技术特征：
技术总结
本发明公开一种用于压印模板的真空沉积装置，其包括：壳体，在壳体上设有一密封空腔，压印模板放置于该密封空腔内，在壳体上设有与密封空腔连通的药品接口，气态的FDTS从该药品接口进入密封空腔内；抽真空组件，包括：与密封空腔连通的真空接口以及与真空接口连接的抽真空装置。本发明一种用于压印模板的真空沉积装置，其结构简单，操作便捷，可以有效在压印模板表面均匀附着一层FDTS膜，降低压印模板的表面能，提高其疏水性。
技术研发人员：史晓华
受保护的技术使用者：苏州光舵微纳科技股份有限公司
技术研发日：2017.05.18
技术公布日：2017.09.01