一种用于压印模板的真空沉积装置的制作方法

本发明涉及微纳加工领域，具体涉及一种用于压印模板的真空沉积装置。

背景技术：

纳米压印技术，是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术最早由stephenychou教授在1995年率先提出，这是一种不同与传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为：不使用光线或者辐照使光刻胶感光成形，而是直接在硅衬底或者其它衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。

软模板是一种简单方便的纳米压印模板复制材料，通常由本体材料和固化剂按一定比例混合而成，去除气泡后浇注在压印模板(母模板)表面，通过加热固化成弹性硅橡胶材料的工作模板。压印模板常采用硅片，在浇注前需要在压印模板的表面进行涂一层单分子fdts层，以降低压印模板表面的表面能。传统的涂膜方法为直接在压印模板上进行涂抹，均匀度差，效率低下。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本发明提出了一种用于压印模板的真空沉积装置，其结构简单，操作便捷，可以有效在压印模板表面均匀附着一层fdts膜，降低压印模板表面能，提高其疏水性。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种用于压印模板的真空沉积装置，包括：壳体，在壳体上设有一密封空腔，压印模板放置于该密封空腔内，在壳体上设有与密封空腔连通的药品接口，气态的fdts从该药品接口进入密封空腔内；抽真空组件，包括：与密封空腔连通的真空接口以及与真空接口连接的抽真空装置。

本发明结构简单，采用气态的fdts在压印模板表面沉积来实现在压印模板上附膜的效果，其工作效率高，可以同时对多个压印模板进行附膜，且材料fdts在压印模板上沉积均匀，压印模板表面的fdts膜厚度均匀，质量好，有效降低压印模板的表面能，提高其疏水性。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，还包括：药品储存罐以及用于给药品储存罐加热的加热组件，药品储存罐通过连接管与药品接口连通，药品储存罐内盛放液态的fdts。

采用上述优选的方案，结构简单，药品储存罐采用连接管与药品接口连通，不会对外界环境造成污染，有效提高工作人员的安全系数。

作为优选的方案，在连接管上设有单向阀。

采用上述优选的方案，防止密封空腔内的fdts倒流回药品储存罐内部，造成污染。

作为优选的方案，加热组件为加热管，药品储存罐与连接管通过加热管连接。

采用上述优选的方案，采用加热管的加热方法使得药品储存罐内的药品汽化，不易对药品储存罐内的药品造成污染，且加热管上方汽化的药品可以加速进入密封空腔，缩短汽化后的fdts进入密封空腔的行径时间，保证fdts可以有效在压印模板表面进行沉积。

作为优选的方案，加热组件为包覆于药品储存罐外壁的加热层，在加热层的外壁还附有保温层。

采用上述优选的方案，采用加热层的加热方法，结构简单，便于安装、更换和维修，可以快速对药品储存罐内的药品进行汽化。

作为优选的方案，在壳体上还设有与密封空腔连通的氮气接口，且在氮气接口处设有气阀开关。

采用上述优选的方案，往密封空腔内冲入氮气，使得密封空腔内的压力值适中，促使fdts和压印模板表面反应效果好。

作为优选的方案，在密封空腔内设有压力传感器和/或温度传感器。

采用上述优选的方案，实时检测密封空腔内的压力值和温度值，便于实时的调节。

作为优选的方案，在密封空腔内设有一个或多个均匀分布的浓度传感器，浓度传感器用于检测密封空腔内药品的浓度值。

采用上述优选的方案，实时检测密封空腔内的fdts浓度，判断其是否在合适的范围内，若不在，则通过调节加热组件的加热温度，从而调节密封空腔内的fdts浓度，使其达到合适值。

作为优选的方案，在密封空腔内设有夹持机构，夹持机构用于夹持压印模板。

采用上述优选的方案，对压印模板进行夹持，保证fdts可以均匀的沉积于压印模板表面。

作为优选的方案，在密封空腔内还设有旋转机构，旋转机构用于驱动压印模板旋转。

采用上述优选的方案，fdts可以更均匀的沉积于压印模板表面。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种用于压印模板的真空沉积装置的结构示意图之一。

图2为本发明实施例提供的一种用于压印模板的真空沉积装置的结构示意图之二。

图3为本发明实施例提供的药品储存罐的结构示意图。

其中：1壳体、11密封空腔、12药品接口、13真空接口、14氮气接口、15气阀开关、2真空阀、3透视窗、4药品储存罐、5连接管、6单向阀、7加热管、81加热层、82保温层。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的优选实施方式。

为了达到本发明的目的，一种用于压印模板的真空沉积装置的其中一些实施例中，

如图1和2所示，一种用于压印模板的真空沉积装置包括：壳体1和抽真空组件。

在壳体1上设有一密封空腔11，压印模板(图中未示出)放置于该密封空腔11内，在壳体1上设有与密封空腔连通的药品接口12，气态的fdts从该药品接口12进入密封空腔11内。

抽真空组件包括：与密封空腔11连通的真空接口13以及与真空接口13连接的抽真空装置(图中未示出)。在具体操作时，会在真空接口13处安装真空阀2。

为了便于对密封空腔11内冷却后的fdts进行后期的清洁处理，密封空腔11为无缝空腔，且其空腔内壁为光滑的圆弧曲面。在具体的实施过程中，可以在壳体1上设置密封门，在壳体1上设置透视窗3，便于工作人员进行查看密封空腔内部的情况。

本发明一种用于压印模板的真空沉积装置结构简单，采用气态的fdts在压印模板表面沉积来实现在压印模板上附膜的效果，其工作效率高，可以同时对多个压印模板进行附膜，且材料fdts在压印模板上沉积均匀，压印模板表面的fdts膜厚度均匀，质量好，有效降低压印模板的表面能，提高其疏水性。

为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，还包括：药品储存罐4以及用于给药品储存罐4加热的加热组件，药品储存罐4通过连接管5与药品接口12连通，药品储存罐4内盛放液态的fdts。

采用上述优选的方案，结构简单，药品储存罐4采用连接管5与药品接口12连通，不会对外界环境造成污染，有效提高工作人员的安全系数。

为了防止密封空腔内的fdts倒流回药品储存罐4内部，造成污染，在连接管5上设有单向阀6。

为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，加热组件为加热管7，药品储存罐4与连接管5通过加热管7连接。采用加热管7的加热方法使得药品储存罐4内的药品汽化，不易对药品储存罐4内的药品造成污染，且加热管7上方汽化的药品可以加速进入密封空腔，缩短汽化后的fdts进入密封空腔11的行径时间，保证fdts可以有效在压印模板表面进行沉积。

如图3所示，为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，加热组件为包覆于药品储存罐4外壁的加热层81，在加热层81的外壁还附有保温层82。采用加热层81的加热方法，结构简单，便于安装、更换和维修，可以快速对药品储存罐4内的药品进行汽化。

为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，在壳体1上还设有与密封空腔11连通的氮气接口14，且在氮气接口14处设有气阀开关15。往密封空腔11内冲入氮气，使得密封空腔11内的压力值适中，促使fdts和压印模板表面反应效果好。

为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，在密封空腔11内设有压力传感器(图中未示出)和温度传感器(图中未示出)。压力传感器和温度传感器可以实时检测密封空腔11内的压力值和温度值，便于实时的调节。

为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，在密封空腔11内设有一个或多个均匀分布的浓度传感器(图中未示出)，浓度传感器用于检测密封空腔内药品的浓度值。浓度传感器可以实时检测密封空腔内的fdts浓度，判断其是否在合适的范围内，若不在，则通过调节加热组件的加热温度，从而调节密封空腔内的fdts浓度，使其达到合适值。

为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，在密封空腔11内设有夹持机构(图中未示出)，夹持机构用于夹持压印模板。夹持机构对压印模板进行夹持，保证fdts可以均匀的沉积于压印模板表面。

为了fdts可以更均匀的沉积于压印模板表面，在密封空腔11内还设有旋转机构(图中未示出)，旋转机构用于驱动压印模板旋转。

为了进一步地优化本发明的实施效果，在另外一些实施方式中，密封空腔11内壁具有一定的倾斜角度，在所述密封空腔11的一端设有与回收器皿连通的回收孔，用于将密封空腔11内残留的多余药品进行回收，防止污染。

以上的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。