技术总结
本发明公开了一种冷却板和蒸镀装置。冷却板包括：板体；多个并联的冷却管路，相间隔地设置在板体内，用于对板体进行分区冷却；和与冷却管路一一对应连接的多个流量阀，用于一一对应调节多个冷却管路内的冷却液的流量。本发明提供的冷却板，板体内相间隔地设置有多个并联的冷却管路，多个冷却管路与多个流量阀一一对应连接，多个并联的冷却管路用于对板体进行分区冷却，多个所述流量阀用于一一对应调节多个冷却管路内的冷却液的流量，以使得板体上各区域的温度相一致，确保在应用于蒸镀装置时掩膜版不同区域的形变统一，玻璃基板的蒸镀精度可更高。
技术研发人员：杜小波;王有为
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
文档号码：201710201664
技术研发日：2017.03.30
技术公布日：2017.06.27