技术总结
一种自清洁用氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，包括如下步骤：（1）清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；（2）采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀，使所述玻璃基片表面具有凹凸不平的微结构；（3）采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面的微结构上沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到具有光催化作用的薄膜。本发明采用反应离子束技术对玻璃基片表面进行刻蚀，使玻璃基片表面具有凹凸不平的微结构，然后在玻璃基片表面上运用磁控溅射技术沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到具有更大的比表面积的薄膜，提高了薄膜光催化的效率。
技术研发人员：彭寿;马立云;杨勇;姚婷婷;金克武;李刚;沈洪雪;王天齐;甘治平;徐根保
受保护的技术使用者：蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司
文档号码：201611188592
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2017.05.10