蒸镀装置的制作方法

文档序号:23451725发布日期:2020-12-29 09:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:

坩埚(1),所述坩埚(1)的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽(11),相邻两个所述收容槽(11)之间设置有加热槽(3),所述加热槽(3)设置于所述坩埚(1)的外部,所述收容槽(11)的外表面和所述加热槽(3)均设置有加热件(4);

盖板(2),所述盖板(2)盖设于所述坩埚(1)上,所述盖板(2)设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部(211)。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的内部还设置有扩散腔(12),所述扩散腔(12)设置于所述收容槽(11)和所述盖板(2)之间。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的内部还设置有分隔板(13),所述分隔板(13)设置于所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)之间,所述分隔板(13)均匀地设置有多个用于连通所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)的第一通孔(131)。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的内部设置有多个隔层部(14),所述坩埚(1)的底壁(15)设置有多个第二通孔(151),所述隔层部(14)设置于所述第二通孔(151)的两侧,以在所述坩埚(1)的内部形成多个所述收容槽(11)和在所述坩埚(1)的外部形成多个所述加热槽(3);

相邻两个所述收容槽(11)之间设置有所述隔层部(14),所述加热槽(3)形成于所述隔层部(14)的内部。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述加热槽(3)设置有用于固定所述加热件(4)的安装部(31)。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述收容槽(11)沿水平方向(x)的截面积由下至上逐渐增大。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的顶部沿水平方向(x)的截面为长方形,所述盖板(2)沿水平方向(x)的截面为长方形;

所述盖板(2)设置有多个与所述坩埚(1)的长度方向(l)平行设置的线源(21),每个所述线源(21)设置有多个所述蒸发口部(211),每个线源(21)的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的长度方向(l)成锯齿状排列。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置,其特征在于,多个所述线源(21)之间相邻的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的宽度方向(w)成锯齿状排列。


技术总结
本申请涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板,所述坩埚的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽,相邻两个所述收容槽之间设置有加热槽,所述加热槽设置于所述坩埚的外部,所述收容槽的外表面和所述加热槽均设置有加热件;盖板,所述盖板盖设于所述坩埚上,所述盖板设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部。本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚的外部设置加热槽,加热槽设置于相邻两个收容槽之间,且收容槽的外表面和加热槽均设置有加热件,如此可以提高每个收容槽内蒸镀材料的加热效率,从而可以提高蒸镀效率和蒸镀质量。

技术研发人员:林文晶;轩景泉;钱海涛;赵军;刘萍
受保护的技术使用者:上海升翕光电科技有限公司
技术研发日:2020.03.16
技术公布日:2020.12.29
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