高纯铜靶材制备装置的制作方法

本实用新型涉及靶材制备技术领域，具体为高纯铜靶材制备装置。

背景技术：

溅射靶材是制造半导体芯片所必需的一种极其重要的关键材料，利用其制作器件的原理是采用物理气相沉积技术（pvd），用高压加速气态离子轰击靶材，使靶材的原子被溅射出，以薄膜的形式沉积到硅片上，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。溅射靶材具有金属镀膜的均匀性、可控性等诸多优势，被广泛应用于半导体领域。随着半导体行业的迅速发展，与传统互连材料铝相比，由于铜具有更高的电导率和更好的抗电迁移特性，所以目前被广泛地应用在超大规模集成电路的互连线中，铜溅射靶材已成为半导体行业发展不可或缺的关键材料。

现有的高纯铜靶材制备步骤首先对高纯铜锭进行预热，余热之后利用锻打设备进行锻打，但是现有的锻打设备在锻打的过程中锻打另一面的时候需要停掉机器，然后人工翻面，再开启机器进行锻打，操作起来十分麻烦。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供了高纯铜靶材制备装置，达到了能自动翻面对高纯铜锭进行锻打，不需要人工操作，使用起来十分方便的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：高纯铜靶材制备装置，包括主板，所述主板顶部连接有支撑块，所述支撑块顶部连接有两个固定板，两个所述固定板互相靠近的两侧与连接杆两端连接，所述支撑块背面连接有l型支架，所述l型支架顶部安装有电机，所述电机输出端连接有转柱，所述转柱侧壁连接有转板，所述转板远离转柱的一侧弧形设置，两个所述固定板之间设有活动板，所述连接杆贯穿活动板与活动板活动连接，所述转板底部与活动板顶部接触，所述活动板底部连接有压块，所述主板上方设有活动杆，所述活动杆外壁与从动轮内壁连接，所述电机输出轴外壁与主动轮内壁连接，所述主动轮与从动轮之间通过皮带传动连接，所述主动轮与从动轮内径的传动比为2:1，所述活动杆正面连接有转块，所述转块形状为球形，所述转块顶部和底部均开设有通孔，所述转块内部设有上压板和下压板，所述压块底部贯穿转块顶部的通孔延伸至转块内部与上压板顶部接触，所述转块内部设有四个固定杆，所述上压板和下压板顶部均开设有四个贯穿孔，上压板表面的四个贯穿孔与下压板表面的四个贯穿孔位置一一对应，四个所述固定杆的两端分别贯穿上压板表面的四个贯穿孔和下压板表面的四个贯穿孔与转块内壁连接，所述固定杆外壁和贯穿孔内壁均粗糙设置。

优选的，所述活动板右侧到连接杆正面中心的距离大于活动板左侧到连接杆正面中心的距离。

优选的，所述主板顶部连接有支板，所述支板正面连接有轴承，所述轴承内壁与活动杆一端外壁连接。

优选的，所述主板顶部连接有固定块，所述固定块顶部开设有放置槽，所述放置槽内壁与转块外壁接触。

优选的，所述转块正面开设有物料门。

优选的，所述主板底部连接有支柱。

本实用新型提供了高纯铜靶材制备装置。具备以下有益效果：

（1）、本实用新型通过设置主动轮、从动轮、转块、上压板、下压板、活动板和固定杆，利用电机启动带动主动轮转动，由于主动轮与从动轮的传动比为2:1，主动轮转一圈从动轮转半圈，电机转一圈利用转板挤压活动板带动压块进行锻压，此时活动杆带动转块转动半圈，使上压板和下压板互换位置，对上压板和下压板之间的高纯铜锭进行锻打，达到了能自动翻面对高纯铜锭进行锻打，不需要人工操作，使用起来十分方便的目的。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型支板侧视图；

图3为本实用新型主动轮侧视图；

图4为本实用新型上压板俯视图。

图中：1主板、2支柱、3支撑块、4l型支架、5电机、6转柱、7转板、8固定板、9连接杆、10活动板、11压块、12上压板、13转块、14固定杆、15放置槽、16固定块、17下压板、18从动轮、19主动轮、20活动杆、21支板、22贯穿孔。

具体实施方式

如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：高纯铜靶材制备装置，包括主板1，主板1顶部固定连接有支撑块3，支撑块3顶部固定连接有两个固定板8，两个固定板8互相靠近的两侧与连接杆9两端固定连接，支撑块3背面固定连接有l型支架4，l型支架4顶部固定安装有电机5，电机5输出端固定连接有转柱6，转柱6侧壁固定连接有转板7，转板7远离转柱6的一侧弧形设置，两个固定板8之间设有活动板10，连接杆9贯穿活动板10与活动板10活动连接，活动板10右侧到连接杆9正面中心的距离大于活动板10左侧到连接杆9正面中心的距离，活动板10正面和背面分别与两个固定板8互相靠近的两侧接触，转板7底部与活动板10顶部接触，活动板10底部固定连接有压块11，压块11最高点到最低点消耗的时间与电机5转一圈消耗的时间一样长，主板1上方设有活动杆20，主板1顶部固定连接有支板21，支板21正面固定连接有轴承，轴承内壁与活动杆20一端外壁固定连接，活动杆20外壁与从动轮18内壁固定连接，电机5输出轴外壁与主动轮19内壁固定连接，主动轮19与从动轮18之间通过皮带传动连接，主动轮19与从动轮18的传动比为2:1，活动杆20正面固定连接有转块13，转块13形状为球形，转块13顶部和底部均开设有通孔，转块13内部设有上压板12和下压板17，压块11底部贯穿转块13顶部的通孔延伸至转块13内部与上压板12顶部接触，转块13内部设有四个固定杆14，上压板12和下压板17顶部均开设有四个贯穿孔22，上压板12表面的四个贯穿孔22与下压板17表面的四个贯穿孔22位置一一对应，四个固定杆14的两端分别贯穿上压板12表面的四个贯穿孔22和下压板17表面的四个贯穿孔22与转块13内壁固定连接，固定杆14外壁和贯穿孔22内壁均粗糙设置，主板1顶部固定连接有固定块16，固定块16顶部开设有放置槽15，放置槽15内壁与转块13外壁接触，转块13正面开设有物料门，主板1底部固定连接有支柱2，通过设置主动轮19、从动轮18、转块13、上压板12、下压板17、活动板10和固定杆14，利用电机5启动带动主动轮19转动，由于主动轮19与从动轮18的传动比为2:1，主动轮19转一圈从动轮18转半圈，电机5转一圈利用转板7挤压活动板10带动压块11进行锻压，此时活动杆20带动转块13转动半圈，使上压板12和下压板17互换位置，对上压板12和下压板17之间的高纯铜锭进行锻打，达到了能自动翻面对高纯铜锭进行锻打，不需要人工操作，使用起来十分方便的目的。

在使用时，电机5启动带动转柱6转动，转柱6转动带动转板7转动，转板7转动挤压活动板10，在杠杆定律作用下，压块11会先想上移动，上到最高点，转板7不与活动板10接触，压块11在重力的作用下落下，进行锻压，由于主动轮19和从动轮18的存在，电机5每转动一圈，带动了转块13转动半圈，从而调整了高纯铜锭位置，使上压板12和下压板17互换位置，对上压板12和下压板17之间的高纯铜锭进行锻打，达到了能自动翻面对高纯铜锭进行锻打，不需要人工操作，使用起来十分方便的目的。

综上可得，本实用新型通过设置主动轮19、从动轮18、转块13、上压板12、下压板17、活动板10和固定杆14，利用电机5启动带动主动轮19转动，由于主动轮19与从动轮18的传动比为2:1，主动轮19转一圈从动轮18转半圈，电机5转一圈利用转板7挤压活动板10带动压块11进行锻压，此时活动杆20带动转块13转动半圈，使上压板12和下压板17互换位置，对上压板12和下压板17之间的高纯铜锭进行锻打，达到了能自动翻面对高纯铜锭进行锻打，不需要人工操作，使用起来十分方便的目的。