一种掩膜板的制作方法

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板。

背景技术：

平面显示器(f1atpane1disp1ay，fpd)己成为市场上的主流产品，平面显示器的种类也越来越多，如液晶显示器(liquidcrysta1disp1ay，lcd)、有机发光二极管(organiclightemitteddiode，oled)显示器、等离子体显示面板(p1asmadisp1aypane1，pdp)及场发射显示器(fieldemissiondisplay，fed)等。

现有技术的掩膜板存在支撑遮挡条的边缘直线度较差、像素位置遮挡精度较低、蒸镀阴影区较大，无法实现对具有高像素密度的显示面板的高精细掩膜。

技术实现要素：

本申请提供一种掩膜板，以提高掩膜板的支撑遮挡条的边缘直线度以及像素位置遮挡精度，降低蒸镀阴影面积，进而以实现对具有高像素密度的显示面板的高精细掩膜。

本申请实施例提供一种掩膜板，包括：多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，所述第二支撑遮挡条与所述第一支撑遮挡条垂直交叉分布；其中，

每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，所述减薄区域的厚度小于所述减薄区域以外的其它区域的厚度，所述第一预设面为通过所述掩膜板进行掩膜蒸镀时，所述第二支撑遮挡条和所述第一支撑遮挡条的面向沉积材料的一面。

优选的，所述掩膜板还包括掩膜框架，每一所述第二支撑遮挡条以及每一所述第一支撑遮挡条具有与所述掩膜框架搭接的两个端部，以及位于两个所述端部之间的中间部；

在平行于所述第一方向上，所述第一支撑遮挡条的所述减薄区域的长度与该所述第二支撑遮挡条的所述中间部的长度相等；在平行于所述第二方向上，所述第二支撑遮挡条的所述减薄区域的长度与该所述第一支撑遮挡条的所述中间部的长度相等。

优选的，所述第一支撑遮挡条的所述减薄区域在垂直于所述第一方向上的宽度为0.5～5mm；所述第二支撑遮挡条的所述减薄区域在垂直于所述第二方向上的宽度为0.5～5mm。

优选的，所述减薄区域的厚度为该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的厚度的六分之一至三分之二。

优选的，所述减薄区域在所述第一预设面的正投影为长方形或梯形。

优选的，所述减薄区域为一凹陷的条状台阶结构，所述台阶结构包括底面、与所述底面垂直连接且相对的第一侧面和第二侧面、以及连接所述第一侧面和所述第二侧面的第三侧面，其中，所述第一侧面与所述第二侧面相对，并垂直于该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向；

所述减薄区域还设置有多个相互间隔的第一肋部，每一所述第一肋部的底端与所述台阶结构的所述第三侧面固定，并沿垂直于所述第三侧面的方向延伸，且所述第一肋部一侧面还与所述台阶结构的部分所述底面重叠。

优选的，所述第一肋部在垂直于所述第三侧面方向上的长度小于或等于所述台阶结构在垂直于所述第三侧面方向上的长度。

优选的，所述第一肋部的与所述第三侧面相对的顶端与所述台阶结构的与所述第三侧面相对的侧边的距离为0.1～3mm。

优选的，所述第一肋部在所述台阶结构的所述底面的正投影为梯形、方形、半圆形或半椭圆形。

优选的，所述第一肋部在沿该所述第一肋部所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条延伸方向上的宽度为1～6mm。

优选的，所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条在平行于其延伸方向的一个侧边的预设位置还设置有用于遮挡具有u型凹槽显示面板的所述u型凹槽的u型凸出部。

优选的，所述u型凸出部的面向沉积材料的表面在所述u型凸出部的周边也设置所述减薄区域。

优选的，所述u型凸出部包括一个或多个相互间隔的第二肋部，各所述第二肋部一端与所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条固定，并沿垂直于该所述u型凸出部所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸；所述u型凸出部设置有多个第二肋部时，相邻所述第二肋部之间也设置有减薄区域。

优选的，所述第二肋部在所述第一预设面的正投影为方形、半圆形、半椭圆形或倒梯形。

优选的，所述u型凸出部在垂直于该所述u型凸出部所在所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条延伸方向上的长度为1～5cm。

本申请实施例有益效果如下：本申请实施例提供的掩膜板包括多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，由于设置有减薄区域，进而在通过刻蚀工艺制作第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条时，可以提高第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条的边缘直线度，而第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条较好的边缘直线性，可以实现对高像素密度的显示面板的遮挡；且第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条的减薄区域的设置，可以使由于第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条厚度造成的阴影遮挡区较之前未减薄时减小，提高像素位置的遮挡精度，降低蒸镀的阴影遮挡区，实现对高像素密度显示面板的掩膜。

附图说明

图1为通过掩膜板进行掩膜蒸镀的示意图；

图2为掩膜板的第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条对像素的遮挡示意图；

图3为本申请实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；

图5为本申请与现有技术的第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条在蒸镀时的遮挡示意图；

图6为本申请与现有技术的第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条对像素的遮挡示意图；

图7为本申请实施例提供的掩膜板的第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条不同视角的结构示意图；

图8为本申请实施例的设置有第一肋部的第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条结构示意图；

图9为本申请实施例的设置有第一肋部的第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条不同视角的结构示意图；

图10为本申请实施例的不同形状的第一肋部的结构示意图；

图11为本申请实施例的设置有凸出部的掩膜板的结构示意图；

图12为本申请实施例的设置有凸出部的第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条结构示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本申请实施例的实现过程进行详细说明。需要注意的是，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

参见图1和图2所示，oled在制造过程中，通常采用高精度金属掩模板(finemetalmask，fmm)或openmask作为蒸镀掩模板，将蒸发源5的发光材料6蒸镀在显示面板7上对应的开口区域，mask对oled产品的制造发挥着重要作用。fmmmask制作中所用到的第一支撑遮挡条3(howlingsheet)和第二支撑遮挡条4(coversheet)除了起到支撑掩膜条2(dividedsheet)作用外，其中，第一支撑遮挡条3(howlingsheet)和第二支撑遮挡条4固定在掩膜框架1上，目前还发挥着对支撑掩膜条2上的像素20遮挡作用，这就要求第二支撑遮挡条4和第一支撑遮挡条3要有较高的边缘位置精度，对于目前oled产品而言，像素遮挡区边缘到显示(aa)区边缘的工艺余量通常为1-2行像素宽度，针对未来的更高密度像素(ppi)产品而言，像素遮挡宽度的工艺余量会继续减小，这对第二支撑遮挡条4和第一支撑遮挡条3的直线度要求更加严格，且要求第一支撑遮挡条和第二支撑遮挡条的蒸镀阴影遮挡区更小，由此才不会造成蒸镀不良。

参见图3，本申请实施例提供一种掩膜板，包括：多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条4，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条3，第一支撑遮挡条4与第二支撑遮挡条3垂直交叉分布；其中，

每一第一支撑遮挡条4和/或每一第二支撑遮挡条3在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域5，例如，如图3中所示，在两个侧边均设置有减薄区域5，减薄区域5沿该减薄区域5所在的第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3的延伸方向延伸，减薄区域5的厚度小于减薄区域5以外的其它区域的厚度，如，其它区域可以为同一第一支撑遮挡条4两侧的两个减薄区域之间的相对区域，其中，第一预设面为通过掩膜板进行掩膜蒸镀时，第一支撑遮挡条4和/或第二支撑遮挡条3的面向沉积材料的一面。

需要说明的是，图3是以第一方向为竖向，第二方向为横向进行的举例说明，在具体实施时，第一方向也可以是横向，第二方向对应的为竖向。另外，参见图4所示，掩膜板还可以包括掩膜框架1，掩膜框架1上还设置有掩膜条2，掩膜条2上设置有多个用于蒸镀的开口(图4中未示出)，而第二支撑遮挡条3主要起到对掩膜条2的边缘像素进行遮挡的作用，其延伸方向与掩膜条2的延伸方向相同；而第一支撑遮挡条4主要起到支撑掩膜条2的作用，其延伸方向与掩膜条2的延伸方向垂直，也可以起到对掩膜条2的部分像素进行遮挡的作用。第二支撑遮挡条3和第一支撑遮挡条4焊接在掩膜框架1上。

在具体实施时，参见图3所示，对于每一第一支撑遮挡条4以及每一第二支撑遮挡条3而言，还具有与掩膜框架1搭接的两个端部6，以及位于两个端部6之间的中间部7；在平行于第一方向上，第一支撑遮挡条4的减薄区域的长度与该第一支撑遮挡条4的中间部7的长度相等；在平行于第二方向上，第二支撑遮挡条3的减薄区域5的长度与该第二支撑遮挡条3的中间部7的长度相等。即，减薄区域5的设置主要是为了对掩膜条2的边缘像素进行遮挡，为了使第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4与掩膜框架1具有较好的固定性，对于与掩膜框架1搭接的端部6可以不设置减薄区域5。

本申请实施例提供的掩膜板包括多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条4，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条3，每一第一支撑遮挡条4和/或每一第二支撑遮挡条3在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域5，减薄区域5沿该减薄区域5所在的第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3的延伸方向延伸，减薄区域5的厚度小于减薄区域5以外的其它区域的厚度，由于设置有减薄区域5，进而在通过刻蚀工艺制作第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条时，可以提高第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4的边缘直线度；而第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3的减薄区域5的设置，参见图5和图6所示，其中，图5(a)为现有技术的蒸镀过程中的第一支撑遮挡条03或第二支撑遮挡条的遮挡效应，图5(b)为本申请实施例的蒸镀过程中的第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条的遮挡效应，由图5(a)和图5(b)可以看出，由于第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条厚度为一般较薄，通常为微米级，而再在第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条设置减薄区域时，会使图5(b)的b1更小，而将减薄区域的宽度(图5(b)的b2，也即减薄区域在垂直于该第二支撑遮挡条延伸方向的宽度)设置为微米级时，会使5(b)的a2角度远远大于图中的a1角度。其中，a1角为通过掩膜板进行蒸镀时存在的蒸镀角，蒸镀角的存在会使显示面板上需要蒸镀的区域蒸镀不上材料，需尽量避免，而a2角度远远大于图中的a1角度时可以消除蒸镀过程中蒸镀角的限制，进而可以使由于第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3厚度造成的阴影遮挡区s2较之前未减薄时s1减小；且如图6所示，其中，图6(a)为现有技术的掩膜板对像素的遮挡示意图，图6(b)为本申请实施例的掩膜板对像素的遮挡示意图，由于在实际掩膜过程中，第二支撑遮挡条3的边缘或第一支撑遮挡条4的边缘与显示区aa之间通常需要留有至少两列(或两行)像素的工艺余量，而在显示面板的ppi提高后，两列像素的距离显然比低ppi显示面板的两列像素的距离要小，即，设计要求的工艺余量d2比现有的d1间距更小，需要更高精度的掩膜，而本申请实施例提供的掩膜板，边缘直线性好，精度控制准确，进而可以提高像素位置的遮挡精度，降低蒸镀的阴影遮挡区，实现对高像素密度显示面板的掩膜。

其中，为了更清楚的展示第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4的结构示意图，图7(a)-图7(c)给出了单个第二支撑遮挡条3的放大结构示意图，其中，图7(a)为俯视图，图7(b)为前视图，图7(c)沿aa’的剖视图。优选的，第二支撑遮挡条3的减薄区域5在垂直于第二方向上(即垂直于图7(a)中竖向的方向)的宽度为0.5～5mm；第一支撑遮挡条的减薄区域在垂直于第一方向上的宽度为0.5～5mm。对于第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3而言，其需要支撑掩膜条2以及与掩膜框架1进行搭接，需要有一定的支撑强度，本申请实施例中，第一支撑遮挡条4的减薄区域5的宽度为0.5～5mm，以及第二支撑遮挡条3的减薄区域5的宽度为0.5～5mm，可以使第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3可以实现对高像素密度显示面板的高精度掩膜的同时，还可以保持支撑3条或第一支撑遮挡条4一定的支撑强度，防止蒸镀材料沉积过多时导致第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4下垂，进而造成第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4边缘位置精度偏差过大而无法遮挡特定像素的作用。

优选的，减薄区域5的厚度为该减薄区域5所在的第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3的厚度的六分之一至三分之二。本申请实施例中，减薄区域5的厚度为该减薄区域5所在的第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3的厚度的六分之一至三分之二，可以使第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3可以实现对高像素密度显示面板的高精度掩膜。

优选的，减薄区域5在第一预设面的正投影为长方形或梯形。具体的，长方形的长边或梯形的长边作为最终的第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条的边缘。

在具体实施时，参见图8、图9(a)、图9(b)、图9(c)所示，其中，其图8为第二支撑遮挡条3的减薄区域为台阶结构8的立体结构示意图，图9(a)为俯视图，图9(b)为前视图，图9(c)沿aa’的剖视图。减薄区域为一凹陷的条状台阶结构8，台阶结构8包括底面80、与底面80垂直连接且相对的第一侧面81和第二侧面(图中未示出)、以及连接第一侧面81和第二侧面的第三侧面83，其中，第一侧面81与第二侧面相对，并垂直于该减薄区域5所在的第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3的延伸方向；减薄区域5还设置有多个相互间隔的第一肋部9，每一第一肋部9的底端与台阶结构8的第三侧面83固定，并沿垂直于第三侧面83的方向延伸，且第一肋部9的一侧面还与台阶结构8的部分底面80重叠。本申请实施例中，减薄区域5还设置有多个相互间隔的第一肋部9，每一第一肋部9的底端与台阶结构8的第三侧面83固定，并沿垂直于第三侧面83的方向延伸，且第一肋部9一侧面还与台阶结构8的部分底面80重叠，进而可以使通过第一肋部9的设计来提高第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4边缘减薄区域5的强度，防止蒸镀材料沉积过多时导致第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4减薄区域6边缘下垂，进而造成第二支撑遮挡条3或第一支撑遮挡条4边缘位置精度偏差过大而无法遮挡特定像素的作用。

具体的，参见图10所示，第一肋部9在台阶结构8的底面80的正投影为梯形、方形、半椭圆形或半圆形。在具体实施时，第一肋部9在垂直于第三侧面83方向上的长度小于或等于台阶结构8在垂直于第三侧面83方向上的长度。优选的，第一肋部9的与第三侧面83相对的顶端与台阶结构8的与第三侧面相对的侧边的距离d3为0.1～3mm。本申请实施例中，第一肋部9在垂直于第三侧面83方向上的长度小于或等于台阶结构8在垂直于第三侧面83方向上的长度，可以使设置有第一肋部9的位置也可以具有较好的边缘直线性，不影响第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3对具有高像素密度的显示面板的遮挡作用。

在具体实施时，第一肋部9在沿该第一肋部9所在的第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3延伸方向上的宽度为1～6mm。对于第一肋部9为梯形或半圆形，该宽度可以指第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3延伸方向上距离最大两个点之间的距离，如图10中圆形的直径。

在具体实施时，显示面板一般还设置有特殊形状oled屏幕，如顶部带有u型凹槽的全面屏，即，显示面板逐渐趋向于全面屏设计，而在全面屏的上端或下端还设置有u型凹槽，例如，该u型凹槽用于设置红外镜头、泛光感应元件、距离感应器、环境光传感器、扬声器、麦克风、摄像头、点阵投影器等。优选的，参见图11和图12所示，第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3在平行于其延伸方向的一个侧边的预设位置还设置有用于遮挡具有u型凹槽显示面板的u型凹槽的u型凸出部10。由于显示面板的u型凹槽的设计，一般会需要掩膜板对该u型凹槽的区域具有更高精度的掩膜，而本申请实施例中，第一支撑遮挡条4或第二支撑遮挡条3在平行于其延伸方向的一个侧边的预设位置还设置有u型凸出部10，则可以满足对该种类型的显示面板的u型凹槽区域的高精度掩膜。

需要说明的是，图11是以一个掩膜板可以制作四个具有u型凹槽的显示面板为例进行的举例说明，即，每一显示面板设置有一个u型凹槽，相应的，第一支撑遮挡条4设置有两个u型凸出部10，在具体实施时，一个掩膜板可以制作多个具有u型凹槽的显示面板，进而，第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条也可以设置有多个u型凸出部10，本申请不以此为限。

优选的，参见图12所示，u型凸出部10的面向沉积材料的表面在周边也设置减薄区域5。具体减薄区域5的宽窄、厚度可以与第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条的其它位置的减薄区域的设置相同，在此不再赘述。

具体的，每一u型凸出部10可以包括一个或多个相互间隔的第二肋部11，各第二肋部11一端与第二支撑遮挡条3(或第一支撑遮挡条)固定，并沿垂直于该u型凸出部10所在的第二支撑遮挡条3(或第一支撑遮挡条)的延伸方向延伸；u型凸出部10设置有多个第二肋部11时，相邻第二肋部11之间也设置有减薄区域5。其中，第二肋部11主要起到支撑u型凸出部10支撑强度的作用。由于实际的显示面板的u型凹槽的长度不同，进而对应的掩膜板上的u型凸出部10在平行于第二支撑遮挡条3(或第一支撑遮挡条)方向上的延伸长度也不同，若u型凸出部10在平行于第二支撑遮挡条3(或第一支撑遮挡条)方向上的延伸长度较短，则可以设置一个加强支撑作用的第二肋部11，即，u型凸出部10由一个第二肋部11以及设置在该第二肋部11周边的减薄区域5构成；而若u型凸出部10在平行于第二支撑遮挡条3(或第一支撑遮挡条)方向上的延伸长度较长，则为了更好的地防止u型凸出部10的支撑强度，进而可以设置多个分立的第二肋部11，该种情况下，u型凸出部10由多个相互间隔的第二肋部11、相邻两个肋部11之间的减薄区域5、以及每一第二肋部11外侧的减薄区域构成。但不论u型凸出部10包括几个第二肋部11，u型凸出部10本身需要为一个整体连接的一体结构，即，需要在该u型凸出部10的遮挡作用下形成对应于显示面板的u型凹槽。

具体的，第二肋部11在第一预设面的正投影为方形、半圆形、半椭圆形或倒梯形。

具体的，u型凸出部10在垂直于该u型凸出部所在第二支撑遮挡条3(或第一支撑遮挡条)延伸方向上的长度为1～5cm。

本申请实施例有益效果如下：本申请实施例提供的掩膜板包括多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，所述减薄区域的厚度小于所述减薄区域以外的其它区域的厚度，由于设置有减薄区域，进而在通过刻蚀工艺制作第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条时，可以提高第一支撑遮挡条或第二支撑遮挡条的边缘直线度，而第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条较好的边缘直线性，可以实现对高像素密度的显示面板的遮挡；且第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条的减薄区域的设置，可以消除蒸镀角的限制，可以使由于第二支撑遮挡条或第一支撑遮挡条厚度造成的阴影遮挡区较之前未减薄时减小，提高像素位置的遮挡精度，降低蒸镀的阴影遮挡区，实现对高像素密度显示面板的掩膜。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。