技术总结
本实用新型涉及一种钙钛矿薄膜的蒸发设备，包括分开设置的蒸发系统和沉积系统，蒸发系统和沉积系统通过蒸汽通道相互连通，蒸发系统包括沉积腔体，在沉积腔体内设置有放置待沉积基板的沉积支架，在沉积腔体的蒸汽通道进入口与待沉积基板之间设置有网筛，在网筛上设置有多个便于蒸汽通过的通孔，蒸发系统蒸发的蒸汽通过蒸汽通道进入沉积腔体，并经过网筛的通孔后均匀地分布在待沉积基板的表面上。本实用新型将蒸发系统和沉积系统分置于不同的腔室，且可以单独控制蒸发系统和基板所在沉积系统的腔室温度。另一方面，在沉积腔体里设置了网筛，使进入沉积腔体的蒸汽均匀分布，使每个基板接触到的气流相同，改善了成膜质量。
技术研发人员：姚冀众;颜步一
受保护的技术使用者：杭州纤纳光电科技有限公司
文档号码：201620938954
技术研发日：2016.08.25
技术公布日：2017.02.22