1.一种冷却板,其特征在于,包括:
板体;和
多个并联的冷却管路,相间隔地设置在所述板体内,用于对所述板体进行分区冷却;和
与所述冷却管路一一对应连接的多个流量阀,用于一一对应调节多个所述冷却管路内的冷却液的流量。
2.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,多个所述流量阀均位于所述板体内、并一一对应安装在多个所述冷却管路上。
3.根据权利要求2所述的冷却板,其特征在于,还包括:
进液主管,设置在所述板体内,且所述进液主管的一端与多个所述冷却管路的一端相连接、另一端用于对外连接。
4.根据权利要求3所述的冷却板,其特征在于,还包括:
出液主管,设置在所述板体内,且所述出液主管的一端与多个所述冷却管路的另一端相连接、另一端用于对外连接。
5.根据权利要求4所述的冷却板,其特征在于,多个所述冷却管路、所述进液主管和所述出液主管均为所述本体内成型的通道,且所述板体上设置有所述进液主管对外连接的第一连接嘴以及所述出液主管对外连接的第二连接嘴。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的冷却板,其特征在于,多个所述冷却管路均布在所述板体内、并布满所述板体,且多个所述冷却管路在所述板体内按一排多列布置或多排多列布置。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的冷却板,其特征在于,还包括:
多个温度传感器,设置在所述板体上、并对应于多个所述冷却管路布置,用于检测所述板体上形成的各区的温度。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置,其特征在于,所述板体上的各区内至少均布两个所述温度传感器。
9.一种蒸镀装置,其特征在于,包括安装架、磁性件和如权利要求1至8中任一项所述的冷却板,所述冷却板安装在所述安装架上,所述磁性件安装在所述板体上、用于磁吸附蒸镀用的掩膜版。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置,其特征在于,还包括:
控制单元,同时与多个温度传感器以及多个所述流量阀电连接,用于根据多个所述温度传感器检测到的所述板体各区的温度来控制各个所述流量阀的开度。