1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:
坩埚(1),所述坩埚(1)的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽(11),相邻两个所述收容槽(11)之间设置有加热槽(3),所述加热槽(3)设置于所述坩埚(1)的外部,所述收容槽(11)的外表面和所述加热槽(3)均设置有加热件(4);
盖板(2),所述盖板(2)盖设于所述坩埚(1)上,所述盖板(2)设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部(211)。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的内部还设置有扩散腔(12),所述扩散腔(12)设置于所述收容槽(11)和所述盖板(2)之间。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的内部还设置有分隔板(13),所述分隔板(13)设置于所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)之间,所述分隔板(13)均匀地设置有多个用于连通所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)的第一通孔(131)。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的内部设置有多个隔层部(14),所述坩埚(1)的底壁(15)设置有多个第二通孔(151),所述隔层部(14)设置于所述第二通孔(151)的两侧,以在所述坩埚(1)的内部形成多个所述收容槽(11)和在所述坩埚(1)的外部形成多个所述加热槽(3);
相邻两个所述收容槽(11)之间设置有所述隔层部(14),所述加热槽(3)形成于所述隔层部(14)的内部。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述加热槽(3)设置有用于固定所述加热件(4)的安装部(31)。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述收容槽(11)沿水平方向(x)的截面积由下至上逐渐增大。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的蒸镀装置,其特征在于,所述坩埚(1)的顶部沿水平方向(x)的截面为长方形,所述盖板(2)沿水平方向(x)的截面为长方形;
所述盖板(2)设置有多个与所述坩埚(1)的长度方向(l)平行设置的线源(21),每个所述线源(21)设置有多个所述蒸发口部(211),每个线源(21)的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的长度方向(l)成锯齿状排列。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置,其特征在于,多个所述线源(21)之间相邻的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的宽度方向(w)成锯齿状排列。