一种镜片镀膜装置的制作方法

文档序号:11348796阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种镜片镀膜装置,包括真空腔体(3)以及放置于该真空腔体(3)内的发射源(5)和镀膜伞(4),所述发射源(5)设置在真空腔体(3)的底部,所述镀膜伞(4)设置在真空腔体(3)的顶部;所述镀膜伞(4)包括基片安装面(41)以及围板(43),所述基片安装面(41)设置有若干基片安装位(42),其特征在于:所述基片安装面(41)为平面,所述镀膜伞(4)的上方连接旋转机构(6),该旋转机构(6)安装在所述真空腔体(3)的顶部,所述旋转机构(6)在真空腔体(3)的顶部旋转。

2.根据权利要求1所述的一种镜片镀膜装置,其特征在于:所述真空腔体(3)的底部设置有若干支撑柱(1),该支撑柱(1)的顶端安装有发射源固定板(2),所述发射源(5)安装发射源固定板(2)的下面。

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