一种半导体晶圆倒角工装的制作方法

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种半导体晶圆倒角工装。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。

在半导体晶圆的加工工艺中,对晶圆边缘磨削是非常重要的一环，能够防止晶锭材料被切割成晶圆后形成锐利边缘,有棱角、毛刺、崩边等缺陷，但是现有的倒角机采用电磁式固定或者直接采用刚性结构对半导体晶圆进行固定，部件之间的震动容易使硅片震碎，导致原材料的浪费，存在不足，为此，我们提出一种半导体晶圆倒角工装。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆倒角工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆倒角工装，包括固定装置和定位装置，所述定位装置由定位板、第一电动推杆、底板和定位件组成，所述第一电动推杆两端分别与定位板底部和底板顶部固定，所述第一电动推杆设有两个，且两个第一电动推杆对称分布在底板两侧，所述定位板内等角度开有四个定位槽，所述定位件设有四个，且四个定位件分别与定位槽内壁固定，所述固定装置由固定组件、固定板、支撑杆、支撑板和电机组成，所述电机固定在底板顶部，且电机输出端通过联轴器与支撑板顶部固定，所述支撑板通过支撑杆与固定板固定，且固定组件固定在支撑板顶部，所述固定板顶部放置有晶圆，且晶圆外侧与四个定位件一端接触。

优选的，所述定位件由第二电动推杆、接触板和固定块组成，所述第二电动推杆一端通过固定块与定位槽内壁固定，且另一端与接触板固定，所述接触板外侧与晶圆接触。

优选的，所述固定组件由真空吸盘、铜管和真空泵组成，所述固定板顶部开有多个吸气孔，所述真空吸盘设有多个，且多个真空吸盘分别位于吸气孔内，所述铜管固定插接在固定板内，所述铜管顶部与真空吸盘底部连通，且铜管底部通过气管与真空泵连通，所述真空泵固定在支撑板顶部。

优选的，所述接触板为圆弧型，且接触板外侧固定有缓冲垫。

优选的，所述电机位于固定板圆心下方。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过定位件对晶圆进行定位，防止位置偏差，再通过真空吸盘对晶圆底部吸附固定，比传统的刚性结构对晶圆进行固定更加稳定安全，减少了部件之间的震动导致晶圆震碎，提高工作效率，在使用本实用新型时，先将晶圆放置在固定板上，通过第二电动推杆伸缩带动接触板与晶圆接触，从而使晶圆与固定板同心。在通过真空泵抽气，使真空吸盘吸附晶圆，通过第一电动推杆收缩，使定位板下降至固定板下方，最后通过电机转动，带动其输出轴通过联轴器固定的支撑板转动，由于支撑板通过支撑杆与固定板固定，所以固定板开始带动晶圆转动，从而方便磨轮进行倒角。

2、本实用新型接触板为圆弧型，且接触板外侧固定有缓冲垫，圆弧形更加贴合晶圆，缓冲垫可以使在定位的时候对晶圆起一个保护作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型俯视剖视图；

图3为图1中A处放大图；

图4为本实用新型定位件与晶圆连接示意图。

图中：1-固定装置；2-定位装置；3-定位板；4-第一电动推杆；5-底板；6-定位件；7-定位槽；8-固定组件；9-固定板；10-支撑杆；11-支撑板；12-电机；13-第二电动推杆；14-接触板；15-固定块；16-真空吸盘；17-铜管；18-真空泵；19-吸气孔；20-缓冲垫；21-晶圆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体晶圆倒角工装，包括固定装置1和定位装置2，所述定位装置2由定位板3、第一电动推杆4、底板5和定位件6组成，所述第一电动推杆4两端分别与定位板3底部和底板5顶部固定，所述第一电动推杆4设有两个，且两个第一电动推杆4对称分布在底板5两侧，所述定位板3内等角度开有四个定位槽7，所述定位件6设有四个，且四个定位件6分别与定位槽7内壁固定，所述固定装置1由固定组件8、固定板9、支撑杆10、支撑板11和电机12组成，所述电机12固定在底板5顶部，且电机12输出端通过联轴器与支撑板11顶部固定，所述支撑板11通过支撑杆10与固定板9固定，且固定组件8固定在支撑板11顶部，所述固定板9顶部放置有晶圆21，且晶圆21外侧与四个定位件6一端接触。

所述定位件6由第二电动推杆13、接触板14和固定块15组成，所述第二电动推杆13一端通过固定块15与定位槽7内壁固定，且另一端与接触板14固定，所述接触板14外侧与晶圆21接触，通过定位件6对晶圆21进行定位，防止晶圆21位置不对导致误差。

所述固定组件8由真空吸盘16、铜管17和真空泵18组成，所述固定板9顶部开有多个吸气孔19，所述真空吸盘16设有多个，且多个真空吸盘16分别位于吸气孔19内，所述铜管17固定插接在固定板9内，所述铜管17顶部与真空吸盘16底部连通，且铜管17底部通过气管与真空泵18连通，所述真空泵18固定在支撑板11顶部，通过固定组件8对晶圆21固定，从而方便磨倒角。

所述接触板14为圆弧型，且接触板14外侧固定有缓冲垫20，圆弧形更加贴合晶圆21，缓冲垫20可以使在定位的时候对晶圆21起一个保护作用。

所述电机12位于固定板9圆心下方，使固定板9通过电机12转动带动其自转，从而方便磨倒角。

工作原理：在使用本实用新型时，先将晶圆21放置在固定板9上，通过第二电动推杆13伸缩带动接触板14与晶圆21接触，从而使晶圆21与固定板9同心。在通过真空泵18抽气，使真空吸盘16吸附晶圆21，通过第一电动推杆4收缩，使定位板3下降至固定板9下方，最后通过电机12转动，带动其输出轴通过联轴器固定的支撑板11转动，由于支撑板11通过支撑杆10与固定板9固定，所以固定板9开始带动晶圆21转动，从而方便磨轮进行倒角，本实用新型通过定位件6对晶圆21进行定位，防止位置偏差，再通过真空吸盘16对晶圆21底部吸附固定，比传统的刚性结构对晶圆21进行固定更加稳定安全，减少了部件之间的震动导致晶圆21震碎，提高工作效率。

本方案中，电机12采用Y80M1-2型号，电机12运行电路为常规电机正反转控制程序，电路运行为现有常规电路。

本实用新型中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。