的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以3500r/min的速度旋涂镀膜20s左右；
[0035]4)将步骤3)匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上100°C烘烤90min后放入小型快速退火炉内退火，退火温度为500°C，保温5h后随炉冷却至室温；
[0036]5)退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。
[0037]实施例3:
[0038]I)将玻璃基片分别在去离子水、丙酮、乙醇和去离子水中超声水洗lOmin，并封存于无水乙醇中备用；
[0039]2)将分析纯的Sm(NO3) 3.6Η20溶解于40ml的乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.3mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂(乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在3:1)，室温下搅拌3h形成透明均匀稳定的淡黄色溶液。
[0040]3)将步骤I)清洗干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以3000r/min的速度旋涂镀膜20s左右；
[0041]4)将步骤3)匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上60°C烘烤60min后放入小型快速退火炉内退火，退火温度为450°C，保温3h后随炉冷却至室温；
[0042]5)退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。
[0043]实施例4:
[0044]I)将玻璃基片分别在去离子水、丙酮、乙醇和去离子水中超声水洗lOmin，并封存于无水乙醇中备用；
[0045]2)将分析纯的Sm(NO3) 3.6Η20溶解于40ml的乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.3mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂(乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在3:1)，室温下搅拌4h形成透明均匀稳定的淡黄色溶液。
[0046]3)将步骤I)清洗干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以4000r/min的速度旋涂镀膜20s左右至均匀；
[0047]4)将步骤3)匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上100°C烘烤30min后放入小型快速退火炉内退火，退火温度为300°C，保温4h后随炉冷却至室温；
[0048]5)退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。
[0049]实施例5:
[0050]I)将玻璃基片分别在去离子水、丙酮、乙醇和去离子水中超声水洗10?15min，并封存于无水乙醇中备用；
[0051 ] 2)将分析纯的Sm(NO3) 3.6Η20溶解于40ml的乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂(乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在4:1)，室温下搅拌2h形成透明均匀稳定的淡黄色溶液。
[0052]3)将步骤I)清洗干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以3600r/min的速度旋涂镀膜20s左右；
[0053]4)将步骤3)匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上100°C烘烤50min后放入小型快速退火炉内退火，退火温度为300°C，保温5h后随炉冷却至室温；
[0054]5)退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。
[0055]请参阅图1所示，为本发明实施例4所制备的Sm2O3薄膜的XRD图。
【主权项】
1.一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤: 1)将玻璃基片清洁干净备用； 2)将分析纯的Sm(NO3)3.6H20溶解于乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.1?.0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液； 3)将干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀； 4)将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200?500°C进行退火； 5)退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。2.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，其特征在于:乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在(3?4):1。3.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，其特征在于:步骤3)中匀胶机的转速为3000?4000r/min ;匀胶时间为20s。4.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，其特征在于:退火时保温2?5h后随炉冷却至室温。5.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，其特征在于，步骤I)具体包括以下步骤:将玻璃基片分别在去离子水、丙酮、乙醇和去离子水中超声水洗1min,并封存于无水乙醇中备用。6.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤: 1)将玻璃基片分别在去离子水、丙酮、乙醇和去离子水中超声水洗lOmin，并封存于无水乙醇中备用； 2)将分析纯的Sm(NO3)3.6H20溶解于40ml的乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为.0.3mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌4h形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在3:1 ; 3)将步骤I)清洗干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以4000r/min的速度旋涂镀膜20s左右至均匀； 4)将步骤3)匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上100°C烘烤30min后放入小型快速退火炉内退火，退火温度为300°C，保温4h后随炉冷却至室温； 5)再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。
【专利摘要】本发明公开一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，包括：将分析纯的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀；将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200～500℃进行退火；退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。该反应的原料易得且成本低，工艺设备简单，溶胶粒径均匀，能耗低，且该反应在常温常压下进行，安全性好，可行性强。
【IPC分类】C23C18/12
【公开号】CN105002480
【申请号】CN201510447158
【发明人】殷立雄, 张东东, 黄剑锋, 孔新刚, 王菲菲, 吴雅博, 梁忠
【申请人】陕西科技大学
【公开日】2015年10月28日
【申请日】2015年7月27日