同一侧，所述公转盘的外周面设置有齿轮，驱动装置与所述公转盘的外周面的齿轮啮合，以驱动所述公转盘转动。

其中，所述卫星轴的数量为3-6根，所述自转轴的数量为5-7根。

本发明的第二目的在于提出一种真空镀膜机，一个自转轴上可以有效利用多个爪盘，装载量大，生产效率提高，节约了镀膜材料，且可以形成自转，镀膜均匀。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种真空镀膜机，包括上述的真空电镀转架。

有益效果：本发明提供了一种真空电镀转架及真空镀膜机。真空电镀转架包括公转盘，所述公转盘可绕公转中心转动，所述公转盘绕公转中心呈圆形均匀分布有多根自转轴，每根所述自转轴上可转动的设置有自转盘，所述自转盘绕自转轴圆形均匀分布有多根卫星轴，每根所述卫星轴上均穿设有用于固定产品的爪盘，所述自转盘的底部固定有驱动齿轮，所述公转中心处固定有固定齿轮，所述固定齿轮与所述驱动齿轮啮合；镀膜时，驱动装置带动公转盘转动，所述自转盘跟随公转盘绕公转中心转动，同时驱动齿轮与固定齿轮啮合转动，带动自转盘、卫星轴及爪盘绕自转轴转动。每根卫星轴都可以有效利用一个爪盘，通过设置多根卫星轴，一个自转轴上可有效利用多个爪盘，提升了真空电镀转架中的产品的装载量和生产效率，由于一次可以对更多的产品镀膜，每次的镀膜材料用量不变，可以节约镀膜材料，且卫星轴可以绕自转轴旋转，自转盘可以形成自转，带动产品既参与公转也参与自转，镀膜更均匀。

附图说明

图1是现有技术提供的真空电镀转架的结构示意图一。

图2是现有技术提供的真空电镀转架的结构示意图二。

图3是本发明的实施例1提供的真空电镀转架的结构示意图。

图4是本发明的实施例1提供的真空电镀转架的部分结构示意图。

图5是图4的A处的局部放大图。

其中：

1-公转盘，11-固定杆，21-自转轴，22-自转盘，23-旋转盘，31-卫星轴，32-爪盘，321-凸出部，33-挂杆，4-产品，1′-公转盘，11′-固定杆，31′-自转轴，32′-爪盘，321′-凸出部，33′-挂杆，4′-产品。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

实施例1

如图3-5所示，本实施例提供了一种真空电镀转架，包括公转盘1，公转盘1可绕公转中心转动，公转盘1绕公转中心呈圆形均匀分布有多根自转轴21，每根自转轴21上可转动的设置有自转盘22，自转盘22绕自转轴21圆形均匀分布有多根卫星轴31，每个卫星轴31上均穿设有用于固定产品4的爪盘32，爪盘32包括至少两个向外凸出的用于连接产品4的凸出部321，自转盘22的底部固定有驱动齿轮，公转中心处固定有固定齿轮，固定齿轮与驱动齿轮啮合；镀膜时，驱动装置带动公转盘1转动，自转盘22跟随公转盘1绕公转中心转动，同时驱动齿轮与固定齿轮啮合转动，带动自转盘22、卫星轴31及爪盘32绕自转轴21转动。本实施例中，每根卫星轴31都可以有效利用一个爪盘32，与现有技术中，直接在公转盘1′上均布爪盘32′相比，通过设置多根自转轴21，再绕自转轴21设置多根卫星轴31，则在一个自转轴21上可有效利用多个爪盘32，而通过调整尺寸，一个自转轴21及环绕其设置的卫星轴31和爪盘32，占据的空间并未比现有技术中的爪盘32′大较多，即使使用了略小的爪盘32，单个爪盘32上固定产品4的数量减少，但是由于一根自转轴21周围设置有多根自转轴31和爪盘32，从整体上仍然翻倍的提升了真空电镀转架中的产品4的装载量和生产效率。由于一次可以对更多的产品4镀膜，而每次的镀膜材料用量不变，现有技术中未能用掉的镀膜材料都随着排出而被浪费，本实施例的电镀转架的产品4的装载量翻倍后，每次同样用量的镀膜材料可以完成更多产品的镀膜，因此可以节约镀膜材料。且卫星轴31可以绕自转轴21旋转，自转盘22可以形成自转，产品4在镀膜过程中，一方面随着自转盘22绕自转轴21转动，不断在公转盘1的内侧和外侧循环，同时又随着公转盘1转动，运动到整个公转盘1的不同位置，，经过整个公转的循环后，单个产品4的镀膜更均匀，且不同的产品4由于不断循环转动，其镀膜的一致性也很好。具体而言，本实施例的公转盘1上设置有6个自转盘21，每个自转盘21上设置有4个卫星轴31，每个卫星轴31上设置有两个爪盘32，爪盘32上设置有4个凸出部321，即本实施例采用的是4爪爪盘，与现有技术的具有6个凸出部321′的爪盘32′相比，少了两个凸出部321，这是由于环绕一个自转轴21设置多个爪盘32后，为了避免各个爪盘32之间干涉，通过减少凸出部321的数量，保持整个结构的大小基本一致。事实上，由于产品4呈挂接的形式，每个卫星轴31都只能有效利用一个爪盘32，其余爪盘32起固定的作用，与现有的8个自转轴、爪盘6设置有6个凸出部321相比，在不考虑每个凸出部321上挂载的产品4的数量时，本实施例的产品4的装载量为6×4×4＝96个，现有的装载量为8×6＝48个，而现有技术的每个凸出部321上挂接的产品的数量与本实施例的凸出部321的产品的数量一致。因此，在本实施例的总的占据空间与现有的结构的占据空间一致时，装载量可以翻倍，极大的提高了生产效率，同时节约了镀膜材料，在相同的生产任务的要求下可以减少设备的投入。

本实施例中，两个公转盘1相对设置且通过固定杆11固定，自转轴21的两端分别固定于两个公转盘1，自转轴21上还穿设有旋转盘23，旋转盘23与自转盘22相对设置，卫星轴31的两端分别固定于自转盘22和旋转盘23。旋转盘23、卫星轴31和自转盘22三者形成稳定的结构，旋转盘23不需要通过其他结构支撑，结构简单可靠，在自转盘22自转时，通过卫星轴31带动旋转盘23转动，转动平稳。卫星轴31的两端均可以分别和自转盘22、旋转盘23焊接固定，也可以是通过螺纹连接或者通过螺母等方式固定。卫星轴31上至少固定有两个爪盘32，同一卫星轴31上相距最远的两个爪盘32的对应的凸出部321之间固定有用于挂接产品4的挂杆33。本实施例的同一卫星轴31上设置了两个爪盘32，分别靠近自转盘22和旋转盘23，如果对挂杆33进一步加固，也在中间位置再设置爪盘32，对挂杆33的中心部位进一步加固，提高其稳定性。挂杆33和凸出部321之间可以通过焊接或者通过螺纹连接等方式固定。对于在中心部位加固的爪盘32，作为比较优选的实施方式，可以在凸出部321上开设通孔，在挂杆33上设置螺纹，而在凸出部321的正面和反面均设置调节螺母，通过调节螺母调节，将凸出部321调整到挂杆33上比较合适的位置后，锁定正面和反面的调节螺母，将凸出部321的位置锁定。挂杆33上设置有挂接部，产品4挂接于挂接部，可以有效提高在高度方向的利用率，此种挂接结构，每个凸出部321对应的挂接的产品的数量是确定的，因此，即使同一卫星轴31上设置多个爪盘32，真正有效利用也只有一个，其余爪盘32用于定位和加固卫星轴31。

综合考虑公转盘1的大小的限制，卫星轴31的数量可以为3-6根，自转轴21的数量可以为5-7根，凸出部321的数量可以设置为3-5个，此时结构布置比较合理，兼顾了生产质量和生产效率，减少材料浪费。凸出部321绕卫星轴31均匀分布，可以使得每个凸出部321对应的挂杆33上的产品4受热一致，提高产品4的一致性。

为了便于驱动自转盘22转动，自转盘22和驱动齿轮同轴且通过中间轴固定，中间轴穿过公转盘1且与公转盘1通过轴承连接，驱动齿轮位于公转盘1的下方，不影响公转盘1上方的产品4的镀膜。固定齿轮与驱动齿轮均位于公转盘1的同一侧，即公转盘1的下方，公转盘1的外周面设置有齿轮，驱动装置与公转盘1的外周面的齿轮啮合，以驱动公转盘1转动，本实施例的固定齿轮和驱动齿轮均设置于下面的公转盘1的下方，即真空电镀转架的驱动装置均位于公转盘1的下方，不影响公转盘1上分的产品4的镀膜和各个运动机构的运动。公转盘1呈环形中空结构既节约材料，减轻重量，也便于对下方的固定齿轮和驱动齿轮等检修。

实施例2

本实施例提供了一种真空镀膜机，包括上述的真空电镀转架。每根卫星轴31都可以有效利用一个爪盘32，与现有技术中，直接在公转盘1′上均布爪盘32′相比，通过设置多根自转轴21，再绕自转轴21设置多根卫星轴31，则在一个自转轴21上可有效利用多个爪盘32，而通过调整尺寸，一个自转轴21及环绕其设置的卫星轴31和爪盘32，占据的空间并未比现有技术中的爪盘32′大较多，即使使用了略小的爪盘32，单个爪盘32上固定产品4的数量减少，但是由于一根自转轴21周围设置有多根自转轴31和爪盘32，从整体上仍然翻倍的提升了真空电镀转架中的产品4的装载量和生产效率，。由于一次可以对更多的产品4镀膜，而每次的镀膜材料用量不变，现有技术中未能用掉的镀膜材料都随着排出而被浪费，本实施例的电镀转架的产品4的装载量翻倍后，每次同样用量的镀膜材料可以完成更多产品的镀膜，因此可以节约镀膜材料。，且卫星轴31可以绕自转轴21旋转，自转盘22可以形成自转，产品4在镀膜过程中，一方面随着自转盘22绕自转轴21转动，不断在公转盘1的内侧和外侧循环，同时又随着公转盘1转动，运动到整个公转盘1的不同位置，带动产品既参与公转也参与自转，经过整个公转的循环后，单个产品4的镀膜更均匀，且不同的产品4由于不断循环转动，其镀膜的一致性也很好。

在实际作业时，真空镀膜机的蒸发时间为t1，公转盘旋转一周的时间为t2，自转盘旋转一周的时间为t3，t2与t3的最小公倍数为t4，设定t1＝n×t4，其中，n为不小于1的整数。此时，每个蒸发时间t1内，都能获得完整的公转和自转，确保每个产品的作业条件相同，保证了产品的一致性。

以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。