用于真空镀膜机的视口的制作方法

本实用新型涉及一种用于真空镀膜机的视口，属于真空镀膜机技术领域。

背景技术：

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称为靶材)进行蒸发或溅射，将靶材气化成原子、分子或使其离化为离子，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程称为真空镀膜。真空镀膜机在使用过程中，操作人员会通过密封门上的视口来观察内部反应变化。但现有镀膜机在真空镀膜进行过程中，会有部分气化为原子、分子或离子的靶材沉积到视口的玻璃上，使用时间长了，会使视口的玻璃变模糊难以进行观察，并且靶材沉积到玻璃上后很难进行清理，影响正常生产过程。

技术实现要素：

根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是：提供一种防止靶材沉积到玻璃上的用于真空镀膜机的视口，以解决上述问题。

本实用新型所述的用于真空镀膜机的视口，包括壳体，壳体设有观察口，观察口外通过端盖固定有第一玻片，壳体内设有挡板，所述的挡板通过转轴与壳体转动连接，壳体顶部设有密封盒，密封盒上设有顶盖，密封盒内设有旋转密封，所述的转轴贯穿密封盒和顶盖，转轴顶端设有拨杆。

壳体内的挡板与转轴顶端的拨杆固定连接，拨动拨杆即可使挡板绕转轴转动。在真空镀膜机进行真空镀膜工作前，转动拨杆使挡板转动到关闭位置，即挡板将观察口完全覆盖住，防止靶材的原子、分子或离子沉积到第一玻片上，当需要进行观察时，转动拨杆将挡板打开，便于观察。

壳体内，绕所述的观察口一周开有密封槽，挡板边缘，与所述密封槽相对应设有密封凸起。当挡板转动到关闭位置时，挡板边缘的密封凸起与密封槽相配合，增强隔离性，防止第一玻片被靶材污染。

所述的第一玻片后方设有第二玻片，作为第二防护，第二玻片与所述观察口大小相同，第二玻片通过簧片固定于观察口内，便于拆卸。使用时第二玻片位于第一玻片与挡板之间，真空镀膜时即使有靶材的原子、分子或离子透过了挡板的第一层防护，也会沉积到第二玻片上，进一步防止第一玻片被靶材污染。即使作为第二防护的第二玻片被污染后，也可通过取下簧片将第二玻片取出，更换新的第二玻片。

本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是：

本实用新型所述用于真空镀膜机的视口，设计合理结构简单，通过两层防护，可以防止真空镀膜机长时间使用后，视口被靶材污染的情况出现，避免视口变模糊，保证正常工作的进行；并且避免对视口进行清理，减少了人工成本，降低了工作流程的繁琐性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图之一；

图2是本实用新型的结构示意图之二；

图3是本实用新型的分解图之一；

图4是本实用新型的分解图之二；

图5是本实用新型的壳体结构示意图；

图6是本实用新型的挡板结构示意图；

图7是本实用新型的使用状态图之一；

图8是本实用新型的使用状态图之二。

图中：1、拨杆；2、转轴；2.1、旋转密封；3、顶盖；4、挡板；4.1、密封凸起；5、端盖；6、壳体；6.1、密封盒；6.2、密封槽；7、第二玻片；8、簧片；9、第一玻片；10、密封门。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步描述：

如图1～8所示，本实用新型所述的用于真空镀膜机的视口，包括壳体6，壳体6设有观察口，观察口外通过端盖5固定有第一玻片9，壳体6内设有挡板4，所述的挡板4通过转轴2与壳体6转动连接，壳体6顶部设有密封盒6.1，密封盒6.1上设有顶盖3，顶盖3通过螺钉固定在密封盒6.1上，密封盒6.1内设有旋转密封2.1实现转轴2的转动密封，所述的转轴2贯穿密封盒6.1和顶盖3，转轴2顶端设有拨杆1，拨杆1通过销轴设置在转轴2顶端。

壳体6内，绕所述的观察口一周开有密封槽6.2，挡板4边缘，与所述密封槽6.2相对应设有密封凸起4.1。第一玻片9后方设有第二玻片7，作为第二防护，第二玻片7与所述观察口大小相同，第二玻片7通过簧片8卡住并固定于观察口内，便于拆卸。

本实用新型嵌入到真空镀膜机的密封门10中，壳体6内的挡板4与转轴2顶端的拨杆1固定连接，拨动拨杆1即可使挡板4绕转轴2转动。在真空镀膜机进行真空镀膜工作前，转动拨杆1使挡板4转动到关闭位置，即挡板4将观察口完全覆盖住，防止靶材的原子、分子或离子沉积到第一玻片9上，当需要进行观察时，转动拨杆1将挡板4打开，便于观察。当挡板4转动到关闭位置时，挡板4边缘的密封凸起4.1与密封槽6.2相配合，增强隔离性，防止第一玻片9被靶材污染。使用时第二玻片7位于第一玻片9与挡板4之间，真空镀膜时即使有靶材的原子、分子或离子透过了挡板4的第一层防护，也会沉积到第二玻片7上，进一步防止第一玻片9被靶材污染。即使作为第二防护的第二玻片7被污染后，也可通过取下簧片8将第二玻片7取出，更换新的第二玻片7。