掩膜板支撑组件及掩膜装置的制作方法

本实用新型涉及有机显示器件制造技术领域，特别是涉及一种掩膜板支撑组件及掩膜装置。

背景技术：

在平板显示领域中，有机电致发光(OLED，Organic Light-Emitting Diode)器件具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器的新兴应用技术。其中，主动式OLED(Active Martix OLED，AMOLED)，通过在每个像素中集成薄膜晶体管(TFT)和电容器，并由电容器维持电压的方法进行驱动，实现了显示面板的大尺寸及高分辨率，成为当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。

目前，AMOLED在产品实现方面，需要使用掩膜装置对玻璃基板进行蒸镀，掩膜装置包含框架、支撑条、精细掩膜条以及遮挡条等众多组件。在蒸镀过程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色是AMOLED产生混色的主要原因，直接影响了AMOLED量产良率的大小。

技术实现要素：

基于此，有必要针对玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色的技术问题，提供一种掩膜板支撑组件及包含所述掩膜框架的掩膜装置。

一种掩膜板支撑组件，包括支撑框架及若干支撑条，所述支撑条设置于所述支撑框架上，所述支撑框架包括至少两个相对设置的支架，相对设置的两个所述支架分别具有支撑面，两个所述支撑面靠近所述支撑框架的中部的一侧分别开设有若干凹槽，且两个所述支撑面的所述凹槽一一对齐，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述支撑条对齐于两个对齐的所述凹槽所在的直线。

在其中一个实施例中，所述凹槽包括第一槽部和第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部连通，所述第一槽部具有第一槽底，所述第二槽部具有第二槽底，所述第一槽底与所述支撑面平行，所述第二槽底靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐向所述支撑面倾斜。

在其中一个实施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之间的夹角为钝角。

在其中一个实施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之间的夹角为140°～160°。

在其中一个实施例中，所述第二槽底与所述支撑面的连接处设置为曲面结构。

在其中一个实施例中，所述支撑条垂直于所述支架。

在其中一个实施例中，所述支撑面上设置有若干凸起部，所述凸起部设置于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述凸起部对齐于一所述凹槽，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述凸起部上。

在其中一个实施例中，同一所述支撑面上的所述凸起部凸起于所述支撑面的高度相异。

在其中一个实施例中，同一所述支撑面上的所述凸起部凸起于所述支撑面的高度相同。

一种掩膜装置，包括多根精细掩膜条、多根遮挡条及上述任一实施例中所述的掩膜板支撑组件，所述精细掩膜条及所述遮挡条设置于所述支撑框架上，且一所述遮挡条设置于两个所述精细掩膜条之间。

上述掩膜板支撑组件及掩膜装置，所述掩膜板支撑组件中，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，抬高了玻璃基板在竖直方向上相对于支撑面的高度，抬高的高度弥补玻璃基板在竖直方向上的下垂量，从而很好地减小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成的间隙，从而避免了玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色。

附图说明

图1为一个实施例中掩膜板支撑组件的结构示意图；

图2为图1中A处的放大图；

图3为一个实施例中凹槽的局部结构示意图；

图4为一个实施例中掩膜装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

此外，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。

例如，一种掩膜板支撑组件，包括支撑框架及若干支撑条，所述支撑条设置于所述支撑框架上，所述支撑框架包括至少两个相对设置的支架，相对设置的两个所述支架分别具有支撑面，两个所述支撑面靠近所述支撑框架的中部的一侧分别开设有若干凹槽，且两个所述支撑面的所述凹槽一一对齐，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，每一所述支撑条的两端分别至少部分抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，且每一所述支撑条对齐于两个对齐的所述凹槽所在的直线。

请一并参阅图1及图2，一实施例的掩膜板支撑组件10，包括支撑框架100及若干支撑条200，支撑条200设置于支撑框架100上。在蒸镀过程中，所述支撑框架及所述支撑条用于支撑玻璃基板。

支撑框架100包括两对相对设置的支架110，相对设置的两个支架110分别具有支撑面120，两个支撑面120靠近支撑框架100的中部的一侧分别开设有若干凹槽130(被支撑条120遮挡)，且两个支撑面120的凹槽130一一对齐，凹槽130的深度由靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐减小，每一支撑条200的两端分别抵接于支撑面120远离凹槽130的一侧，且每一支撑条200对齐于两个对齐的凹槽130所在的直线。

凹槽130包括第一槽部131和第二槽部132，第一槽部131和第二槽部132连通，第一槽部131具有第一槽底133，第二槽部132具有第二槽底134，第一槽底133与支撑面120平行，第二槽底134靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐向支撑面120倾斜，即当支撑框架100水平放置时，支撑面120水平设置，这时，第一槽部131在竖直方向上的平均深度大于第二槽部132在竖直方向上的平均深度，第二槽底134靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐向上倾斜。

需要说明的是，在蒸镀过程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色是AMOLED产生混色的主要原因，直接影响了AMOLED量产良率的大小。

所述边缘混色具体是指：当玻璃基板放置在所述掩膜板支撑组件上，玻璃基板与支撑框架的支撑面抵持时，玻璃基板由于自身重力在竖直方向上产生下垂形变，所述支撑框架到所述玻璃基板中心方向上的距离为1.5cm～2cm位置处产生的下垂形变，导致所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成间隙，所述间隙导致的混色被称为边缘混色。

为了更好地解决上述边缘混色的问题，掩膜板支撑组件10中，每一支撑条200的两端分别抵接于支撑面120远离凹槽130的一侧，且每一支撑条200对齐于两个对齐的凹槽130所在的直线，即，每一所述支撑条的两端分别设置于所述支撑面上，所述支撑条面向所述支撑面的一面覆盖所述凹槽，且所述支撑条的两端沿远离所述凹槽的方向延伸。传统的掩膜板支撑组件中，由于支撑条设置于凹槽内，致使支撑条背向支撑面的一面在竖直方向上高度低于支撑面，而本实施例的所述支撑条背向所述支撑面的一面在竖直方向上高于所述支撑面，相当于在竖直方向上抬高了所述支撑条相对于支撑面的高度。当玻璃基板放置在掩膜板支撑组件10上时，支撑框架100及支撑条200共同支撑玻璃基板，玻璃基板与支撑框架100的支撑面120抵持时，支撑条200的中部由于承受玻璃基板的重力而在竖直方向上产生向下的弯曲形变，支撑条200靠近玻璃基板的部分被压入凹槽130内，凹槽130的深度由靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐减小，具体地，第二槽底134靠近支撑框架100的中部的一端向靠近支撑框架100外侧的一端逐渐向支撑面120倾斜，第二槽底134对支撑条200起到很好的支撑作用，也避免了支撑条200设置于支撑面120上，造成支撑面120的表面出现凹凸不平，进而导致玻璃基板出现形变的问题发生。这样，每一所述支撑条的两端分别设置于所述支撑面上，在竖直方向上抬高了所述支撑条相对于所述支撑面的高度，进而抬高了玻璃基板在竖直方向上相对于所述支撑面的高度，抬高的高度弥补了玻璃基板在竖直方向上的下垂量，从而，很好地缩小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成间隙的间隙值，较好地解决了玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色这一技术问题。

上述掩膜板支撑组件中，每一所述支撑条的两端分别抵接于所述支撑面远离所述凹槽的一侧，所述凹槽的深度由靠近所述支撑框架的中部的一端向靠近所述支撑框架外侧的一端逐渐减小，抬高了玻璃基板在竖直方向上相对于所述支撑面的高度，抬高的所述高度用于弥补玻璃基板在竖直方向上的下垂形变，从而，很好地减小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成的间隙，较好的解决了玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色这一技术问题。

为了使得所述凹槽对所述支撑条起到更好的支撑作用，请参阅图3，例如，第一槽底133和第二槽底134之间的夹角θ为钝角。又如，第一槽底133和第二槽底134之间的夹角θ设置为140°～160°。由于第一槽底133与支撑面120平行，第一槽底133和第二槽底134之间的夹角即为第二槽底134与支撑面120之间的夹角，亦即，第二槽底134相对于支撑面120的倾斜角度，这样，当夹角θ为钝角时，第二槽底134相对于支撑面120的倾斜角度较大，能够为支撑条提供更大面积的支撑表面，使得所述凹槽对所述支撑条起到更好的支撑作用。进一步地，又如，第二槽底134与支撑面120的连接处设置为曲面结构，这样，当支撑条200靠近玻璃基板的部分被压入凹槽130内时，能够在第二槽底134与支撑面120的连接处为支撑条200提供缓和的接触表面，使得所述凹槽对所述支撑条起到更好的支撑作用。

为了进一步缩小了玻璃基板与精细掩膜条之间在边缘处形成的间隙，请参阅图3，例如，支撑面120上设置有若干凸起部121，凸起部121设置于支撑面120远离凹槽130的一侧，且每一凸起部121对齐于一凹槽130，每一支撑条的两端分别抵接于凸起部121上。这样，在竖直方向上进一步抬高了所述支撑条相对于所述支撑面的高度，进而进一步抬高了玻璃基板在竖直方向上相对于所述支撑面的高度，抬高的所述高度用于弥补玻璃基板在竖直方向上的下垂形变，从而，进一步缩小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成的间隙。此外，所述凸起部凸起于所述支撑面的高度根据不同的工艺条件能够进行调整，例如，当所述凸起部凸起于所述支撑面的高度设定为预设高度，使得所述支撑条的中部由于承受玻璃基板的重力而在竖直方向上产生向下的弯曲形变，所述支撑条靠近玻璃基板的部分被压入所述凹槽内时，所述支撑条靠近玻璃基板的部分所在的平面与所述支撑面平齐。这样，进一步缩小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处形成的间隙。

例如，所述凸起部与所述支撑面一体成型，使得多个所述凸起部的位置更加精准。例如，同一所述支撑面上的所述凸起部的高度相同或相异；又如，同一所述支撑面上的各所述凸起部凸起于所述支撑面的高度相异；又如，同一所述支撑面上的各所述凸起部凸起于所述支撑面的高度相同，使得所述凸起部的设计能够根据不同的工艺进行调整，拓展所述掩膜板支撑组件的使用范围。又如，所述凸起部具有接触面，每一所述支撑条的两端分别抵接于所述接触面上，又如，所述接触面为矩形，又如，所述接触面为圆形，使得所述凸起部能够为所述支撑条提供较大的抵接表面。

为了提高所述支撑条与所述支撑面连接的牢固度，例如，所述支撑条焊接在所述支撑面上。又如，所述支撑条与所述支撑面之间设置有胶黏层，所述支撑条通过所述黏胶层与所述支撑面固定连接。这样，能够提高所述支撑条与所述支撑面连接的牢固度。

为了提高所述掩膜板支撑组件的结构紧凑度，例如，所述支撑框架为矩形，所述支撑框架包括两组相对设置的支架，即每组支架包括两个支架，每组支架中的两个支架相互平行，一组支架垂直于另一组支架，四个支架首尾连接形成矩形的支撑框架。又如，该支撑框架为多边形，该支撑框架为正多边形，该正多边形的支撑框架具有多组支架，每组的两个支架相互平行且相对设置。又如，该支撑框架为圆形，该支撑框架包括多段首尾连接弧形架，例如，多段弧形架一体连接，相对设置的两段弧形架上设置有支撑条。又如，所述支撑条垂直于所述支架。又如，每一所述支撑面的多个所述凹槽间隔设置。又如，多根所述支撑条平行设置。又如，多根所述支撑条间隔设置。又如，多根所述支撑条之间的间隔距离相等。又如，多根所述支撑条纵向平行设置于所述支撑面上。又如，多根所述支撑条横向平行设置于所述支撑面上。这样，能够提高所述掩膜板支撑组件的结构紧凑度。

请参阅图4，掩膜装置20，包括多根精细掩膜条300、多根遮挡条400及上述任一实施例中所述的掩膜板支撑组件10，精细掩膜条300及遮挡条400设置于支撑框架100上，且遮挡条400设置于两个精细掩膜条300之间。

具体地，支撑框架100包括第一组支撑件101及第二组支撑件102，第一组支撑件101包括两个相对设置的支架110，相对设置的两个支架110分别具有支撑面120，每一支撑条200的两端分别抵接于支撑面120远离凹槽130的一侧；第二组支撑件102包括两个相对设置的支架103，相对设置的两个支架103分别具有支撑面104，每一精细掩膜条300的两端及每一遮挡条400的两端分别抵接于支撑面104上，遮挡条400设置于两个精细掩膜条300之间，支撑面120及支撑面104在同一水平面上，精细掩膜条300及遮挡条400设置于支撑条200之上。

这样，每一所述支撑条的两端分别设置于所述支撑面上，在竖直方向上抬高了所述支撑条相对于所述支撑面的高度，进而抬高了玻璃基板在竖直方向上相对于所述支撑面的高度，抬高的所述高度用于弥补玻璃基板在竖直方向上的下垂形变，从而，很好地减小了所述玻璃基板与所述精细掩膜条之间在边缘处的间隙，较好的解决了玻璃基板与精细掩膜条贴合时产生的下垂所导致的掩膜板支撑组件边缘混色这一技术问题，使得所述掩膜装置的设计更加合理，进而提高AMOLED量产良率。

需要说明的是，在进行蒸镀的过程中，根据具体地工艺参数，所述精细掩膜条、所述遮挡条及所述支撑条的数量能够灵活地进行调整，本实用新型并不对所述精细掩膜条、所述遮挡条及所述支撑条的数量进行限制。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。