技术特征：
技术总结
本发明提供一种防着板及物理气相沉积设备。本发明的防着板包括支撑架及能转动设于支撑架上的多条防着条，所述多条防着条能组合形成一个防着面，所述多条防着条转动后能组合形成另一个防着面，当一个防着面沉积膜层较厚时可以翻转使用另一个防着面，防止沉积膜层过厚造成脱落或颗粒污染，保证沉积效果，可提高防着板使用寿命，应用于物理气相沉积设备还可减少防着板的更换和清洗工序，提高设备的稼动率。
技术研发人员：胡小波
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：2018.05.15
技术公布日：2018.09.28