一种氮化硼坩埚打磨装置的制作方法

文档序号:14974052发布日期:2018-07-20 18:49阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氮化硼坩埚打磨装置,包括打磨头,其特征在于,还包括:

基座;

旋转头,设于所述基座上,所述旋转头上设有夹紧机构;

动力机构,设于基座上,所述动力机构用于驱动所述旋转头转动;

坩埚固定工装,通过所述夹紧机构与旋转头同轴固定连接,并与所述旋转头一同旋转。

2.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述夹紧机构为设置在所述旋转头前端,并沿旋转头径向同步移动的至少两个固定块。

3.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述固定块内侧安装垫片。

4.根据权利要求3所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述垫片为弹性硅胶防滑垫片。

5.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述夹紧机构由不锈钢制成。

6.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,还包括打磨头固定装置。

7.根据权利要求6所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述打磨头固定装置包括导轨和支架,所述导轨上设置滑块,所述支架设于滑块上,所述支架上设有打磨棒,所述打磨棒的自由端安装有打磨头。

8.根据权利要求7所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述打磨棒铰接在支架上,所述打磨棒与所述支架之间设有弹性件。

9.根据权利要求7所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述打磨棒直接固定在支架上,或通过连接件固定在支架上。

10.根据权利要求7所述的氮化硼坩埚打磨装置,其特征在于,所述打磨棒的部分或全部为弹性棒。

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